【技术实现步骤摘要】
本公开属于半导体制备，特别涉及一种具有限位功能的行星盘及石墨托盘。
技术介绍
1、微型发光二极管(micro light emitting diode，micro led)，具有分辨率高，色彩饱和度大、响应速度快等优点，在显示领域、光通信领域、生物领域和医疗领域等实现了广泛的应用。
2、在相关技术中，微型发光二极管在制备过程中，需要使用金属有机化学气相沉积设备来制备外延片。石墨托盘是金属有机化学气相沉积设备中的重要部件，其中配置有多个行星盘，通过行星盘承托衬底，以便于在衬底上生长外延层，从而得到外延片。行星盘包括圆盘件和圆环件，圆环件位于圆盘件的外边缘处，用于对放置在圆环件上的衬底进行限位。
3、然而，为了便于机械臂将圆环件装配至圆盘件的外边缘处，圆环件的内径要大于圆盘件的外径，也即圆环件的内边缘与圆盘件的外边缘之间存在一定的活动空间，导致圆环件在装配至圆盘件之后，容易出现一定的偏移，进而导致衬底外边缘不同部位与圆环件之间的距离不同，存在受热不均的问题。
技术实现思路
1、本公开实施例提供了一种具有限位功能的行星盘及石墨托盘，能够有效的提高衬底的受热均匀性，进而保证了制备出的外延片的片内波长均匀性。所述技术方案如下：
2、第一方面，本公开实施例提供了一种行星盘，所述行星盘应用于石墨托盘，所述行星盘包括：圆盘件和圆环件；
3、所述圆盘件包括基盘和支撑盘，所述基盘与所述支撑盘同轴相连，且所述基盘的外径大于所述基盘的外径，所述基盘的外边缘朝
4、所述圆环件包括限位环和装配环，所述限位环与所述装配环同轴相连，所述装配环背向所述限位环的一面具有第二倒角，所述第二倒角与所述第一倒角相匹配。
5、在本公开的一种实现方式中，所述第一倒角和所述第二倒角均为斜倒角，或者，所述第一倒角和所述第二倒角均为圆倒角。
6、在本公开的一种实现方式中，当所述第一倒角和所述第二倒角均为斜倒角，所述第一倒角的斜面与所述基盘朝向所述支撑盘的一面之间的夹角为20°～50°。
7、在本公开的一种实现方式中，所述装配环的内边缘与所述限位环的内边缘平齐。
8、在本公开的一种实现方式中，所述装配环朝向所述限位环的一面与所述基盘朝向所述支撑盘的一面平齐。
9、在本公开的一种实现方式中，所述限位环包括第一环体和第二环体；
10、所述第一环体和所述第二环体同轴布置，且所述第一环体的外边缘与所述第二环体的内边缘相连，所述第一环体位于所述基盘和所述支撑盘之间形成的夹角空间处。
11、在本公开的一种实现方式中，所述第一环体朝向所述装配环的一面与所述第二环体朝向所述装配环的一面平齐。
12、在本公开的一种实现方式中，所述圆盘件为一体式结构件，所述圆环件为一体式结构件。
13、第二方面，本公开实施例提供了一种石墨托盘，所述石墨托盘包括主盘体、覆盖件和多个第一方面所述的行星盘；
14、所述覆盖件贴设在所述主盘体的一面，所述覆盖件具有多个相互间隔排布的容置孔，所述容置孔与所述行星盘一一对应；
15、所述行星盘位于对应的所述容置孔内。
16、在本公开的一种实现方式中，所述石墨托盘还包括第一安装件和第二安装件；
17、所述第一安装件分别与所述覆盖件和所述主盘体相插接；
18、所述第二安装件分别与所述基盘和所述主盘体相插接。
19、本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
20、支撑盘用于承载衬底，限位环用于对衬底进行限位。由于所述基盘的外边缘朝向所述支撑盘的一面具有第一倒角，所述装配环背向所述限位环的一面具有第二倒角，且所述第二倒角与所述第一倒角相匹配，所以在完成圆盘件和圆环件之间的转配后，第一倒角和第二倒角之间相贴，利用二者之间的摩擦力，能够实现圆盘件和圆环件之间的限位，避免了圆环件在圆盘件上出现偏移。如此一来，保证了放置在支撑盘上的衬底外边缘各部位均与限位环之间保持相同的距离，从而保证了衬底受热均匀，进而保证了制备出的外延片的片内波长均匀性。
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1.一种行星盘，其特征在于，应用于石墨托盘，所述行星盘包括：圆盘件(10)和圆环件(20)；
2.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为斜倒角，或者，所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为圆倒角。
3.根据权利要求2所述的行星盘，其特征在于，当所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为斜倒角，所述第一倒角(111)的斜面与所述基盘(110)朝向所述支撑盘(120)的一面之间的夹角为20°～50°。
4.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述装配环(220)的内边缘与所述限位环(210)的内边缘平齐。
5.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述装配环(220)朝向所述限位环(210)的一面与所述基盘(110)朝向所述支撑盘(120)的一面平齐。
6.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述限位环(210)包括第一环体(211)和第二环体(212)；
7.根据权利要求6所述的行星盘，其特征在于，所述第一环体(211)朝向所述装
8.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述圆盘件(10)为一体式结构件，所述圆环件(20)为一体式结构件。
9.一种石墨托盘，其特征在于，包括主盘体(100)、覆盖件(200)和多个权利要求1-8任一项所述的行星盘(300)；
10.根据权利要求9所述的石墨托盘，其特征在于，所述石墨托盘还包括第一安装件(400)和第二安装件(500)；
...【技术特征摘要】
1.一种行星盘，其特征在于，应用于石墨托盘，所述行星盘包括：圆盘件(10)和圆环件(20)；
2.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为斜倒角，或者，所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为圆倒角。
3.根据权利要求2所述的行星盘，其特征在于，当所述第一倒角(111)和所述第二倒角(221)均为斜倒角，所述第一倒角(111)的斜面与所述基盘(110)朝向所述支撑盘(120)的一面之间的夹角为20°～50°。
4.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述装配环(220)的内边缘与所述限位环(210)的内边缘平齐。
5.根据权利要求1所述的行星盘，其特征在于，所述装配环(220)朝向所述限位环(210)的一面与...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈张笑雄，薛涛，王群，龚逸品，王江波，
申请(专利权)人：华灿光电苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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