本技术涉及半导体制程用电子级树脂合成技术领域，具体公开了一种合成半导体制程用电子级树脂合成中DMF回收装置，包括粗品蒸馏系统、精馏系统和真空系统，粗品蒸馏系统包括粗品蒸馏釜和粗品蒸馏釜冷凝器，粗品蒸馏釜通过管道与粗品蒸馏釜冷凝器相连接，粗品蒸馏釜冷凝器通过管道分别连接有一级馏分接收罐、二级馏分接收罐、三级馏分接收罐和四级馏分接收罐，三级馏分接收罐通过管道连接有三级馏分输送泵，三级馏分输送泵通过管道与精馏系统相连接；本技术中的回收水可以套用至电子级树脂生产正常水洗水工段，实现污水零排放，减少废水对环境的污，通过粗品蒸馏釜不同的温度及压力的情况下，将DMF粗品中的组分进行有效分离。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制程用电子级树脂合成，具体公开了一种合成半导体制程用电子级树脂生产过程中的dmf回收装置。
技术介绍
1、在半导体工艺制程中需要使用大量的电子配方材料，而电子配方材料中的主要成分是各种电子级树脂，树脂基本决定了配方材料的主要基础性能。这类电子级树脂产品由于技术难度高，目前高度依赖进口，需要实现技术突破和国内生产供应。
2、n,n-二甲基甲酰胺（以下简称dmf），是一种有机化合物，化学式为c3h7no，为无色透明液体，它既是一种用途极广的化工原料，也是一种用途很广的优良的溶剂，能与水及多数有机溶剂任意混合，对多种有机化合物和无机化合物均有良好的溶解能力。做为电子级树脂生产过程中的主要溶剂，回收dmf可以降低生产成本，减少三废的产生，具有巨大的经济效益。但是由于在电子级树脂合成中，dmf在体系中引入水、二氯甲烷、氯化钠、树脂等杂质，不能直接套用，因此需要对dmf进行提纯，祛除杂质及水分。
3、dmf水溶液中由于存在氯化钠及树脂成分，采用传统的精馏方式，会由于体系内水的减少而导致塔釜内氯化钠积聚严重，致使后期盐不容易处理。针对传统直接采用精馏方式对dmf进行回收的不足，本申请提出了一种采用常压蒸馏和减压精馏相结合的方式以实现对电子级树脂合成中dmf进行回收的装置。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一套dmf回收系统，以实现对电子级树脂生产中产生的dmf在安全的前提下进行回收利用，降低生产成本。
2、本技术是通过以下技术方案实现的：</p>3、一种电子级树脂合成中dmf回收装置，包括粗品蒸馏系统、精馏系统和真空系统，所述粗品蒸馏系统包括粗品蒸馏釜和粗品蒸馏釜冷凝器，所述粗品蒸馏釜通过管道与粗品蒸馏釜冷凝器相连接，所述粗品蒸馏釜冷凝器通过管道分别连接有一级馏分接收罐、二级馏分接收罐、三级馏分接收罐和四级馏分接收罐，所述三级馏分接收罐通过管道连接有三级馏分输送泵，所述三级馏分输送泵通过管道与精馏系统相连接。
4、作为上述方案的具体设置，所述精馏系统包括精馏塔和精馏塔冷凝器，所述精馏塔通过管道与精馏塔冷凝器相连接，所述精馏塔冷凝器通过管道分别连接有前馏分接收罐和后馏分接收罐，所述精馏塔的下端通过管道连接有成品接收罐。
5、作为上述方案的进一步设置，所述精馏塔冷凝器与前馏分接收罐、后馏分接收罐连接的管道上设置有与精馏塔相连接的回流管。
6、作为上述方案的进一步设置，所述真空系统包括真空泵、真空泵冷凝器和接收罐，所述接收罐通过管道与真空泵冷凝器相连接，所述真空泵冷凝器通过管道与真空泵相连接，所述真空泵通过管道分别与二级馏分接收罐、三级馏分接收罐、四级馏分接收罐、前馏分接收罐和后馏分接收罐相连接。
7、作为上述方案的进一步设置，还包括二级馏分输送泵，所述二级馏分输送泵的进料端通过管道与二级馏分接收罐相连接，所述二级馏分输送泵的出料端通过管道连接至电子级树脂生产水洗工段。
8、与现有技术相比，本技术有益效果如下：
9、本技术中回收水通过二级馏分接收罐收集、前馏分接收罐收集，可以套用至电子级树脂生产正常水洗水工段，实现污水零排放，减少废水对环境的污染。
10、本技术中设置有粗品蒸馏釜，通过不同的温度及压力的情况下，将dmf粗品中的组分进行有效分离，其中在减压蒸馏过程中四级馏分为高纯度的dmf，减少直接精馏带来的能源消耗，经济效益良好。
11、本技术中的精馏系统设置采用了精馏塔，可以较好的实现dmf的提纯，得到高纯度的dmf循环使用，经济效益良好。
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【技术保护点】
1.一种电子级树脂合成中DMF回收装置，其特征在于，包括粗品蒸馏系统、精馏系统和真空系统，所述粗品蒸馏系统包括粗品蒸馏釜（1）和粗品蒸馏釜冷凝器（2），所述粗品蒸馏釜（1）通过管道与粗品蒸馏釜冷凝器（2）相连接，所述粗品蒸馏釜冷凝器（2）通过管道分别连接有一级馏分接收罐（3）、二级馏分接收罐（4）、三级馏分接收罐（5）和四级馏分接收罐（6），所述三级馏分接收罐（5）通过管道连接有三级馏分输送泵（8），所述三级馏分输送泵（8）通过管道与精馏系统相连接。
2.根据权利要求1所述的电子级树脂合成中DMF回收装置，其特征在于，所述精馏系统包括精馏塔（9）和精馏塔冷凝器（10），所述精馏塔（9）通过管道与精馏塔冷凝器（10）相连接，所述精馏塔冷凝器（10）通过管道分别连接有前馏分接收罐（11）和后馏分接收罐（12），所述精馏塔（9）的下端通过管道连接有成品接收罐（13）。
3.根据权利要求2所述的电子级树脂合成中DMF回收装置，其特征在于，所述精馏塔冷凝器（10）与前馏分接收罐（11）、后馏分接收罐（12）连接的管道上设置有与精馏塔（9）相连接的回流管。
>4.根据权利要求1所述的电子级树脂合成中DMF回收装置，其特征在于，所述真空系统包括真空泵（14）、真空泵冷凝器（15）和接收罐（16），所述接收罐（16）通过管道与真空泵冷凝器（15）相连接，所述真空泵冷凝器（15）通过管道与真空泵（14）相连接，所述真空泵（14）通过管道分别与二级馏分接收罐（4）、三级馏分接收罐（5）、四级馏分接收罐（6）、前馏分接收罐（11）和后馏分接收罐（12）相连接。5.根据权利要求1所述的电子级树脂合成中DMF回收装置，其特征在于，还包括二级馏分输送泵（7），所述二级馏分输送泵（7）的进料端通过管道与二级馏分接收罐（4）相连接，所述二级馏分输送泵（7）的出料端通过管道连接至电子级树脂生产水洗工段。
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【技术特征摘要】
1.一种电子级树脂合成中dmf回收装置，其特征在于，包括粗品蒸馏系统、精馏系统和真空系统，所述粗品蒸馏系统包括粗品蒸馏釜（1）和粗品蒸馏釜冷凝器（2），所述粗品蒸馏釜（1）通过管道与粗品蒸馏釜冷凝器（2）相连接，所述粗品蒸馏釜冷凝器（2）通过管道分别连接有一级馏分接收罐（3）、二级馏分接收罐（4）、三级馏分接收罐（5）和四级馏分接收罐（6），所述三级馏分接收罐（5）通过管道连接有三级馏分输送泵（8），所述三级馏分输送泵（8）通过管道与精馏系统相连接。
2.根据权利要求1所述的电子级树脂合成中dmf回收装置，其特征在于，所述精馏系统包括精馏塔（9）和精馏塔冷凝器（10），所述精馏塔（9）通过管道与精馏塔冷凝器（10）相连接，所述精馏塔冷凝器（10）通过管道分别连接有前馏分接收罐（11）和后馏分接收罐（12），所述精馏塔（9）的下端通过管道连接有成品接收罐（13）。
3.根据权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹志良，袁亮亮，曹正，
申请(专利权)人：安徽觅拓材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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