【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空吸附机器人，具体为一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件。
技术介绍
1、在半导体工业中，晶圆是制造电子设备的基本材料，晶圆的处理和加工过程包括多个步骤，其中之一是使用晶圆吸附翻转组件进行晶圆的吸附和翻转，这一步骤对于晶圆的处理和加工过程至关重要，吸附式搬运是利用真空吸附原理，通过抽真空的方式在吊运对象表面形成负压，从而产生吸附力，实现物品的搬运。
2、授权公告号为cn104723345b的专利，公开了一种应用于晶圆传输机器人的可翻转末端组件，机器人手腕壳体连接在小臂一端，手腕壳体内安装伺服电机，电机带轮安装在伺服电机输出轴上，钢带连接在电机带轮和回转机构带轮之间，回转机构带轮固定在回转机构上，回转机构一端固定在手腕壳体内部，另一端连接真空吸附末端，其中回转机构左端连接真空气管接头。在其他实施例中伺服电机也可用其他电机代替，吸附晶圆时，固定弯管和固定外管内首先产生真空，旋转内管在回转的同时也可产生真空，真空吸附末端中空孔道与真空末端连接轴内孔道产生真空压，依靠内外压差吸附晶圆。
3、如上述申请相同，现有的真空吸附式搬运机器人，在通过吸附组件对晶圆进行吸附后，需要进行一个90度的翻转，便于对吸附组件上吸附的物品进行加工或者转运，但是现有的真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其在吸附的时候缺少定位组件，使得吸附组件吸附物品无法保证其处于中心位置，会影响吸附的稳定性，并且吸附产生偏移，也影响后续晶圆的转移的定位，但是如果设置定位组件，则定位组件会导致对晶圆的加工面（即完全裸露的一面）造成影响。p>
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本专利技术提供了一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件。
2、本专利技术采用以下技术方案，一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，包括吸附座，所述吸附座背面中心处设置有立柱，所述立柱上设置有翻转机构，所述吸附座外侧转动设置有定位组件，所述翻转机构与定位组件通过联动组件传动连接，当所述翻转机构驱动吸附座翻转呈水平状态时，联动组件同步带动定位组件翻转到与立柱处于相互垂直状态，当所述翻转机构驱动吸附座翻转呈竖直状态时，联动组件同步带动定位组件翻转到与立柱处于相互水平状态。
3、作为上述技术方案的进一步描述：所述定位组件包括定位架，所述定位架一端固定连接有凹型连接座，所述凹型连接座上转动连接有连接轴，所述连接轴的中段位置处固定连接有安装块，所述安装块焊接固定在吸附座的外壁上，所述定位架内部底板上沿长度方向开设有滑槽，所述滑槽内转动连接有丝杠，所述丝杠上螺纹连接有丝杠螺母座，所述丝杠螺母座下表面固定连接有定位块，所述定位架的内部底板上固定有带动丝杠转动的丝杠电机。
4、作为上述技术方案的进一步描述：所述定位组件共设置有三个，且三个定位组件呈环形分布，相邻两定位组件之间的夹角相等。
5、作为上述技术方案的进一步描述：所述翻转机构包括凹型翻转座，所述凹型翻转座上转动连接有机械臂，所述机械臂远离凹型翻转座的一端焊接有固定座，所述凹型翻转座的侧壁上焊接有第一凹型座，所述机械臂上表面焊接有第二凹型座，所述第一凹型座和第二凹型座之间转动连接有液压伸缩杆。
6、作为上述技术方案的进一步描述：所述固定座上开设有螺纹安装孔，所述固定座与机械臂的两侧壁之间焊接三角加强筋。
7、作为上述技术方案的进一步描述：所述联动组件包括套设在立柱上的滑动环，滑动环可在立柱上上下滑动，所述滑动环的外壁上与所述定位组件相对的位置处开设有条形凹槽，所述定位架上表面焊接有第三凹型座，所述条形凹槽内通过转轴转动连接有第一连杆，所述第一连杆的另一端通过转轴与第三凹型座转动连接。
8、作为上述技术方案的进一步描述：所述滑动环外壁上焊接有承载块，所述承载块上表面焊接有第四凹型座，所述机械臂的下表面焊接有第五凹型座，所述第四凹型座上转动连接有第二连杆，且第二连杆的另一端与第五凹型座转动连接。
9、作为上述技术方案的进一步描述：所述第三凹型座位于定位架沿长度方向的水平中线上方，所述第三凹型座的下表面开设有矩形凹槽。
10、作为上述技术方案的进一步描述：所述吸附座下表面中心处开设有圆形凹槽，所述圆形凹槽内部中心处安装有气动吸盘。
11、作为上述技术方案的进一步描述：所述滑槽贯穿定位架的内部底板，所述滑槽和丝杠螺母座均为十字型结构，所述丝杠螺母座与滑槽滑动连接。
12、在上述技术方案中，本专利技术提供的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，通过吸附座上设置的定位组件，可以将位于吸附座下方的晶圆进行居中定位，使得圆形结构的晶圆的中心与吸附座的中心处于同一位置，一方面提高了通过吸附座内的气动吸盘吸附固定晶圆转移的稳定性，其次通过晶圆与吸附座之间的精确定位，也提高了后续晶圆的转移和加工定位的精确性；
13、进一步的，该真空吸附式搬运机器人末端翻转组件在使用时，当需要通过吸附座吸附固定晶圆时，此时定位组件同步打开呈与立柱处于垂直状态，此时可通过定位组件对晶圆进行定位后，再进行吸附，当吸附完成后，通过翻转机构带动吸附座上吸附固定的晶圆翻转呈竖直状态时，通过联动组件同步带动定位组件翻转到与立柱处于相互水平状态，此时定位组件转动收缩在一起，使得定位组件不会影响到吸附座上吸附固定的晶圆的加工或转移。
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1.一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，包括吸附座（1），所述吸附座（1）背面中心处设置有立柱（2），其特征在于，所述立柱（2）上设置有翻转机构（4），所述吸附座（1）外侧转动设置有定位组件（3），所述翻转机构（4）与定位组件（3）通过联动组件（6）传动连接，当所述翻转机构（4）驱动吸附座（1）翻转呈水平状态时，联动组件（6）同步带动定位组件（3）翻转到与立柱（2）处于相互垂直状态，当所述翻转机构（4）驱动吸附座（1）翻转呈竖直状态时，联动组件（6）同步带动定位组件（3）翻转到与立柱（2）处于相互水平状态。
2.根据权利要求1所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述定位组件（3）包括定位架（31），所述定位架（31）一端固定连接有凹型连接座（32），所述凹型连接座（32）上转动连接有连接轴（33），所述连接轴（33）的中段位置处固定连接有安装块（34），所述安装块（34）焊接固定在吸附座（1）的外壁上，所述定位架（31）内部底板上沿长度方向开设有滑槽（35），所述滑槽（35）内转动连接有丝杠（36），所述丝杠（36）上螺纹连接有丝杠螺母座（39）
3.根据权利要求2所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述定位组件（3）共设置有三个，且三个定位组件（3）呈环形分布，相邻两定位组件（3）之间的夹角相等。
4.根据权利要求2所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述翻转机构（4）包括凹型翻转座（41），所述凹型翻转座（41）上转动连接有机械臂（42），所述机械臂（42）远离凹型翻转座（41）的一端焊接有固定座（5），所述凹型翻转座（41）的侧壁上焊接有第一凹型座（43），所述机械臂（42）上表面焊接有第二凹型座（44），所述第一凹型座（43）和第二凹型座（44）之间转动连接有液压伸缩杆（45）。
5.根据权利要求4所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述固定座（5）上开设有螺纹安装孔（51），所述固定座（5）与机械臂（42）的两侧壁之间焊接三角加强筋（52）。
6.根据权利要求4所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述联动组件（6）包括套设在立柱（2）上的滑动环（61），所述滑动环（61）的外壁上与所述定位组件（3）相对的位置处开设有条形凹槽（62），所述定位架（31）上表面焊接有第三凹型座（63），所述条形凹槽（62）内通过转轴转动连接有第一连杆（64），所述第一连杆（64）的另一端通过转轴与第三凹型座（63）转动连接。
7.根据权利要求6所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述滑动环（61）外壁上焊接有承载块（66），所述承载块（66）上表面焊接有第四凹型座（67），所述机械臂（42）的下表面焊接有第五凹型座（69），所述第四凹型座（67）上转动连接有第二连杆（68），且第二连杆（68）的另一端与第五凹型座（69）转动连接。
8.根据权利要求6所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述第三凹型座（63）位于定位架（31）沿长度方向的水平中线上方，所述第三凹型座（63）的下表面开设有矩形凹槽（65）。
9.根据权利要求1所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述吸附座（1）下表面中心处开设有圆形凹槽（11），所述圆形凹槽（11）内部中心处安装有气动吸盘（12）。
10.根据权利要求2所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述滑槽（35）贯穿定位架（31）的内部底板，所述滑槽（35）和丝杠螺母座（39）均为十字型结构，所述丝杠螺母座（39）与滑槽（35）滑动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，包括吸附座（1），所述吸附座（1）背面中心处设置有立柱（2），其特征在于，所述立柱（2）上设置有翻转机构（4），所述吸附座（1）外侧转动设置有定位组件（3），所述翻转机构（4）与定位组件（3）通过联动组件（6）传动连接，当所述翻转机构（4）驱动吸附座（1）翻转呈水平状态时，联动组件（6）同步带动定位组件（3）翻转到与立柱（2）处于相互垂直状态，当所述翻转机构（4）驱动吸附座（1）翻转呈竖直状态时，联动组件（6）同步带动定位组件（3）翻转到与立柱（2）处于相互水平状态。
2.根据权利要求1所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述定位组件（3）包括定位架（31），所述定位架（31）一端固定连接有凹型连接座（32），所述凹型连接座（32）上转动连接有连接轴（33），所述连接轴（33）的中段位置处固定连接有安装块（34），所述安装块（34）焊接固定在吸附座（1）的外壁上，所述定位架（31）内部底板上沿长度方向开设有滑槽（35），所述滑槽（35）内转动连接有丝杠（36），所述丝杠（36）上螺纹连接有丝杠螺母座（39），所述丝杠螺母座（39）下表面固定连接有定位块（38），所述定位架（31）的内部底板上固定有带动丝杠（36）转动的丝杠电机（37）。
3.根据权利要求2所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述定位组件（3）共设置有三个，且三个定位组件（3）呈环形分布，相邻两定位组件（3）之间的夹角相等。
4.根据权利要求2所述的一种真空吸附式搬运机器人末端翻转组件，其特征在于，所述翻转机构（4）包括凹型翻转座（41），所述凹型翻转座（41）上转动连接有机械臂（42），所述机械臂（42）远离凹型翻转座（41）的一端焊接有固定座（5），所述凹型翻转座（41）的侧壁上焊接有第一凹型座（43），所述机械臂（42）上表面焊接有第二凹型座（44...
【专利技术属性】
技术研发人员：林坚，王彭，董渠，银春，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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