【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种用于分配至少一种固体前体的气相的设备，所述设备包括：
2.如前一项权利要求所述的设备，其特征在于，该上部区域(21)沿该轴向方向(z)布置在比该下部区域(22)更高的水平处，该第一器皿(1)和该第一加热装置(10)布置在该下部区域(22)中，并且该第二加热装置(20)和这些分配装置(13，14)布置在该上部区域(21)中。
3.如前述权利要求中任一项所述的设备，其特征在于，该设备进一步包括第三加热装置，该第三加热装置布置在该封壳(2)的下部区域(22)中，优选地布置在该器皿(1)的底部(1a)的至少一部分周围或者布置在该器皿(1)的底部(1a)下方。
4.如前述权利要求中的一项所述的设备，其特征在于，该第二加热装置(20)包括至少一个电阻器，该至少一个电阻器尤其是安装在该封壳(2)的壁上或者安装在所述壁附近。
5.如前述权利要求中的一项所述的设备，其特征在于，该设备包括被配置成测量该器皿(1)内的压力的至少一个压力传感器(PC)、以及连接到该压力传感器(PC)和该第一加热装置(10)的控制单元(40)，该控制单元(40)尤其
6.如前述权利要求中的一项所述的设备，其特征在于，该设备进一步包括载气(4)源、将该载气(4)源流体连接到该器皿(1)的入口(16)的供应导管(15)、以及用于使该载气(4)在该器皿(1)中循环的装置(41，42)，所述用于使该载气循环的装置(41，42)被配置成使该载气(4)在该器皿(1)的入口(16)与出口(17)之间循环，使得这些分配装置(13，14)分配来自该器皿(1)的包含该气相(12)和该载气(4)的气体混合物，所述用于使该载气循环的装置(41，42)尤其被配置成控制在该器皿(1)中循环的载气(4)的流量和/或控制该器皿(1)中的压力。
7.如前述权利要求中的一项所述的设备，其特征在于，该设备包括被配置成测量该器皿(1)的外表面的温度和/或测量该封壳内部的温度的至少一个温度传感器(TC)、以及连接到该温度传感器(TC)和该第一加热装置(11)的控制单元(40)，该控制单元(40)尤其被配置成根据由该温度传感器(TC)测量的温度来改变由该第一加热装置(10)递送的加热功率。
8.如前述权利要求中的一项所述的设备，其特征在于，这些分配装置(13，14)包括穿过该封壳(2)的第一壁(52)的至少一个分配导管(13)、围绕该分配导管(13)的至少一部分形成套筒并在所述第一壁(52)的两侧上延伸的加热元件(50)。
9.一种分配组件，该分配组件包括至少两个如权利要求1至8中的一项所限定的分配设备，每个设备包括封壳(2)、器皿(1)、以及流体连接至公共管道(19)的相应的分配装置(13，14)，所述组件包括切换装置，该切换装置被配置成占据第一位置，在该第一位置该气相(12)从两个器皿中的一个器皿分配到该公共管道(19)中，并且该切换装置被配置成在该器皿(1)中的前体的量低于或等于预定低阈值时占据第二位置，在该第二位置该气相(12)从这两个器皿(1)中的另一个器皿分配到该公共管道(19)中，或者该切换装置被配置成占据中间位置，在该中间位置该气相(12)同时从两个器皿分配，该切换装置连接到用于测量代表该器皿(1)中的前体的量的物理量的构件，该物理量选自：该器皿(1)的质量、该器皿(1)中的压力、该器皿(1)的外表面的温度，根据所述物理量的测量值来确定该切换装置从该第一位置到该第二位置的移动。
10.一种处理设施、特别是化学气相沉积设施，该处理设施包括处理室，要处理的一个或多个衬底安装在该处理室中，该处理室包括用于将固体前体的至少一个气相(12)引入到该处理室中的装置，其特征在于，该引入装置流体连接至如权利要求1至8中的一项所限定的设备的或如权利要求9所限定的组件的分配装置(13，14)。
11.一种用于分配至少一种固体前体的气相的方法，该方法包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于分配至少一种固体前体的气相的设备，所述设备包括：
2.如前一项权利要求所述的设备，其特征在于，该上部区域(21)沿该轴向方向(z)布置在比该下部区域(22)更高的水平处，该第一器皿(1)和该第一加热装置(10)布置在该下部区域(22)中，并且该第二加热装置(20)和这些分配装置(13，14)布置在该上部区域(21)中。
3.如前述权利要求中任一项所述的设备，其特征在于，该设备进一步包括第三加热装置，该第三加热装置布置在该封壳(2)的下部区域(22)中，优选地布置在该器皿(1)的底部(1a)的至少一部分周围或者布置在该器皿(1)的底部(1a)下方。
4.如前述权利要求中的一项所述的设备，其特征在于，该第二加热装置(20)包括至少一个电阻器，该至少一个电阻器尤其是安装在该封壳(2)的壁上或者安装在所述壁附近。
5.如前述权利要求中的一项所述的设备，其特征在于，该设备包括被配置成测量该器皿(1)内的压力的至少一个压力传感器(pc)、以及连接到该压力传感器(pc)和该第一加热装置(10)的控制单元(40)，该控制单元(40)尤其被配置成根据由该压力传感器(pc)测量的压力来调节和/或调整由该第一加热装置(10)递送的加热功率。
6.如前述权利要求中的一项所述的设备，其特征在于，该设备进一步包括载气(4)源、将该载气(4)源流体连接到该器皿(1)的入口(16)的供应导管(15)、以及用于使该载气(4)在该器皿(1)中循环的装置(41，42)，所述用于使该载气循环的装置(41，42)被配置成使该载气(4)在该器皿(1)的入口(16)与出口(17)之间循环，使得这些分配装置(13，14)分配来自该器皿(1)的包含该气相(12)和该载气(4)的气体混合物，所述用于使该载气循环的装置(41，42)尤其被配置成控制在该器皿(1)中循环的载气(4)的流量和/或控制该器皿(1)中的压力。
7.如前述权利要求中的一项所述的设备，其特征在于，该设...
【专利技术属性】
技术研发人员：S·普拉扎，V·托多罗娃，埃尔韦·迪尔菲，V·劳伦特，
申请(专利权)人：液化空气电子系统公司，
类型：发明
国别省市：
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