一种高效SVG显影装置制造方法及图纸

本技术公开了一种高效SVG显影装置，其包括：机壳、第一旋转驱动装置、第一转盘、第二转盘、显影液喷头和纯水喷头，所述第一旋转驱动装置设置在机壳内腔底部，所述第一转盘水平设置在第一旋转驱动装置的顶部输出端，所述第一转盘顶面中部竖向设置有隔板，所述第二转盘可旋转地设置在第一转盘上方，并位于隔板的两侧，所述机壳中设置有延伸至第二转盘上方的支架，所述显影液喷头和纯水喷头间隔设置在支架上并与两个第二转盘一一对应。本技术所述的高效SVG显影装置，两个第二转盘利用隔板进行隔离，可以分别进行显影液和纯水的喷淋，减少空等的时间，提升了生产的效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及svg显影设备领域，尤其涉及一种高效svg显影装置。

技术介绍

1、在半导体的生产过程中，需要svg显影设备对硅片进行显影和定影。在显影过程中，往往需要先在硅片表面喷纯水，再对硅片进行显影液的喷淋，为了让显影液与光刻胶进行充分的反应，喷淋后等待1分钟左右，再喷纯水对显影液进行清洗，然后甩干，完成对硅片的显影。

2、现有的svg显影设备往往只有一个工位，喷淋后等待的时间长，生产的效率低，需要进行改进。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种高效svg显影装置，提升显影工作的效率。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、一种高效svg显影装置，包括：机壳、第一旋转驱动装置、第一转盘、第二转盘、显影液喷头和纯水喷头，所述第一旋转驱动装置设置在机壳内腔底部，所述第一转盘水平设置在第一旋转驱动装置的顶部输出端，所述第一转盘顶面中部竖向设置有隔板，所述第二转盘可旋转地设置在第一转盘上方，并位于隔板的两侧，所述机壳中设置有延伸至第二转盘上方的支架，所述显影液喷头和纯水喷头间隔设置在支架上并与两个第二转盘一一对应。

4、其中，所述第一转盘底部设置有驱动第二转盘的第二旋转驱动装置。

5、其中，所述第一旋转驱动装置和第二旋转驱动装置分别采用电机。

6、其中，所述机壳中设置有汇流槽，所述汇流槽采用环形结构，且开口位于第一转盘的边缘下方。

7、其中，所述机壳上设置有与显影液喷头相连接的显影液供应管。</p>

8、其中，所述机壳上设置有与纯水喷头相连接的纯水供应管。

9、其中，所述第二转盘上设置有定位座。

10、本技术的有益效果：一种高效svg显影装置，特别设计了两个第二转盘，并利用隔板进行隔离，可以分别进行显影液和纯水的喷淋，切换灵活，减少空等的时间，提升了生产的效率。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高效SVG显影装置，其特征在于，包括：机壳、第一旋转驱动装置、第一转盘、第二转盘、显影液喷头和纯水喷头，所述第一旋转驱动装置设置在机壳内腔底部，所述第一转盘水平设置在第一旋转驱动装置的顶部输出端，所述第一转盘顶面中部竖向设置有隔板，所述第二转盘可旋转地设置在第一转盘上方，并位于隔板的两侧，所述机壳中设置有延伸至第二转盘上方的支架，所述显影液喷头和纯水喷头间隔设置在支架上并与两个第二转盘一一对应。

2.根据权利要求1所述的高效SVG显影装置，其特征在于，所述第一转盘底部设置有驱动第二转盘的第二旋转驱动装置。

3.根据权利要求2所述的高效SVG显影装置，其特征在于，所述第一旋转驱动装置和第二旋转驱动装置分别采用电机。

4.根据权利要求1所述的高效SVG显影装置，其特征在于，所述机壳中设置有汇流槽，所述汇流槽采用环形结构，且开口位于第一转盘的边缘下方。

5.根据权利要求1所述的高效SVG显影装置，其特征在于，所述机壳上设置有与显影液喷头相连接的显影液供应管。

6.根据权利要求1所述的高效SVG显影装置，其特征在于，所述机壳上设置有与纯水喷头相连接的纯水供应管。

7.根据权利要求1所述的高效SVG显影装置，其特征在于，所述第二转盘上设置有定位座。

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【技术特征摘要】

1.一种高效svg显影装置，其特征在于，包括：机壳、第一旋转驱动装置、第一转盘、第二转盘、显影液喷头和纯水喷头，所述第一旋转驱动装置设置在机壳内腔底部，所述第一转盘水平设置在第一旋转驱动装置的顶部输出端，所述第一转盘顶面中部竖向设置有隔板，所述第二转盘可旋转地设置在第一转盘上方，并位于隔板的两侧，所述机壳中设置有延伸至第二转盘上方的支架，所述显影液喷头和纯水喷头间隔设置在支架上并与两个第二转盘一一对应。

2.根据权利要求1所述的高效svg显影装置，其特征在于，所述第一转盘底部设置有驱动第二转盘的第二旋转驱动装置。

3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：周扬扬，周炳，
申请(专利权)人：德兴市意发功率半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：