【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉，特别涉及一种单晶炉用加热器。
技术介绍
1、半导体硅单晶的制造大多采用直拉法，直拉法是把原料多硅晶块放入石英坩埚中，在单晶炉中加热融化，再将一根直径只有10mm的棒状籽晶(称晶种)浸入融液中。在合适的温度下，融液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体。把晶种微微的旋转向上提升，融液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶，并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境稳定，就可以周而复始的形成结晶，最后形成一根圆柱形的原子排列整齐的硅单晶晶体，即硅单晶锭。
2、现有的加热器在使用的时候，在直拉的过程中有时候会由于固定不稳定，出现晶种晃动的现象，这样很可能会导致结晶出现瑕疵，并且加热器在加热的时候，难以调节加热的热量大小，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为了解决现有技术的不足，我们提出一种单晶炉用加热器。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供一种单晶炉用加热器，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
3、一种单晶炉用加热器,包括加热炉，所述加热炉的内部设置有石英坩埚，所述加热炉的下端外表面设置有安装底座，所述安装底座的前端外表面设置有滑动槽，所述滑动槽的中间设置有两组调节把手，两组所述调节把手的后端设置有隔热板，所述安装底座的内部设置有加热盘，所述加热盘的内部设置有多组加热棒。
4、优选的，所述加热炉的上端外表面设置有密封盖，所述密封盖
5、优选的，所述加热炉与安装底座之间设置有安装接口，所述加热炉通过设置的安装接口与安装底座可拆卸连接，所述隔热板与安装底座之间设置有滑动槽，所述隔热板通过设置的滑动槽与安装底座滑动连接，所述调节把手与隔热板之间设置有连接接口，所述调节把手通过设置的连接接口与隔热板可拆卸连接。
6、优选的，所述加热盘与安装底座之间设置有安装接口，所述加热盘通过设置的安装接口与安装底座可拆卸连接，所述加热棒与加热盘之间设置有连接口，所述加热棒通过设置的连接口与加热盘可拆卸连接。
7、优选的，所述旋转套筒与旋转底座之间设置有转动槽，所述旋转套筒通过设置的转动槽与旋转底座转动连接，所述从动齿轮与旋转套筒之间设置有连接口，所述从动齿轮通过设置的连接口与旋转套筒可拆卸连接，所述马达通过设置的主动齿轮以及从动齿轮与旋转套筒转动连接。
8、优选的，所述旋转底座与密封盖固定连接，所述螺纹杆与旋转套筒以及旋转底座之间均设置有螺纹孔，所述螺纹杆通过设置的螺纹孔分别与旋转套筒以及旋转底座可拆卸连接。
9、有益效果
10、与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
11、本技术中，通过设置的螺纹杆、旋转套筒以及旋转底座，装置在对原料加热以及结晶的时候，将晶种上移的过程会更加平缓和稳定，减少晃动的可能性，也减少了结晶的瑕疵可能性，通过马达带动主动齿轮旋转，主动齿轮通过从动齿轮带动旋转套筒在旋转底座的上端旋转，同时使螺纹杆相对于旋转套筒以及旋转底座旋转，旋转的同时通过螺纹孔向上平缓的移动，螺纹杆也通过连接块带动棒状晶种缓慢的向上一边旋转一边移动，这样可以使结晶更加完美。
12、本技术中，通过设置的安装底座以及隔热板，人们可以调节安装底座内部的加热的热量大小，热量从安装底座内部的加热盘中的加热棒产生，通过安装底座传到加热炉的内部，在滑动槽中间滑动调节把手，可以控制隔热板在安装底座的上端移动，改变安装底座上端的热量传输的出口的大小，便可以调节传输到加热炉内部的热量的大小，操作方便快捷。
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1.一种单晶炉用加热器，包括加热炉（1），其特征在于：所述加热炉（1）的内部设置有石英坩埚（18），所述加热炉（1）的下端外表面设置有安装底座（10），所述安装底座（10）的前端外表面设置有滑动槽（11），所述滑动槽（11）的中间设置有两组调节把手（12），两组所述调节把手（12）的后端设置有隔热板（13），所述安装底座（10）的内部设置有加热盘（14），所述加热盘（14）的内部设置有多组加热棒（15）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述加热炉（1）的上端外表面设置有密封盖（2），所述密封盖（2）的上端外表面设置有固定座（3），所述固定座（3）的中间设置有马达（4），所述马达（4）的前端设置有主动齿轮（7），所述主动齿轮（7）的上端设置有从动齿轮（6），所述从动齿轮（6）的中间设置有旋转套筒（5），所述旋转套筒（5）的内部设置有螺纹杆（9），所述旋转套筒（5）的下端外表面设置有旋转底座（8），所述螺纹杆（9）的下端外表面设置有连接块（16），所述连接块（16）的下端设置有棒状晶种（17）。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述加热盘（14）与安装底座（10）之间设置有安装接口，所述加热盘（14）通过设置的安装接口与安装底座（10）可拆卸连接，所述加热棒（15）与加热盘（14）之间设置有连接口，所述加热棒（15）通过设置的连接口与加热盘（14）可拆卸连接。
5.根据权利要求2所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述旋转套筒（5）与旋转底座（8）之间设置有转动槽，所述旋转套筒（5）通过设置的转动槽与旋转底座（8）转动连接，所述从动齿轮（6）与旋转套筒（5）之间设置有连接口，所述从动齿轮（6）通过设置的连接口与旋转套筒（5）可拆卸连接，所述马达（4）通过设置的主动齿轮（7）以及从动齿轮（6）与旋转套筒（5）转动连接。
6.根据权利要求2所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述旋转底座（8）与密封盖（2）固定连接，所述螺纹杆（9）与旋转套筒（5）以及旋转底座（8）之间均设置有螺纹孔，所述螺纹杆（9）通过设置的螺纹孔分别与旋转套筒（5）以及旋转底座（8）可拆卸连接。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用加热器，包括加热炉（1），其特征在于：所述加热炉（1）的内部设置有石英坩埚（18），所述加热炉（1）的下端外表面设置有安装底座（10），所述安装底座（10）的前端外表面设置有滑动槽（11），所述滑动槽（11）的中间设置有两组调节把手（12），两组所述调节把手（12）的后端设置有隔热板（13），所述安装底座（10）的内部设置有加热盘（14），所述加热盘（14）的内部设置有多组加热棒（15）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述加热炉（1）的上端外表面设置有密封盖（2），所述密封盖（2）的上端外表面设置有固定座（3），所述固定座（3）的中间设置有马达（4），所述马达（4）的前端设置有主动齿轮（7），所述主动齿轮（7）的上端设置有从动齿轮（6），所述从动齿轮（6）的中间设置有旋转套筒（5），所述旋转套筒（5）的内部设置有螺纹杆（9），所述旋转套筒（5）的下端外表面设置有旋转底座（8），所述螺纹杆（9）的下端外表面设置有连接块（16），所述连接块（16）的下端设置有棒状晶种（17）。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用加热器，其特征在于：所述加热炉（1）与安装底座（10）之间设置有安装接口，所述加热炉（1）通过设置的安装接口与安装底座（10）可拆卸连接，所述隔热板（13）与安装底座...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭建刚，邵海成，周文，
申请(专利权)人：内蒙古栢特新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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