【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，更具体地说，本技术涉及进样过程中开关盖、取样的一种用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构。
技术介绍
1、目前的半导体痕量元素进样器，是将开关盖机构与取样机构分开设置，如此一来，不仅结构复杂、空间拥堵，而且在进样过程中容易造成污染，使得海量有价值的样本被处理掉而构成浪费。
技术实现思路
1、为此，本技术提供一种用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，通过将开关盖机构与取样机构设为一体，解决了现有技术中存在的上述技术问题。
2、本技术采用的技术方案如下：
3、一种用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，其特征在于，具有电动升降组件、电动转动组件、开关盖组件以及取样组件，所述电动升降组件能够驱动所述电动转动组件进行升降动作，所述开关盖组件以及取样组件安装在所述电动转动组件上，并能够被所述电动转动组件驱动同步旋转。
4、所述的用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，其中，所述电动升降组件具有沿垂向布置的导轨安装板，在导轨安装板上沿垂向固定有直线导轨，沿水平布置的第一电机安装板固定于导轨安装板，升降电机固定于第一电机安装板，其驱动一沿垂向布置的丝杠旋转动作，在丝杠上设有能够升降的螺母。
5、所述的用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，其中，在导轨安装板上还固定有沿水平布置的定位板，所述丝杠通过轴承与定位板相接。
6、
7、所述的用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，其中，在导轨安装板上还固定有沿水平布置的定位板，所述丝杠通过轴承与定位板相接；所述立杆上设有立杆导套，所述立杆导套与所述定位板固定连接。
8、所述的用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，其中，所述开关盖组件具有开关盖组件悬臂，开关盖组件悬臂的一端与所述悬臂座固定连接，吸盘导杆座与开关盖组件悬臂的另一端固定连接，真空吸盘部件与吸盘导杆座固定连接。
9、所述的用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，其中，所述取样组件具有取样组件悬臂，所述取样组件悬臂的一端与所述悬臂座固定连接，取样针护套与取样组件悬臂的另一端固定连接，取样针与取样针护套固定连接。
10、相比于以往的半导体痕量元素开关盖进样的z臂结构，本技术的优点如下：
11、(1)本技术一种用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，解决了原有方式处理效率低的问题。
12、(2)本技术取样针和开关盖机构可采用高纯非金属材料制成，实现无金属接触。
13、(3)本技术取样和开关盖机构置于z臂二合一，简单、高效、速度快。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，其特征在于，具有电动升降组件、电动转动组件、开关盖组件以及取样组件，所述电动升降组件能够驱动所述电动转动组件进行升降动作，所述开关盖组件以及取样组件安装在所述电动转动组件上，并能够被所述电动转动组件驱动同步旋转；
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构，其特征在于，具有电动升降组件、电动转动组件、开关盖组件以及取样组件，所述电动升...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈微微，蓝元柯，鲁殿海，肖梦杰，李宁，高占岭，谢新刚，丁良诚，胡克，
申请(专利权)人：北京莱伯泰科仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。