【技术实现步骤摘要】
本专利技术公开一种键合引线的可靠性检测装置与方法，涉及键合引线的可靠性检测。
技术介绍
1、键合线可靠性的机械检测方法中，常用的是引线拉力法和球剪切力法，这两种方法具有严格的标准，操作性强，可以直接对键合引线质量作出评价。相比球剪切力法只是测试键合球点处的键合可靠性，引线拉力法可以完整地评价包括两个键合点和键合线在内的整个键合引线单元的可靠性。
2、现有技术对键合引线牵拉力的测试方法，如专利(cn 209766365 u)公开的基于柔性测试弯钩对键合线进行垂直牵拉，通过主动牵拉方式检测其可靠性，通常以断裂时获取的力为拉断力。
3、如前述的测试方式需要确保拉力保持为垂直方向，为了排除倾斜拉度影响，现有技术中常通过，x轴、y轴协调移动外加辅助定位指示对牵拉位置进行调节。但是多数情况中，基于前述测试方法中获得的测试结果依然存在波动，这意味着测试结果不够准确。
4、本
技术实现思路
5、本专利技术公开一种键合引线的可靠性检测装置与方法，申请人考虑到影响测试结果精度的原因可能在于：
6、(1)拉力测试时装置中各组件的装配面由于受力方向改变而导致的测试误差，该误差主要来源于装配间隙，即键合线拉力测试装置中，拉力应该是垂直向下的。由于固定夹具的装置、x-y辅助定位装置(即后述x-y轴丝杆微调滑台6)与固定基准之间存在间隙，进行测试时重心位置可能发生偏移，在测试过程中，装置可能会因为拉力的作用而发生移动，导致受力的方向发生改变而形成误差；
7、(2)拉钩与传感器之间的固定连接
8、现有技术中的常规调节手段无法解决前述问题，即对放置台在测试前进行的位置调整的系统或者设备不能克服前述偏移。因此导致了测试结果不够准确。
9、基于前述内容，专利技术是通过以下技术方案克服前述问题的：
10、一种键合引线的可靠性检测装置，在检测键合线的设备中用于固定待测芯片的夹固件上增设自配重工作面板，以克服前述的装置可能存在的间隙，进而避免牵拉过程中的位置偏移。
11、考虑到用于承载待测件的x-y轴丝杆微调滑台6承载力有限，因此所述的自配重工作面板应当动态调整。即考虑其承载能力具有25％的裕量的前提下，使得自重块的质量能够克服装置间隙，提高稳定性。
12、具体的来说，使用了固定芯片的台体1以及用于牵拉键合线的拉钩，所述台体1上具有x-y轴丝杆微调滑台6以及芯片固定夹具，所述x-y轴丝杆微调滑台6与芯片固定夹具之间固定有可拆卸的自配重工作面板；
13、所述自配重工作面板总重量小于所述轴丝杆微调滑台的最大承重能力；所述的自配重工作面板消除存在的装置间隙并增加稳定性，避免检测过程中产生位置偏移。
14、进一步的，轴丝杆微调滑台的最大承重能力为loadmax；
15、loadmax≥l·ω·h·ρ≥ffs·125％
16、其中，l、w、h分别为自重块的长、宽、高，其中长宽由装置主体决定，h通过计算得到；ρ为所述自重力块的密度，ffs是传感器的最大量程；
17、所述自重块的质量通过调整高度实现。
18、在一实施例中，所述拉钩固定端设置传感器，测试装置与固定端通过空心圆柱贯通连接所述拉钩固定端，牵拉过程中中心通孔同轴引导实现了拉钩的自动垂直对准安装；并且所述的传感器隐藏于所述空心圆柱内并通过粘接剂固定所述拉钩，粘合力应能承受最大量程拉力且有裕量，因此粘接剂不能有蠕变。
19、所述芯片固定夹具具有两个长方形夹头，所述长方形夹头间距可调整，满足不同尺寸芯片的测试需求。
20、进一步的，还包括测试控制装置，所述测试控制装置包括：
21、处理控制单元，用于实现对测试系统的其它单元和接口的控制，完成数据的存储、显示与分析，以及键合引线强度测试中所涉及模块的控制；
22、施力驱动模块，用于测试系统可靠性测试提供稳定的力输出；
23、处理模块，用于数据采集、显示、存储与分析。
24、电源管理单元，用以与其他各单元和接口电气连接并提供工作电源。
25、进一步的，所述处理模块包括处理微型力传感器输出的数据可视化，存储最大键合强度、非破坏性测试标准等数据；
26、并对前述数据进行记录。
27、本专利技术另一目的在于，公开一种键合引线的可靠性检测方法，基于前述的装置实现，包括如下步骤：
28、s1、控制测试，所述拉钩对待测键合引线进行牵拉至断裂状态；
29、s2、参数获取，获取最大拉断力和最大变形，并预设单位和精度。
30、进一步的，s101、预设参数，设定牵拉方向为向上拉伸，预设检测中止调节为键合线断裂，并在中止后自动回位到零点位置；
31、s102、预调节拉钩位置，粗调将所述拉钩的钩尖调整到高于芯片键合引线的正上方，微调使所述拉钩的垂直钩在引线键合线下方；
32、s103、施加牵拉力，预设施力机构拉力与牵拉速度，所述拉钩对键合线施加一个缓慢增加的垂直拉力；
33、键合线在拉钩作用下，逐渐由圆弧形变为以拉钩受力点为顶点的尖角形；
34、继续增加拉力，键合线发生塑性变形，最后断裂。
35、有益效果：
36、本专利技术通过设置所述的自配重工作面板设计消除了测试过程中因装置各组件之间间隙而导致的测试误差，所述的自配重工作面板对其下方的施压以保持受压状态消除各间隙，提高了键合线可靠性测试的精度。所述自配重平台重量不超过所述传感器的裕量的25％，在配有前述重量的自配重工作面板的情况中测试极大的降低了间隙导致的误差。
37、并且所述的自对准拉钩装置，实现了拉钩的自动垂直对准安装，保持牵拉方向始终为竖直方向避免位置漂移。
38、当然，实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
技术实现思路
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1.一种键合引线的可靠性检测装置，其特征在于：用于固定芯片的台体以及用于牵拉键合线的拉钩，所述台体上具有X-Y轴丝杆微调滑台以及芯片固定夹具，所述X-Y轴丝杆微调滑台与芯片固定夹具之间固定有可拆卸的自配重工作面板；
2.根据权利要求1所述的键合引线的可靠性检测装置，其特征在于：轴丝杆微调滑台的最大承重能力为Loadmax；
3.根据权利要求2所述的键合引线的可靠性检测装置，其特征在于：还包括一端固定的拉力计量组件，所述拉力计量组件包括固定的传感器，所述传感器连接有拉钩；
4.根据权利要求2所述的键合引线的可靠性检测装置，其特征在于：所述芯片固定夹具具有两个长方形夹头，所述长方形夹头间距可调整。
5.根据权利要求2所述的键合引线的可靠性检测装置，其特征在于，还包括测试控制装置，所述测试控制装置包括：
6.根据权利要求5所述的键合引线的可靠性检测装置，其特征在于，所述处理模块包括处理微型力传感器输出的数据可视化，存储最大键合强度、非破坏性测试标准等数据；
7.一种键合引线的可靠性检测方法，基于权利要求1-6任意一
8.根据权利要求7所述的键合引线的可靠性检测方法，其特征在于：
...【技术特征摘要】
1.一种键合引线的可靠性检测装置，其特征在于：用于固定芯片的台体以及用于牵拉键合线的拉钩，所述台体上具有x-y轴丝杆微调滑台以及芯片固定夹具，所述x-y轴丝杆微调滑台与芯片固定夹具之间固定有可拆卸的自配重工作面板；
2.根据权利要求1所述的键合引线的可靠性检测装置，其特征在于：轴丝杆微调滑台的最大承重能力为loadmax；
3.根据权利要求2所述的键合引线的可靠性检测装置，其特征在于：还包括一端固定的拉力计量组件，所述拉力计量组件包括固定的传感器，所述传感器连接有拉钩；
4.根据权利要求2所述的键合引线的可靠性...
【专利技术属性】
技术研发人员：任万春，蔡少峰，蒲俊德，向鑫，杨强，汪贵芳，颜竹，
申请(专利权)人：四川立泰电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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