【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液氨槽车卸氨，具体是涉及一种液氨槽车卸氨供应系统。
技术介绍
1、超纯氨是微电子氮化硅和氮化镓掩蔽膜的主要制备材料，是光电子领域、半导体、发光二极管行业的重要原材料，其广泛应用于液晶面板、光伏光纤、led、集成电路等领域。超纯氨的纯度对器件产品的使用寿命、材料的电学性能和光学性能具有直接的影响，故超纯氨的生产过程、充装过程、运输过程等需要严格控制杂质污染、气密性等，以保证超纯氨的纯度合格。
2、在现有技术中，液氨槽车的卸氨(即将液氨槽车中的液氨卸至液氨储罐中)主要是通过卸料压缩机抽取液氨储罐中的氨气，经卸料压缩机压缩后排入液氨槽车内，从而在液氨储罐和液氨槽车之间形成一定的压差(卸料压缩机在将液氨储罐中的氨气加压输送至液氨槽车内时，液氨储罐内的压力会降低，液氨槽车内的压力会升高)，进而将液氨槽车内的液氨挤压至液氨储罐中，实现液氨槽车的卸氨。
3、然而，在液氨槽车卸氨过程中，随着液氨槽车内液氨的减少以及液氨储罐中的液氨的增多，液氨储罐中的压力会增大，且液氨储罐中氨气的量也会减少，使得卸料压缩机无法抽取到足够的氨气，从而造成卸氨困难(尤其是在温度较低的冬天，液氨储罐中氨气的产生量会减少)。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种液氨槽车卸氨供应系统，其能够更加稳定高效地卸氨。
2、本专利技术提供一种液氨槽车卸氨供应系统，包括槽车储罐、蒸发罐、增压泵、氨气供应管路、冷凝装置和冷凝回收罐；所述槽车储罐的液氨出口与所述蒸发罐的入口连通，所
3、进一步地，所述氨气供应管路管路上设有用于对氨气进行吸附提纯的吸附装置。
4、进一步地，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括氨气分析系统，所述氨气分析系统与所述蒸发罐相连，所述氨气分析系统用于对氨气进行纯度分析。
5、进一步地，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括第一自增压管路，所述第一自增压管路的一端与所述增压泵的出口连通，所述第一自增压管路的另一端与所述槽车储罐的液氨出口和所述蒸发罐的入口之间的管路连通。
6、进一步地，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括第二自增压管路，所述第二自增压管路的一端与所述增压泵的出口和所述槽车储罐的氨气入口之间的管路连通，所述第二自增压管路的另一端与所述槽车储罐的液氨出口和所述蒸发罐的入口之间的管路连通。
7、进一步地，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括废气废液处理装置，所述废气废液处理装置分别与所述蒸发罐的氨气出口和所述增压泵的入口之间的管路、所述增压泵的出口和所述槽车储罐的氨气入口之间的管路、所述槽车储罐的液氨出口和所述蒸发罐的入口之间的管路以及所述蒸发罐的出口连通。
8、进一步地，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括废液回收罐，所述蒸发罐的液氨出口通过排液管路与所述废液回收罐的入口连通，所述废液回收罐的出口与所述冷凝装置的入口连通。
9、进一步地，所述蒸发罐的数量为至少两个，至少两个所述蒸发罐为并联设置，至少两个所述蒸发罐的液氨出口均与所述排液管路连通；所述排液管路上依次设有缓冲罐和排液泵，所述排液泵位于所述缓冲罐和所述废液回收罐之间。
10、进一步地，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括旁通管路，所述旁通管路的一端与所述排液管路连通，所述旁通管路的另一端与所述废液回收罐的出口和所述冷凝装置的入口之间的管路连通。
11、进一步地，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括冷凝管路，所述冷凝管路的一端与所述蒸发罐的氨气出口和所述增压泵的入口之间的管路连通，所述冷凝管路的另一端与所述冷凝装置的入口连通。
12、进一步地，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括氮气吹扫系统和吹扫排气管路，所述氮气吹扫系统的出口与所述增压泵的出口和所述槽车储罐的氨气入口之间的管路连通，所述吹扫排气管路与所述蒸发罐连通。
13、本专利技术提供的液氨槽车卸氨供应系统，通过设置蒸发罐和增压泵，蒸发罐能够对液氨进行加热蒸发产生氨气，蒸发罐加热蒸发产生的氨气经增压泵增压后输送至槽车储罐内，使槽车储罐内压力增大，进而使槽车储罐内的液氨在压差作用下被挤压至蒸发罐内，实现槽车储罐稳定高效地卸氨，且不受外界环境因素影响。同时，蒸发罐加热蒸发产生的氨气可以直接进入氨气供应管路中，以向工艺机台或用气设备供应氨气，无需在液氨储罐中进行暂存，省去了液氨储罐的设备成本以及再次对液氨储罐内的液氨进行加热蒸发所需的能耗(目前一般是将液氨槽车内的液氨卸至液氨储罐内，然后再对液氨储罐内的液氨进行加热产生氨气)，进而供应至工艺机台或用气设备，节省成本。
14、而且，蒸发罐在对液氨进行加热蒸发产生氨气的过程中，能够对液氨初步提纯(即根据汽化温度的不同，氨气能够顺利地蒸发，而有部分杂质不能蒸发)，以提高氨气的纯度。同时，通过设置冷凝装置和冷凝回收罐，冷凝装置能够对蒸发罐内多余的氨气进行冷凝回收，从而降低蒸发罐内的压力，避免蒸发罐超压；冷凝装置冷凝产生的液氨能够进入冷凝回收罐内，然后再次进入蒸发罐内进行重复利用，以避免氨的浪费，提高系统的经济性。
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1.一种液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，包括槽车储罐(11)、蒸发罐(12)、增压泵(13)、氨气供应管路(14)、冷凝装置(15)和冷凝回收罐(16)；所述槽车储罐(11)的液氨出口与所述蒸发罐(12)的入口连通，所述蒸发罐(12)的氨气出口分别与所述氨气供应管路(14)、所述冷凝装置(15)的入口及所述增压泵(13)的入口连通，所述增压泵(13)的出口与所述槽车储罐(11)的氨气入口连通；所述冷凝装置(15)的出口与所述冷凝回收罐(16)的入口连通，所述冷凝回收罐(16)的出口与所述蒸发罐(12)的入口连通。
2.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述氨气供应管路(14)管路上设有用于对氨气进行吸附提纯的吸附装置(141)。
3.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括氨气分析系统(17)，所述氨气分析系统(17)与所述蒸发罐(12)相连，所述氨气分析系统(17)用于对氨气进行纯度分析。
4.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括第一自
5.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括第二自增压管路(22)，所述第二自增压管路(22)的一端与所述增压泵(13)的出口和所述槽车储罐(11)的氨气入口之间的管路连通，所述第二自增压管路(22)的另一端与所述槽车储罐(11)的液氨出口和所述蒸发罐(12)的入口之间的管路连通。
6.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括废气废液处理装置(18)，所述废气废液处理装置(18)分别与所述蒸发罐(12)的氨气出口和所述增压泵(13)的入口之间的管路、所述增压泵(13)的出口和所述槽车储罐(11)的氨气入口之间的管路、所述槽车储罐(11)的液氨出口和所述蒸发罐(12)的入口之间的管路以及所述蒸发罐(12)的出口连通。
7.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括废液回收罐(19)，所述蒸发罐(12)的液氨出口通过排液管路(23)与所述废液回收罐(19)的入口连通，所述废液回收罐(19)的出口与所述冷凝装置(15)的入口连通。
8.如权利要求7所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括旁通管路(24)，所述旁通管路(24)的一端与所述排液管路(23)连通，所述旁通管路(24)的另一端与所述废液回收罐(19)的出口和所述冷凝装置(15)的入口之间的管路连通。
9.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括冷凝管路(25)，所述冷凝管路(25)的一端与所述蒸发罐(12)的氨气出口和所述增压泵(13)的入口之间的管路连通，所述冷凝管路(25)的另一端与所述冷凝装置(15)的入口连通。
10.如权利要求1-9中任一项所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括氮气吹扫系统(51)和吹扫排气管路(52)，所述氮气吹扫系统(51)的出口与所述增压泵(13)的出口和所述槽车储罐(11)的氨气入口之间的管路连通，所述吹扫排气管路(52)与所述蒸发罐(12)连通。
...【技术特征摘要】
1.一种液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，包括槽车储罐(11)、蒸发罐(12)、增压泵(13)、氨气供应管路(14)、冷凝装置(15)和冷凝回收罐(16)；所述槽车储罐(11)的液氨出口与所述蒸发罐(12)的入口连通，所述蒸发罐(12)的氨气出口分别与所述氨气供应管路(14)、所述冷凝装置(15)的入口及所述增压泵(13)的入口连通，所述增压泵(13)的出口与所述槽车储罐(11)的氨气入口连通；所述冷凝装置(15)的出口与所述冷凝回收罐(16)的入口连通，所述冷凝回收罐(16)的出口与所述蒸发罐(12)的入口连通。
2.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述氨气供应管路(14)管路上设有用于对氨气进行吸附提纯的吸附装置(141)。
3.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括氨气分析系统(17)，所述氨气分析系统(17)与所述蒸发罐(12)相连，所述氨气分析系统(17)用于对氨气进行纯度分析。
4.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括第一自增压管路(21)，所述第一自增压管路(21)的一端与所述增压泵(13)的出口连通，所述第一自增压管路(21)的另一端与所述槽车储罐(11)的液氨出口和所述蒸发罐(12)的入口之间的管路连通。
5.如权利要求1所述的液氨槽车卸氨供应系统，其特征在于，所述液氨槽车卸氨供应系统还包括第二自增压管路(22)，所述第二自增压管路(22)的一端与所述增压泵(13)的出口和所述槽车储罐(11)的氨气入口之间的管路连通，所述第二自增压管路(22)的另一端与所述槽车储罐(11)的液氨出口和所述蒸发罐(12)的入口之间的管路连通。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：纪雪峰，陈亮，范威威，
申请(专利权)人：上海良薇机电工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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