【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材制造，特别涉及一种ito旋转靶材烧结防护装置。
技术介绍
1、目前国内面板显示行业，ito旋转靶材因工艺限制，多数只能生产300-500mm长度的靶材，靶材使用时是采用拼接的方式，例如8.5代线靶材规格是2940mm长度，如果单节长度较短只有300-500的话，则拼接节数很多，在客户使用时，拼接缝容易积聚灰尘，造成客户应用问题，如果直接生产一米长以上的超长ito旋转靶材，在烧结时，由于一米长以上的超长ito旋转靶材过长，超长ito旋转靶材素坯在烧结过程中容易发生倾倒，导致砸坏烧结炉，影响生产效率。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的问题，本技术提供一种ito旋转靶材烧结防护装置，能够在烧结时对超长ito旋转靶材进行防护，防止超长ito旋转靶材素坯在烧结过程倾倒。
2、本技术为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种ito旋转靶材烧结防护装置，包括四个基座柱，四个基座柱呈矩形布置，相对的两个基座柱之间穿设有限位梁，相邻的两个限位梁上下交错布置，每个限位梁两端分别伸出基座柱且伸出的端部上设有限位杆，基座柱和限位梁均为空心结构。
3、作为优选的方案，所述基座柱具有支撑部、锥形连接部和限位部，支撑部、锥形连接部和限位部从上到下依次设置，限位部上相邻的两个侧面分别设有贯穿限位部的第一通孔和第二通孔，第一通孔和第二通孔上下交错设置，限位梁能够穿入第一通孔或者第二通孔。
4、作为优选的方案，限位部在支撑部上的正投影落入支撑部的区域内。
...【技术保护点】
1.一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于，包括四个基座柱（1），四个基座柱（1）呈矩形布置，相对的两个基座柱（1）之间穿设有限位梁（2），相邻的两个限位梁（2）上下交错布置，每个限位梁（2）两端分别伸出基座柱（1）且伸出的端部上设有限位杆（3），基座柱（1）和限位梁（2）均为空心结构。
2.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：所述基座柱（1）具有支撑部（101）、锥形连接部（102）和限位部（103），支撑部（101）、锥形连接部（102）和限位部（103）从上到下依次设置，限位部（103）上相邻的两个侧面分别设有贯穿限位部（103）的第一通孔（104）和第二通孔（105），第一通孔（104）和第二通孔（105）上下交错设置，限位梁（2）能够穿入第一通孔（104）或者第二通孔（105）。
3.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：限位部（103）在支撑部（101）上的正投影落入支撑部（101）的区域内。
4.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：所述基座柱（1
5.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：所述限位梁（2）上设有与限位杆（3）配合的第三通孔（201），所述第三通孔（201）为多个。
6.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：所述限位杆（3）包括竖直部（302）和水平部（301），竖直部（302）插设在第三通孔（201）内。
...【技术特征摘要】
1.一种ito旋转靶材烧结防护装置，其特征在于，包括四个基座柱（1），四个基座柱（1）呈矩形布置，相对的两个基座柱（1）之间穿设有限位梁（2），相邻的两个限位梁（2）上下交错布置，每个限位梁（2）两端分别伸出基座柱（1）且伸出的端部上设有限位杆（3），基座柱（1）和限位梁（2）均为空心结构。
2.根据权利要求1所述的一种ito旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：所述基座柱（1）具有支撑部（101）、锥形连接部（102）和限位部（103），支撑部（101）、锥形连接部（102）和限位部（103）从上到下依次设置，限位部（103）上相邻的两个侧面分别设有贯穿限位部（103）的第一通孔（104）和第二通孔（105），第一通孔（104）和第二通孔（105）上下交错设置，限位梁（2）能够穿入第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：张启华，代立鑫，姚远，
申请(专利权)人：洛阳晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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