【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片检测，尤其是涉及一种用于硅片pl检测的装置和方法。
技术介绍
1、在光伏电池板的生产过程中，可能出现隐裂、扩散不均、虚印等问题，这些缺陷的存在可能会影响光伏电池的光电转换效率，降低电池使用寿命，影响光伏系统稳定性。pl(光致发光)检测能够实现对硅片、扩散、刻蚀、电极印刷、电池片等各个工艺环节的检测分析，可以快速有效的定位生产环节中出现的问题，为产品质量提供可靠的保证。太阳能电池行业中，需要对晶硅电池片进行印刷缺陷检测。目前的检测方法主要分为pl(photoluminescence；光致发光)和el(xx；电致发光)，pl是检测原材料的有效方法，以大于半导体硅片禁带宽度的光作为激发手段，激发硅中的载流子，当撤去光源后，处于激发态的电子属于亚稳态，在短时间内会回到基态，这一过程中会释放波长为1100nm的光子，光子被灵敏的ccd相机捕获，得到硅片的辐射复合图像。然而现有的pl检测装置，对成品电池片的检测印刷不良上面精度仍然不足，对检测的成品电池片的缺陷有所缺漏，尤其不容易检测到断栅缺陷。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术的目的是针对现有技术的不足，提供一种用于硅片pl检测的装置及方法，能够检测到硅片的断栅缺陷，检测精度高
2、为达到上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种用于硅片pl检测的装置，包括安装架一，所述安装架一位于传送硅片的传送带上方，所述安装架一内设置有激光发射装置和工业相机，所述激光发射装置的光条覆盖待检硅片的上表面
4、进一步的，所述安装架一两侧开设安装孔，所述安装架一上可拆卸连接覆盖安装孔的盖板。
5、进一步的，所述激光发射装置固定安装固定架一上，所述固定架一转动连接在安装架一内，所述安装架一上设置调整激光发射装置发射角度的调节组件，所述调节组件包括相互咬合的蜗杆和蜗轮，所述蜗杆和蜗轮转动连接在壳体内，所述壳体固设在安装架一内，所述蜗轮的输出轴上垂直连接推板，旋转蜗轮，推板旋转推动固定架一旋转。
6、进一步的，所述安装架一上设置清除不合格硅片的清除装置，所述清除组件包括安装架二，所述安装架二内转动连接滚筒一和皮带一，所述安装架一上设有电机，所述电机驱动滚筒一和皮带一同步旋转；所述安装架二内转动连接电动推杆，所述电动推杆的端部固接移动板，所述移动板底部设有刷毛，所述电动推杆与硅片平行时，硅片位于电动推杆与滚筒一之间，电动推杆缩短，刷毛将硅片扫向滚筒一，硅片沿滚筒一和皮带一被运离传送带。
7、进一步的，所述安装架二内转动连接滚筒二，所述滚筒二位于滚筒一正上方。
8、进一步的，所述滚筒一固定连接在转轴一上，所述转轴一由电机驱动；所述滚筒二转动连接在转轴二上，所述转轴二转动连接在安装架二上，所述转轴一和转轴二之间设置驱动电动推杆旋转的驱动组件，所述驱动组件包括齿轮一和齿轮二，所示齿轮一固设在转轴一上，所述齿轮二固设在转轴二上，所述齿轮一上咬合齿条一，所述齿轮二上咬合齿条二，所述齿条一水平滑动连接在横杆一内，所述齿条二水平滑动连接在横杆二内，所述安装板二上通过圆轴转动连接旋转杆，所述旋转杆两端分别滑动连接齿条一和齿条二，所述圆轴位于齿条一和齿条二之间，所述电动推杆固接在转轴二上。
9、进一步的，所述齿条一与横杆一内壁之间平行设置压缩弹簧，所述压缩弹簧使齿条一和齿轮一始终保持可接触状态。
10、一种用于硅片pl检测的方法，包括以下步骤：
11、设置激发光源：选择合适的激光发射装置，调整激光光源的位置，使激光光源的光条覆盖待测硅片的宽度面域，调试激光功率和闪断频率；
12、图像采集：工业相机在激光光源开启时采用低曝光模式采集低曝图片，所述低曝图片用于显示硅片的断栅情况；在激光关闭时采用高曝光模式采集高曝图片，所述高曝图片用于显示硅片上的光致发光现象，将低曝图片和高曝图片叠加并复合成复合图片；
13、特征提取与描述：提取并描述复合图片中的颜色和纹理特征；
14、特征匹配与识别：将提取的特征与预先定义的特征进行匹配和识别；
15、结果分析与决策：根据匹配和识别的结果，对图像进行分析和判定，确定硅片是否存在缺陷。
16、本专利技术的有益效果是：
17、1、本专利技术提供的一种用于硅片pl检测的装置和方法，工业相机在激光光源开启时采用低曝光模式采集一张低曝图片，在激光关闭时采用高曝光模式采集一张高曝图片，不仅能通过光致发光现象判断硅片的常规缺陷，还能显示显示出硅片的断栅情况，检测更加精准；
18、2、安装孔的设置方便安装架一内部装置的安装，增加装置的实用性；
19、3、旋转蜗杆即可调整激光发射装置的发射角度，由于蜗杆的自锁性，蜗杆不旋转时蜗轮不会主动旋转，激光发射器发射角度调节方便；4、硅片不合格时，电动推杆缩短，移动板带动刷毛将硅片扫向滚筒一，
20、由皮带二运送出安装架一，硅片运出的过程中，不会对传送带表面产生剐蹭；运送完成后，电动推杆旋转至与硅片垂直，电动推杆和移动板不会影响工业相机和激光发射器的正常工作，实用性更强；5、电机旋转，驱动齿轮一旋转，齿轮一驱动齿条一水平移动，齿条一通过旋转杆驱动齿条二向相反方向移动，齿条二驱动齿轮二旋转，进而驱动固定安装在旋转轴二上的电动推杆旋转，动力传递过程简单有效，效率高；
21、6、齿条一与横杆一内壁之间平行设置缓冲液压杆和压缩弹簧，齿轮一驱动齿条一旋转到与齿轮一脱离时，压缩弹簧压缩，使齿条一和齿轮一始终相接触。
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1.一种用于硅片PL检测的装置，其特征在于：包括安装架一(1)，所述安装架一(1)位于传送硅片的传送带上方，所述安装架一(1)内设置有激光发射装置(4)和工业相机(5)，所述激光发射装置(4)的光条覆盖待检硅片的上表面，所述工业相机(5)的镜头正对待检硅片，且所述工业相机(5)的拍摄范围覆盖待检硅片的上表面。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片PL检测的装置，其特征在于，所述安装架一(1)两侧开设安装孔，所述安装架一(1)上可拆卸连接覆盖安装孔的盖板(12)。
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片PL检测的装置，其特征在于，所述激光发射装置(4)固定安装固定架一(6)上，所述固定架一(6)转动连接在安装架一(1)内，所述安装架一(1)上设置调整激光发射装置(4)发射角度的调节组件，所述调节组件包括相互咬合的蜗杆(8)和蜗轮(9)，所述蜗杆(8)和蜗轮(9)转动连接在壳体(10)内，所述壳体(10)固设在安装架一(1)内，所述蜗轮(9)的输出轴上垂直连接推板(11)，旋转蜗轮(9)，推板(11)旋转推动固定架一(6)旋转。
4.根据权利要求3所
5.根据权利要求4所述的一种用于硅片PL检测的装置，其特征在于，所述安装架二(13)内转动连接滚筒二(18)，所述滚筒二(18)位于滚筒一(17)正上方。
6.根据权利要求5所述的一种用于硅片PL检测的装置，其特征在于，所述滚筒一(17)固定连接在转轴一(14)上，所述转轴一(14)由电机(23)驱动；所述滚筒二(18)转动连接在转轴二(15)上，所述转轴二(15)转动连接在安装架二(13)上，所述转轴一(14)和转轴二(15)之间设置驱动电动推杆(27)旋转的驱动组件，所述驱动组件包括齿轮一(19)和齿轮二(20)，所示齿轮一(19)固设在转轴一(14)上，所述齿轮二(20)固设在转轴二(15)上，所述齿轮一(19)上咬合齿条一(30)，所述齿轮二(20)上咬合齿条二(31)，所述齿条一(30)水平滑动连接在横杆一(32)内，所述齿条二(31)水平滑动连接在横杆二(33)内，所述安装板二(13)上通过圆轴转动连接旋转杆(36)，所述旋转杆(36)两端分别滑动连接齿条一(30)和齿条二(31)，所述圆轴位于齿条一(30)和齿条二(31)之间，所述电动推杆(27)固接在转轴二(15)上。
7.根据权利要求6所述的一种用于硅片PL检测的装置，其特征在于，所述齿条一(30)与横杆一(32)内壁之间平行设置压缩弹簧(37)，所述压缩弹簧(37)使齿条一(30)和齿轮一(19)始终保持可接触状态。
8.一种用于硅片PL检测的方法，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种用于硅片pl检测的装置，其特征在于：包括安装架一(1)，所述安装架一(1)位于传送硅片的传送带上方，所述安装架一(1)内设置有激光发射装置(4)和工业相机(5)，所述激光发射装置(4)的光条覆盖待检硅片的上表面，所述工业相机(5)的镜头正对待检硅片，且所述工业相机(5)的拍摄范围覆盖待检硅片的上表面。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片pl检测的装置，其特征在于，所述安装架一(1)两侧开设安装孔，所述安装架一(1)上可拆卸连接覆盖安装孔的盖板(12)。
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片pl检测的装置，其特征在于，所述激光发射装置(4)固定安装固定架一(6)上，所述固定架一(6)转动连接在安装架一(1)内，所述安装架一(1)上设置调整激光发射装置(4)发射角度的调节组件，所述调节组件包括相互咬合的蜗杆(8)和蜗轮(9)，所述蜗杆(8)和蜗轮(9)转动连接在壳体(10)内，所述壳体(10)固设在安装架一(1)内，所述蜗轮(9)的输出轴上垂直连接推板(11)，旋转蜗轮(9)，推板(11)旋转推动固定架一(6)旋转。
4.根据权利要求3所述的一种用于硅片pl检测的装置，其特征在于，所述安装架一上设置清除不合格硅片的清除装置，所述清除装置包括安装架二(13)，所述安装架二(13)内转动连接滚筒一(17)和皮带一(24)，所述安装架一(1)上设有电机(23)，所述电机(23)驱动滚筒一(17)和皮带一(24)同步旋转；所述安装架二(13)内转动连接电动推杆(27)，所述电动推杆(27)的端部固接移动板(28)，所述移动板(28)底部设有刷毛(29)，所述电动推杆(27)与硅片平行时，硅片位于...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑兴晔，郭建，章龙，
申请(专利权)人：苏州威华智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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