【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学扫描，尤其涉及一种尺寸压缩的混合驱动微镜。
技术介绍
1、微机电系统简称mems，被广泛应用于光学扫描领域，并发展出大量的技术及产品。目前，光学扫描领域已经成为了mems研究的重要方向，相关产品和技术包括但不限于激光微投影、激光雷达、医学成像等等。
2、依据运动模式的差异，微镜产品可分为一维微镜和二维微镜。传统的二维微镜由外固定框架、慢轴扭转轴、驱动框架、快轴扭转轴、镜面构成；其中，慢轴扭转轴与快轴扭转轴正交排布，驱动框架依据不同的驱动原理，集成有对应的驱动结构，例如对于电磁驱动式微镜，驱动框架表面通常集成有金属线圈。对于电磁驱动式微镜，驱动框架需同时提供两个方向的驱动力，使驱动框架绕慢轴扭转轴偏转振动，由于镜面通过快轴扭转轴与驱动框架相连，当驱动框架绕慢轴扭转轴转动时，镜面也随之产生相同的运动。同时驱动框架提供的驱动力使镜面绕快轴扭转轴偏转振动，从而实现二维光学扫描。
3、对于传统的二维微镜，由于其在x和y方向的尺寸较大，在实际使用时，容易受到模组结构的限制，而简单地对微镜芯片进行小型化，则会影响芯片的性能。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种尺寸压缩的混合驱动微镜，解决了传统二维微镜在xy方向的尺寸难以压缩的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采用的一种尺寸压缩的混合驱动微镜，包括锚固结构、第一扭转轴、第一驱动框架、第一支承结构、硅结构层、镜面、金属线圈结构、压电材料层和键合材料层，所述第一驱动框架的数量为多组
3、其中，所述硅结构层包括第二驱动框架、第二扭转轴和镜面固定框架，所述镜面设置于所述第二驱动框架的内侧，所述镜面与所述镜面固定框架固定连接，所述第二扭转轴分别与所述镜面固定框架和所述第二驱动框架固定连接，所述第二驱动框架上集成有所述压电材料层。
4、其中，所述镜面包括金属反射层和镜面结构层，所述镜面结构层与所述镜面固定框架连接，所述金属反射层设置于所述镜面结构层的上方。
5、其中，所述混合驱动微镜还包括soi圆片，所述soi圆片包括器件层、埋氧层和衬底层，所述键合材料层设置于所述器件层的上方，所述埋氧层设置于所述器件层的下方，所述衬底层设置于所述埋氧层的下方。
6、其中，所述器件层的厚度为50～200um、所述埋氧层的厚度为0.5～2um、所述衬底层的厚度为100～500um。
7、其中，所述尺寸压缩的混合驱动微镜还包括第二支承结构，所述第二支承结构分别连接所述第二驱动框架和所述第二扭转轴。
8、本专利技术的一种尺寸压缩的混合驱动微镜，通过分别采用电磁驱动与压电驱动两种驱动方式驱动，将系统工作所需的总驱动力拆分到两个子驱动系统，各子驱动系统提供的驱动力小于该系统工作所需的总驱动力，为在至少一个方向压缩器件尺寸提供了条件。
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1.一种尺寸压缩的混合驱动微镜，其特征在于，
2.如权利要求1所述的尺寸压缩的混合驱动微镜，其特征在于，
3.如权利要求2所述的尺寸压缩的混合驱动微镜，其特征在于，
4.如权利要求1所述的尺寸压缩的混合驱动微镜，其特征在于，
5.如权利要求4所述的尺寸压缩的混合驱动微镜，其特征在于，
6.如权利要求2所述的尺寸压缩的混合驱动微镜，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种尺寸压缩的混合驱动微镜，其特征在于，
2.如权利要求1所述的尺寸压缩的混合驱动微镜，其特征在于，
3.如权利要求2所述的尺寸压缩的混合驱动微镜，其特征在于，
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【专利技术属性】
技术研发人员：倪伟鉴，熊笔锋，
申请(专利权)人：觉芯电子无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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