本发明专利技术的空间光调变单元(1)是用于一面使感光基板(10)沿着扫描方向(S)移动、一面于感光基板(10)将曝光图案进行曝光的曝光装置。空间光调变单元(1)具备：空间光调变器(11)，具有多个组件；控制器(12)，根据曝光图案控制多个组件；及SLM基板(13)，搭载空间光调变器(11)及控制器(12)。并且，控制器(12)相对于空间光调变器(11)而沿着扫描方向(S)排列配置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是关于空间光调变单元及曝光装置。本案基于2021年7月5日提出申请的日本特愿2021-111623号主张优先权，并将其内容引用至此。
技术介绍
1、以往，作为经由光学系统对基板照射照明光的曝光装置，已知有如下曝光装置：将利用空间光调变器调变的光通入投影光学系统，使由该光形成的像成像于涂布在基板的光阻上并进行曝光(例如参照专利文献1)。
2、[现有技术文献]
3、[专利文献]
4、[专利文献1]日本特开2005-266779号公报
技术实现思路
1、本专利技术的一方面是一种于一面使感光基板沿着扫描方向移动、一面于上述感光基板将曝光图案曝光的曝光装置中所使用的空间光调变单元，其具备：空间光调变器，具有多个组件；控制器，根据上述曝光图案控制上述多个组件；及slm基板，搭载上述空间光调变器及上述控制器，上述控制器相对于上述空间光调变器而沿着上述扫描方向排列配置。
2、本专利技术的另一方面是一种于一面使感光基板沿着扫描方向移动、一面于上述感光基板将曝光图案曝光的曝光装置中所使用的空间光调变单元，其具备：空间光调变器，具有多个组件；控制器，根据上述曝光图案控制上述空间光调变器；供给部，向上述空间光调变器与上述控制器供给电力；及slm基板，搭载上述空间光调变器及上述控制器，上述slm基板具备：第一基板，搭载上述空间光调变器，连结有上述供给部的一部分；及第二基板，搭载上述控制器，连结有上述供给部的另一部分，上述第二基板中搭载有上述控制器的第二面与上述第一基板中搭载有上述空间光调变器的第一面交叉。
3、本专利技术的另一方面是一种于一面使感光基板沿着扫描方向移动、一面于上述感光基板将曝光图案曝光的曝光装置中所使用的空间光调变单元，其具备：空间光调变器，具有多个组件；控制器，根据上述曝光图案控制上述空间光调变器；slm基板，搭载上述空间光调变器及上述控制器；及散热器，上述空间光调变器搭载于上述slm基板的表侧面，上述控制器搭载于上述slm基板的背侧面，上述散热器与上述控制器相接。
4、本专利技术的另一方面是一种曝光装置，其具备：空间光调变单元，该空间光调变单元具备：空间光调变器，具有多个组件；控制器，控制上述多个组件；及slm基板，搭载上述空间光调变器及上述控制器；基板载台，保持感光基板，相对于上述空间光调变单元而向扫描方向移动；及投影光学系统，将由经上述控制器所控制的上述多个组件所形成的图案的像投影至上述感光基板上，上述控制器相对于上述空间光调变器沿着上述扫描方向排列并搭载于slm基板上。
5、本专利技术的另一方面提供一种曝光装置，其具备：照明光学系统；空间光调变器，被来自上述照明光学系统的光所照明；投影光学系统，将自上述空间光调变器射出的光照射至基板；及载台，保持上述基板，上述照明光学系统与上述空间光调变器沿着上述扫描方向排列配置。
6、本专利技术的另一方面提供一种曝光装置，其具备：载台，使基板沿着扫描方向移动；空间光调变器；照明光学系统，自上述扫描方向对上述空间光调变器进行照明；及投影光学系统，将由上述空间光调变器的镜子所反射的光照射至基板，上述空间光调变器的上述镜子相对于上述扫描方向而倾斜。
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【技术保护点】
1.一种空间光调变单元，其是于一面使感光基板沿着扫描方向移动、一面于所述感光基板将曝光图案曝光的曝光装置中所用户，且具备：
2.根据权利要求1所述的空间光调变单元，其中所述控制器具有：第一控制器，配置于所述空间光调变器的所述扫描方向上的一侧；及第二控制器，配置于另一侧。
3.根据权利要求1或2所述的空间光调变单元，其中所述控制器具有：第一控制器，配置于所述空间光调变器的所述扫描方向上的一侧；及第三控制器，相对于所述第一控制器而沿着与所述扫描方向交叉的第二方向排列配置。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的空间光调变单元，其中所述空间光调变单元具有：电源电路，连接于与所述SLM基板的外部相连的电源缆线；及通讯电路，连接于与所述SLM基板的外部相连的数据通讯缆线，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的空间光调变单元，其中所述空间光调变单元具备散热器，
6.根据权利要求5所述的空间光调变单元，其中，
7.根据权利要求6所述的空间光调变单元，其具备中间部，所述中间部与所述空间光调变器及所述帕耳帖组件相接，
>8.根据权利要求1至7中任一项所述的空间光调变单元，其中所述空间光调变器以排列所述多个组件的排列方向沿着与所述扫描方向交叉的方向的方式，搭载于所述SLM基板上。9.根据权利要求1至7中任一项所述的空间光调变单元，其中所述空间光调变器以排列所述多个组件的排列方向沿着与所述扫描方向正交的方向的方式，搭载于所述SLM基板上。
10.一种空间光调变单元，其是于一面使感光基板沿着扫描方向移动、一面于所述感光基板将曝光图案曝光的曝光装置中所用户，其具备：
11.根据权利要求10所述的空间光调变单元，其中所述SLM基板具有弯曲部，所述弯曲部将所述第一基板与所述第二基板连结并弯曲，所述弯曲部具有较所述第一基板的第一板厚及所述第二基板的第二板厚更薄的第三板厚。
12.根据权利要求11所述的空间光调变单元，其中所述SLM基板是形成为包含芯层、及覆盖所述芯层的表层，
13.根据权利要求10至12中任一项所述的空间光调变单元，其中所述第二面与所述扫描方向垂直。
14.根据权利要求10至13中任一项所述的空间光调变单元，其中所述SLM基板具备第三基板，
15.根据权利要求10至14中任一项所述的空间光调变单元，其中所述空间光调变单元具备散热器，
16.根据权利要求15所述的空间光调变单元，其中所述SLM基板具有帕耳帖组件，所述帕耳帖组件配置于所述SLM基板的背侧面，与所述散热器相接，所述空间光调变器与所述帕耳帖组件相接。
17.根据权利要求16所述的空间光调变单元，其具备中间部，所述中间部与所述空间光调变器及所述帕耳帖组件相接，
18.一种空间光调变单元，其是于一面使感光基板沿着扫描方向移动、一面于所述感光基板将曝光图案曝光的曝光装置中所用户，其具备：
19.根据权利要求18所述的空间光调变单元，其中所述SLM基板具有帕耳帖组件，所述帕耳帖组件配置于所述SLM基板的背侧面，与所述散热器相接，
20.根据权利要求19所述的空间光调变单元，其具备中间部，所述中间部与所述空间光调变器及所述帕耳帖组件相接，
21.根据权利要求18至20中任一项所述的空间光调变单元，其中所述散热器是由SLM载台所支持，所述SLM载台能够以与所述空间光调变器的反射面正交的基准轴为中心而转动。
22.根据权利要求18至21中任一项所述的空间光调变单元，其中所述散热器是由SLM载台所支持，所述SLM载台能够沿着所述感光基板的感光面于所述扫描方向及与所述扫描方向交叉的第二方向上移动。
23.根据权利要求18至22中任一项所述的空间光调变单元，其中所述散热器是由能够以6个自由度移动的SLM载台所支持。
24.根据权利要求18至23中任一项所述的空间光调变单元，其中所述散热器具有供冷媒流通的流路，
25.一种曝光装置，其具备：
26.一种曝光装置，其是一面使基板沿着扫描方向移动一面对所述基板进行曝光者，其具备：
27.一种曝光装置，其具备：
28.根据权利要求27所述的曝光装置，其中所述空间光调变器的所述镜子相对于所述扫描方向而倾斜。
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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种空间光调变单元，其是于一面使感光基板沿着扫描方向移动、一面于所述感光基板将曝光图案曝光的曝光装置中所用户，且具备：
2.根据权利要求1所述的空间光调变单元，其中所述控制器具有：第一控制器，配置于所述空间光调变器的所述扫描方向上的一侧；及第二控制器，配置于另一侧。
3.根据权利要求1或2所述的空间光调变单元，其中所述控制器具有：第一控制器，配置于所述空间光调变器的所述扫描方向上的一侧；及第三控制器，相对于所述第一控制器而沿着与所述扫描方向交叉的第二方向排列配置。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的空间光调变单元，其中所述空间光调变单元具有：电源电路，连接于与所述slm基板的外部相连的电源缆线；及通讯电路，连接于与所述slm基板的外部相连的数据通讯缆线，
5.根据权利要求1至4中任一项所述的空间光调变单元，其中所述空间光调变单元具备散热器，
6.根据权利要求5所述的空间光调变单元，其中，
7.根据权利要求6所述的空间光调变单元，其具备中间部，所述中间部与所述空间光调变器及所述帕耳帖组件相接，
8.根据权利要求1至7中任一项所述的空间光调变单元，其中所述空间光调变器以排列所述多个组件的排列方向沿着与所述扫描方向交叉的方向的方式，搭载于所述slm基板上。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的空间光调变单元，其中所述空间光调变器以排列所述多个组件的排列方向沿着与所述扫描方向正交的方向的方式，搭载于所述slm基板上。
10.一种空间光调变单元，其是于一面使感光基板沿着扫描方向移动、一面于所述感光基板将曝光图案曝光的曝光装置中所用户，其具备：
11.根据权利要求10所述的空间光调变单元，其中所述slm基板具有弯曲部，所述弯曲部将所述第一基板与所述第二基板连结并弯曲，所述弯曲部具有较所述第一基板的第一板厚及所述第二基板的第二板厚更薄的第三板厚。
12.根据权利要求11所述的空间光调变单元，其中所述slm基板是形成为包含芯层、及覆盖所述芯层的表层，
13.根据权利要求10至12中任一项所述的空间光调变单元，其中所...
【专利技术属性】
技术研发人员：洼田泰仁，水野恭志，加藤正纪，西村昌树，水野仁，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：
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