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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的是光通信领域,特别涉及一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法和系统。
技术介绍
1、光器件生产工艺中,耦合工序逐渐发展成为瓶颈工序,耦合的目的是将ld chip发出的发散光经过lens聚焦到9um的光纤中或者将光纤发出的发散光聚焦到20um左右的pdchip光敏面中。随着光器件朝着高带宽、高速率发展,光功率/响应度精度要求越来越高,同时耦合容差越来越小,光轴平面方向耦合容差在1um以内,所以制程过程中光功率/响应度的控制要求也越来越高。传统固化方式无法解决胶水的固化收缩产生的位移,导致固化前后光功率无法保持稳定。
技术实现思路
1、鉴于上述问题,提出了本专利技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法和系统。
2、为了解决上述技术问题,本申请实施例公开了如下技术方案:
3、一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,包括:
4、s100.设置胶水固化收缩量测试环境,具体包括选取光源的类型、光源距离被固化物lens底层胶水距离和照射角度;
5、s200.在设置的测试环境下,采用不同光照梯度,获取胶水固化过程中光源光功率的变化量;
6、s300.通过光学仿真得出的z轴耦合容差曲线,获取z轴方向不同位移量对应功率变化,绘制产品于z轴方向位移功率变量曲线图;
7、s400.根据s200胶水固化过程中光源光功率的变化量和s300绘制产品于z轴
8、s500.对得到z轴上需要的补偿量进行验证优化。
9、进一步地,s100中,设置胶水固化收缩量测试环境,测试环境具体为:采用双管uv灯管作为光源,双管uv灯管距离被固化物lens底层胶水距离2mm,双管uv灯管照射角度为45°。
10、进一步地,s200中,采用两种光照梯度,其中一组光照的光照强度分别为600mw/cm^2、800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为10s、20s、20s、20s;另一组光照的光照强度分别为800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为20s、30s、20s。
11、进一步地,s200中,获取胶水固化过程中光源光功率的变化量,具体方法为:采用不同梯度光照和不同通道,分别获取固化物lens在光照前的功率、光照后的功率和烘烤后的功率,并计算光照前后和烘烤前后的功率变化量。
12、进一步地,s300中,通过光学仿真软件z-max仿真lens在光学系统中最佳位置的耦合容差曲线,得到z轴方向不同的衰减功率相对于z轴的位移量,从而绘制出z轴方向位置量相对于光学系统功率衰减的曲线图。
13、进一步地,s400中,根据s200胶水固化过程中光源光功率的变化量和s300绘制产品于z轴方向位移功率变量曲线图,得到在光源光照前产品在z轴上需要的补偿量,具体方法为:根据s200胶水固化过程中光源光功率的变化量,得到变化量平均值,将s300耦合最大值减去变化量平均值,然后带入到s300中绘制产品于z轴方向位移功率变量曲线图,得到得到在光源光照前产品在z轴上需要的补偿量。
14、进一步地,s500中,对得到的补偿量进行验证优化,具体方法包括:在同一梯度光照条件下,采用不同通道,分别对产品在z轴上上抬x1、x2和x3距离,其中x1<x2<x3,且x2为s400获取的补偿量,分别得到在z轴上上抬x1、x2和x3距离时的功率变化量p1、p2和p3,比较功率变化量p1、p2和p3数值,当z轴上上抬x2距离时,p2功率变化量最小,则s400的到的补偿量验证通过。
15、本专利技术还公开了一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的系统,包括:测试环境设置单元、光功率的变化量获取单元、z轴方向位移功率变量曲线绘制单元、z轴补偿量计算单元和z轴补偿量验证优化单元;其中:
16、测试环境设置单元,用于设置胶水固化收缩量测试环境,具体包括选取光源的类型、光源距离被固化物lens底层胶水距离和照射角度;
17、光功率的变化量获取单元,用于在设置的环境下,采用不同光照梯度,获取胶水固化过程中光源光功率的变化量;
18、z轴方向位移功率变量曲线绘制单元,通过光学仿真软件z-max仿真lens在光学系统中最佳位置的耦合容差曲线,得到z轴方向不同的衰减功率相对于z轴的位移量,绘制产品于z轴方向位移功率变量曲线图;
19、z轴补偿量计算单元,用于光功率的变化量获取单元得到的光源光功率的变化量和z轴方向位移功率变量曲线绘制单元绘制产品于z轴方向位移功率变量曲线图,得到在光源光照前产品在z轴上需要的补偿量;
20、z轴补偿量验证优化单元,用于对得到z轴上需要的补偿量进行验证优化。
21、进一步地,测试环境设置单元,用于设置胶水固化收缩量测试环境,测试环境具体为:采用双管uv灯管作为光源,双管uv灯管距离被固化物lens底层胶水距离2mm,双管uv灯管照射角度为45°。
22、进一步地,光功率的变化量获取单元,采用两种光照梯度,其中一组光照的光照强度分别为600mw/cm^2、800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为10s、20s、20s、20s;另一组光照的光照强度分别为800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为20s、30s、20s。
23、本专利技术实施例提供的上述技术方案的有益效果至少包括:
24、本专利技术公开的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,包括:设置胶水固化收缩量测试环境;在设置的环境下,采用不同光照梯度,获取胶水固化过程中光源光功率的变化量;通过光学仿真得出的z轴耦合容差曲线,获取z轴方向不同位移量对应功率变化,绘制产品于z轴方向位移功率变量曲线图;根据胶水固化过程中光源光功率的变化量和绘制产品于z轴方向位移功率变量曲线图,得到在光源光照前产品在z轴上需要的补偿量;对得到z轴上需要的补偿量进行验证优化。本专利技术针对小容差光路lens耦合,可有效保持胶水固化前后的光路稳定,从而提高平面封装器件的制程良率及可靠性。
25、下面通过附图和实施例,对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。
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1.一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,S100中,设置胶水固化收缩量测试环境,测试环境具体为:采用双管UV灯管作为光源,双管UV灯管距离被固化物lens底层胶水距离2mm,双管UV灯管照射角度为45°。
3.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,S200中,采用两种光照梯度,其中一组光照的光照强度分别为600mw/cm^2、800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为10s、20s、20s、20s;另一组光照的光照强度分别为800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为20s、30s、20s。
4.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,S200中,获取胶水固化过程中光源光功率的变化量,具体方法为:采用不同梯度光照和不同通道,分别获取固化物lens在光照前的功率、光照后的功率和
5.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,S300中,绘制产品于Z轴方向位移功率变量曲线图的具体方法包括:通过光学仿真软件z-max仿真lens在光学系统中最佳位置的耦合容差曲线,得到Z轴方向不同的衰减功率相对于Z轴的位移量,从而绘制出Z轴方向位置量相对于光学系统功率衰减的曲线图。
6.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,S400中,根据S200胶水固化过程中光源光功率的变化量和S300绘制产品于Z轴方向位移功率变量曲线图,得到在光源光照前产品在Z轴上需要的补偿量,具体方法为:根据S200胶水固化过程中光源光功率的变化量,得到变化量平均值,将S300耦合最大值减去变化量平均值,然后带入到S300中绘制产品于Z轴方向位移功率变量曲线图,得到得到在光源光照前产品在Z轴上需要的补偿量。
7.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,S500中,对得到的补偿量进行验证优化,具体方法包括:在同一梯度光照条件下,采用不同通道,分别对产品在Z轴上上抬x1、x2和x3距离,其中x1<x2<x3,且x2为S400获取的补偿量,分别得到在Z轴上上抬x1、x2和x3距离时的功率变化量p1、p2和p3,比较功率变化量p1、p2和p3数值,当Z轴上上抬x2距离时,p2功率变化量最小,则S400的到的补偿量验证通过。
8.一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的系统,其特征在于,包括:测试环境设置单元、光功率的变化量获取单元、Z轴方向位移功率变量曲线绘制单元、Z轴补偿量计算单元和Z轴补偿量验证优化单元;其中:
9.如权利要求8所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的系统,其特征在于,测试环境设置单元,用于设置胶水固化收缩量测试环境,测试环境具体为:采用双管UV灯管作为光源,双管UV灯管距离被固化物lens底层胶水距离2mm,双管UV灯管照射角度为45°。
10.如权利要求8所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的系统,其特征在于,光功率的变化量获取单元,采用两种光照梯度,其中一组光照的光照强度分别为600mw/cm^2、800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为10s、20s、20s、20s;另一组光照的光照强度分别为800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为20s、30s、20s。
...【技术特征摘要】
1.一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,s100中,设置胶水固化收缩量测试环境,测试环境具体为:采用双管uv灯管作为光源,双管uv灯管距离被固化物lens底层胶水距离2mm,双管uv灯管照射角度为45°。
3.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,s200中,采用两种光照梯度,其中一组光照的光照强度分别为600mw/cm^2、800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为10s、20s、20s、20s;另一组光照的光照强度分别为800mw/cm^2、1000mw/cm^2、1200mw/cm^2,对应光照时间分别为20s、30s、20s。
4.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,s200中,获取胶水固化过程中光源光功率的变化量,具体方法为:采用不同梯度光照和不同通道,分别获取固化物lens在光照前的功率、光照后的功率和烘烤后的功率,并计算光照前后和烘烤前后的功率变化量。
5.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,s300中,绘制产品于z轴方向位移功率变量曲线图的具体方法包括:通过光学仿真软件z-max仿真lens在光学系统中最佳位置的耦合容差曲线,得到z轴方向不同的衰减功率相对于z轴的位移量,从而绘制出z轴方向位置量相对于光学系统功率衰减的曲线图。
6.如权利要求1所述的一种耦合过程中胶水固化收缩量测试和补偿的方法,其特征在于,s400中,根据s200胶水固化过程中光源光功率的变化量和s300绘制产品于z轴方向位移功率变量曲线图,得到在光源光照前产品在z轴上需要的...
【专利技术属性】
技术研发人员:闻小波,王一鸣,
申请(专利权)人:武汉华工正源光子技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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