一种石墨夹头组件及多晶硅反应炉制造技术

本技术涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种石墨夹头组件及多晶硅反应炉，包括底座、夹头和塞瓣；底座一端设有插孔，插孔用于连接电极，另一端设有盲孔，盲孔内设有石墨夹头，石墨夹头远离底座的一端设有第一斜孔，第一斜孔内设有硅芯；塞瓣内圈设有第一弧面，外圈设有第二弧面，第二弧面设有与第一斜孔相适应的第一锥面，至少两个塞瓣设于硅芯周圈的圆柱面上，用于加固硅芯；第一斜孔内使用若干塞瓣将硅芯固定，生产过程在硅芯会不断晃动，由于塞瓣外圆面设置与第一斜孔相适应的第一锥面，而塞瓣向下移动会越来越紧，从而使硅芯更加稳固，更加安全可靠。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产设备，尤其涉及一种石墨夹头组件及多晶硅反应炉。

技术介绍

1、多晶硅是太阳能光伏电池板和可控硅元件的生产所需的必要原材料，最普遍且最让人们熟知的生产多晶硅的方法就是改良西门子法，其原理就是用高纯氢还原高纯三氯氢硅，但此反应需要在1100℃左右的高纯硅芯上进行。硅芯是在改良西门子法多晶硅生产中作为反应炉中进行还原反应沉积多晶硅的热载体，在还原反应结束后，硅沉积在硅芯周围，硅芯连同硅通过破碎一起作为多晶硅原料使用。改良西门子法生产工艺的核心设备为石墨夹头组件，该设备的运行稳定性是影响多晶硅生产质量的关键因素。

2、石墨夹头是反应炉生产多晶硅的核心材料，关系到反应炉生产稳定性，决定反应炉多晶硅的产能和质量。石墨夹头是石墨夹头组件中用于安装硅芯、导电的设备。

3、如图1所示，现有石墨夹头为整体的圆锥结构，在硅芯表面沉积硅时，夹头锥度部分顶端表面也在沉积硅，将夹头锥度部分包裹，并与硅芯直径同步变大，硅芯长粗后，承重偏心容易发生摇晃，甚至出现硅棒倒炉的现象，硅棒倒炉易造成产品污染，人员安全风险大等缺陷。

4、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本技术的总体
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的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、本技术提供了一种石墨夹头组件及多晶硅反应炉，从而有效解决
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中的问题。

2、为了达到上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种石墨夹头组件，包括：

3、底座、夹头和塞瓣；

4、所述底座一端设有插孔，所述插孔用于连接电极，另一端设有盲孔，所述盲孔内设有夹头，所述夹头远离所述底座的一端设有第一斜孔，所述第一斜孔内设有硅芯；

5、所述塞瓣内圈设有第一弧面，外圈设有第二弧面，所述第二弧面设有与所述第一斜孔相适应的第一锥面，至少两个所述塞瓣设于所述硅芯周圈的圆柱面上，用于加固所述硅芯。

6、进一步地，所述硅芯接头的外圆面设有第二锥面，所述第一弧面设有与所述第二锥面相适应的第三锥面。

7、进一步地，所述第二弧面靠近所述底座的一端设有第四锥面，所述第四锥面的角度大于第一锥面的角度。

8、进一步地，相邻所述塞瓣之间设有间隙。

9、进一步地，所述夹头靠近所述底座的一端设有凹槽，所述盲孔底部设有凸起，所述凸起设于所述凹槽内，用于防止所述夹头转动。

10、进一步地，所述夹头远离所述底座的一侧设有直面，所述直面与所述凹槽垂直。

11、进一步地，所述夹头靠近所述底座的一侧设有斜面，用于安装导向。

12、进一步地，所述塞瓣远离所述夹头的一侧设有挂台。

13、本技术中还包括一种多晶硅反应炉，包括炉体、底盘、电极和若干如上述的石墨夹头组件，所述炉体设于所述底盘上，所述底盘上设有若干所述电极，所述石墨夹头组件设于所述电极上。

14、本技术的有益效果为：本技术通过设置底座、夹头和塞瓣；底座一端设有插孔，插孔用于连接电极，另一端设有盲孔，盲孔内设有石墨夹头，石墨夹头远离底座的一端设有第一斜孔，第一斜孔内设有硅芯；塞瓣内圈设有第一弧面，外圈设有第二弧面，第二弧面设有与第一斜孔相适应的第一锥面，至少两个塞瓣设于硅芯周圈的圆柱面上，用于加固硅芯；第一斜孔内使用若干塞瓣将硅芯固定，生产过程在硅芯会不断晃动，由于塞瓣外圆面设置与第一斜孔相适应的第一锥面，而塞瓣向下移动会越来越紧，从而使硅芯更加稳固，更加安全可靠。

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【技术保护点】

1.一种石墨夹头组件，其特征在于，包括：底座、夹头和塞瓣；

2.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，所述硅芯接头的外圆面设有第二锥面，所述第一弧面设有与所述第二锥面相适应的第三锥面。

3.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，所述第二弧面靠近所述底座的一端设有第四锥面，所述第四锥面的角度大于第一锥面的角度。

4.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，相邻所述塞瓣之间设有间隙。

5.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，所述夹头靠近所述底座的一端设有凹槽，所述盲孔底部设有凸起，所述凸起设于所述凹槽内，用于防止所述夹头转动。

6.根据权利要求5所述的石墨夹头组件，其特征在于，所述夹头远离所述底座的一侧设有直面，所述直面与所述凹槽垂直。

7.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，所述夹头靠近所述底座的一侧设有斜面，用于安装导向。

8.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，所述塞瓣远离所述夹头的一侧设有挂台。

9.一种多晶硅反应炉，其特征在于，包括炉体、底盘、电极和若干如权利要求1至8任一项所述的石墨夹头组件，所述炉体设于所述底盘上，所述底盘上设有若干所述电极，所述石墨夹头组件设于所述电极上。

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【技术特征摘要】

1.一种石墨夹头组件，其特征在于，包括：底座、夹头和塞瓣；

2.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，所述硅芯接头的外圆面设有第二锥面，所述第一弧面设有与所述第二锥面相适应的第三锥面。

3.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，所述第二弧面靠近所述底座的一端设有第四锥面，所述第四锥面的角度大于第一锥面的角度。

4.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，相邻所述塞瓣之间设有间隙。

5.根据权利要求1所述的石墨夹头组件，其特征在于，所述夹头靠近所述底座的一端设有凹槽，所述盲孔底部设有凸起，所述凸起设于...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫家强，孙彬，韩秀娟，耿盼盼，陈学辉，李祥飞，吴锋，
申请(专利权)人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：