【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体气路控制设备，特别是关于一种气动三通过滤波纹管阀。
技术介绍
1、波纹管阀又称波纹管截止阀，通过波纹管伸缩变量实现阀门的关闭与开启。波纹管阀结构复杂，密封性差容易发生泄漏，一旦泄漏就会污染制备半导体用的高纯气体，造成生产的半导体产品不合格，产生损失。
2、而现有波纹管截止阀存在以下问题：1、在半导体气路控制设备中，目前在高纯气体领域控制系统中的波纹管阀结构多为直通型结构，即a-b，无法实现多点气路输送。2、现有的波纹管阀因使用寿命或特殊气体（例如有毒和/或腐蚀性气体）的影响，一旦造成腐蚀致使阀体泄漏，阀体泄漏后气体在阀体内部循环流出，输出的高纯气体达不到高纯要求，造成气路污染，损失不可估量。3、波纹管密封形式为面密封，对密封面精度及平面度要求极高，对加工带来困难，并且加工成本较高。
技术实现思路
1、针对上述问题，本专利技术的目的是提供一种气动三通过滤波纹管阀，其能实现多点气路输送，并有效避免在阀体泄漏后造成气路污染的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采取以下技术方案：一种气动三通过滤波纹管阀，其包括：阀体，其内具有用于限定气体流向的腔室，以及与该腔室连通的至少三路以上的气路通道和一路控制通道，在所述阀体上还设置有与所述气路通道连通的连接头；波纹管焊接组件，其工作端设置在所述阀体的控制通道内，控制端经所述控制通道延伸至所述阀体的外部；气缸组件，所述波纹管焊接组件的控制端位于所述气缸组件内，由所述气缸组件控制所述波纹管焊接组件的动作
3、进一步，所述阀体、所述波纹管焊接组件、所述气缸组件、所述连接套和所述螺纹密封接头都采用vim+var双真空冶炼制备的超结净316l材料制成。
4、进一步，所述阀体的连接头外部设置有用于与所述螺纹密封接头进行密封连接的外螺纹，并在所述连接头处设置有限位外槽。
5、进一步，所述阀体的气路通道中，至少两路所述气路通道作为气体流出通道，一路所述气路通道作为气体进入通道。
6、进一步，所述螺纹密封接头与所述阀体的连接头之间设置有密封垫片。
7、进一步，所述螺纹密封接头的端部外侧设置有内螺纹螺母；所述内螺纹螺母上设置有检测孔。
8、进一步，所述波纹管焊接组件包括阀杆、密封堵、波纹管底座、铜套和常温波纹管；
9、所述阀杆的顶部作为工作端，所述阀杆的底部作为控制端，且所述密封堵设置在所述阀杆的顶部，与所述阀体内的腔室呈匹配设置；
10、所述阀杆位于所述阀体的控制通道内，所述波纹管底座设置在所述阀体的控制通道的一端，与所述阀体接触；
11、所述阀杆的控制端穿过所述波纹管底座延伸至所述阀体的外部，与所述气缸组件连接；且所述阀杆与所述波纹管底座之间设置有所述铜套；
12、在所述阀杆上，位于所述波纹管底座与所述阀杆的顶部之间设置有所述常温波纹管。
13、进一步，所述波纹管底座与所述阀体接触的底面采用圆弧底面，使所述波纹管底座与所述阀体之间的密封为线密封结构。
14、进一步，所述连接套设置在所述波纹管底座与所述气缸组件之间；所述连接套的第一端设置在所述波纹管底座的外部，所述连接套的第二端沿所述阀杆延伸至所述气缸组件内。
15、进一步，所述气缸组件包括气缸座、气缸盖、提升弹簧和活塞；所述气缸座的顶部设置有所述气缸盖，由所述气缸盖与所述气缸座之间形成的空间为气缸控制腔；所述气缸座的底部与所述连接套的第二端连接，且所述连接套的第二端位于所述气缸控制腔内；所述波纹管焊接组件中的阀杆的控制端穿过所述连接套的第二端后，位于所述气缸控制腔的上部；所述连接套的外周设置有弹簧卡圈，所述提升弹簧的固定端通过所述弹簧卡圈套设在所述连接套的第二端，所述提升弹簧的自由端与所述活塞的底部接触；所述活塞设置在所述阀杆的控制端的端部。
16、本专利技术由于采取以上技术方案，其具有以下优点：
17、本专利技术采用的阀体经螺纹密封接头装在气路管道上，气路通道分别与气路管道的进气端和至少两路出气端连通；由气缸组件控制波纹管焊接组件动作，将阀体关闭或开启，开启时，由滤芯对气路管道内的高纯气体进行过滤处理后进入或流出阀体有效保障了流经阀体的高纯气体的纯度能始终满足相应的高纯要求，即使发生泄漏也不会影响气体纯度，有效避免气路污染，对气路实现了保护。
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1.一种气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述阀体（1）、所述波纹管焊接组件（2）、所述气缸组件、所述连接套（3）和所述螺纹密封接头（4）都采用VIM+VAR双真空冶炼制备的超结净316L材料制成。
3.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述阀体（1）的连接头外部设置有用于与所述螺纹密封接头（4）进行密封连接的外螺纹，并在所述连接头处设置有限位外槽。
4.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述阀体（1）的气路通道中，至少两路所述气路通道作为气体流出通道，一路所述气路通道作为气体进入通道。
5.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述螺纹密封接头（4）与所述阀体（1）的连接头之间设置有密封垫片。
6.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述螺纹密封接头（4）的端部外侧设置有内螺纹螺母（6）；所述内螺纹螺母（6）上设置有检测孔。
7.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述波纹管
8.如权利要求7所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述波纹管底座（9）与所述阀体（1）接触的底面采用圆弧底面，使所述波纹管底座（9）与所述阀体（1）之间的密封为线密封结构。
9.如权利要求7所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述连接套（3）设置在所述波纹管底座（9）与所述气缸组件之间；所述连接套（3）的第一端设置在所述波纹管底座（9）的外部，所述连接套（3）的第二端沿所述阀杆（7）延伸至所述气缸组件内。
10.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述气缸组件包括气缸座（15）、气缸盖（16）、提升弹簧（17）和活塞（18）；
...【技术特征摘要】
1.一种气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述阀体（1）、所述波纹管焊接组件（2）、所述气缸组件、所述连接套（3）和所述螺纹密封接头（4）都采用vim+var双真空冶炼制备的超结净316l材料制成。
3.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述阀体（1）的连接头外部设置有用于与所述螺纹密封接头（4）进行密封连接的外螺纹，并在所述连接头处设置有限位外槽。
4.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述阀体（1）的气路通道中，至少两路所述气路通道作为气体流出通道，一路所述气路通道作为气体进入通道。
5.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述螺纹密封接头（4）与所述阀体（1）的连接头之间设置有密封垫片。
6.如权利要求1所述气动三通过滤波纹管阀，其特征在于，所述螺纹密封接头...
【专利技术属性】
技术研发人员：高翔，耿德占，
申请(专利权)人：中科艾尔北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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