【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体行业高低温测试领域，尤其是涉及一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统。
技术介绍
1、在现今，电子元件于实际使用时，可能处于高低温环境，为确保电子元件的使用品质，在电子元件制作完成后，必须以测试设备的测试装置对电子元件进行浸入式热测或者浸入式冷测，以淘汰不良品。现有测试技术主要是常高温测试，不具备自主压制控温功能。在测试过程中，芯片会发热，导致温度发生变化，与设定温度发生偏差。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术旨在提出一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，以解决芯片测试过程中，由于芯片发热导致温度发生变化，与设定温度发生偏差的问题。
2、为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
3、一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，包括气源进气口、控制器、控制系统、一号温控器，气源进气口，分别管路连接至比例混合阀、灌流风机和测试腔，且上述三条管路上分别安装一个阀，每个阀均信号连接至控制器，比例混合阀还管路连接至液氮入口，且该管路上安装一号阀，控制器，通过控制一号阀的状态来控制液氮的流通量；通过控制阀的状态来控制气体的流通量，一号温控器，用来控制灌流风机的工作状态，控制系统，根据测试腔内部的温度数据，调节控制器、一号温控器的工作状态，从而与测试腔配合测试物料。
4、进一步的，所述测试腔包括自上而下依次连接的ic载具、载盘流道与二号加热器，ic载具用于放置物料，载盘流道内设有气体流道，用于通过进入测试腔内的气体，二号加热器安装在
5、进一步的，所述测试腔为密封腔体。
6、进一步的，所述灌流风机镶嵌在测试腔上，灌流风机的进风口与出风口都位于测试腔的腔体内，测试腔内来自灌流风机的混合气体在测试腔的腔体内形成内部风循环轨迹。
7、进一步的，所述灌流风机内部设有一号加热器，一号加热器信号连接至一号温控器，一号温控器控制一号加热器的工作，灌流风机内部的灌流风轮转动，风从进风口导向板进入，通过一号加热器，在灌流风轮带动下，从底部出去；在此期间混合气体喷管、干燥气体喷管根据控制系统的控制进行喷入混合气体或者干燥气体。
8、进一步的，所述干燥气源进气口一分为三，二号阀安装在干燥气源进气口至比例混合阀之间的管道上；三号阀安装在干燥气源进气口至灌流风机之间的管道上；四号阀安装在干燥气源进气口至载盘流道之间的管道上，一号阀安装在液氮入口到比例混合阀之间的管道上，一号阀、二号阀、三号阀和四号阀均由控制器控制，在各单元中间管路上起着流量调节作用。
9、进一步的，所述比例混合阀安装一号温度传感器，一号温度传感器将采集到的温度反馈到控制器上。
10、进一步的，所述灌流风机底部安装二号温度传感器，二号温度传感器检测灌流风机的出风温度，并读取温度反馈到一号温控器上。
11、进一步的，所述测试腔内部还设有四号温度传感器，四号温度传感器将测试腔的整体温度反馈给控制系统。
12、相对于现有技术，本技术所述的液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统具有以下优势：
13、(1)本技术所述的液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，可以满足较大的温差，同时具备温度压制，保持温度稳定，防止在测试过程中因芯片发热导致温度偏差。
14、(2)本技术所述的液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，物理制冷，制冷量大，无化学品制冷，无环境污染。
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1.一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：测试腔包括自上而下依次连接的IC载具、载盘流道与二号加热器，IC载具用于放置物料，载盘流道内设有气体流道，用于通过进入测试腔内的气体，二号加热器安装在载盘流道下方，载盘流道内部安装三号温度传感器，三号温度传感器采集载盘流道的温度数据并反馈到二号温控器，二号温控器信号连接至控制系统，二号温控器用于控制二号加热器的工作状态。
3.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：测试腔为密封腔体。
4.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：灌流风机镶嵌在测试腔上，灌流风机的进风口与出风口都位于测试腔的腔体内，测试腔内来自灌流风机的混合气体在测试腔的腔体内形成内部风循环轨迹。
5.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：灌流风机内部设有一号加热器，一号加热器信号连接至一号温控器，一号温控器控制一号加热器的工作，
6.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：干燥气源进气口一分为三，二号阀安装在干燥气源进气口至比例混合阀之间的管道上；三号阀安装在干燥气源进气口至灌流风机之间的管道上；四号阀安装在干燥气源进气口至载盘流道之间的管道上，一号阀安装在液氮入口到比例混合阀之间的管道上，一号阀、二号阀、三号阀和四号阀均由控制器控制，在各单元中间管路上起着流量调节作用。
7.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：比例混合阀安装一号温度传感器，一号温度传感器将采集到的温度反馈到控制器上。
8.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：灌流风机底部安装二号温度传感器，二号温度传感器检测灌流风机的出风温度，并读取温度反馈到一号温控器上。
9.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：测试腔内部还设有四号温度传感器，四号温度传感器将测试腔的整体温度反馈给控制系统。
...【技术特征摘要】
1.一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：测试腔包括自上而下依次连接的ic载具、载盘流道与二号加热器，ic载具用于放置物料，载盘流道内设有气体流道，用于通过进入测试腔内的气体，二号加热器安装在载盘流道下方，载盘流道内部安装三号温度传感器，三号温度传感器采集载盘流道的温度数据并反馈到二号温控器，二号温控器信号连接至控制系统，二号温控器用于控制二号加热器的工作状态。
3.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：测试腔为密封腔体。
4.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：灌流风机镶嵌在测试腔上，灌流风机的进风口与出风口都位于测试腔的腔体内，测试腔内来自灌流风机的混合气体在测试腔的腔体内形成内部风循环轨迹。
5.根据权利要求1所述的一种液氮入口浸入式高低温测试温度控制系统，其特征在于：灌流风机内部设有一号加热器，一号加热器信号连接至一号温控器，一号温控器控制一号加热器的工作，灌流风机内部的灌流风轮转动，风从进风口导向板进入，通过一...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨文宝，贺怀珍，任彬，罗琳，郭义星，陶元真，
申请(专利权)人：天津金海通半导体设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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