【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及声表面波滤波器，尤其涉及一种具有横模抑制的声表面波装置。
技术介绍
1、随着移动通信技术的块速发展，声表面波装置(surface acoustic wave,saw)由于其尺寸小，性能好等特点，在射频前端中占有越来越重要的地位。声表面波装置主要可以谐振器或者声表面波滤波器，其主要结构包括压电基板、叉指换能器和反射栅，在当前主流的薄膜结构声表面波滤波器和温补覆盖层声表面波滤波器等层叠声表面波装置中，常规的叉指电极不可避免会激励产生高阶的横向模式杂波，从导纳曲线看，即在谐振频率高频方向出现很多尖刺，导致谐振器或者滤波器的平坦度恶化。
2、而目前的横模抑制手段是改变叉指电极的声速，从而抑制横向杂波，例如专利技术专利公布号cn116683885a公开了一种具有活塞模式的声表面波装置，该专利技术申请文件中公开了在电极指的端部设置了电极指增重部，从而改变声速以达到横模抑制的作用。然而对于一些高频滤波器，周期很小，叉指指条和间隙也相应很窄，而由于增加了电极指增重部，使得精度的要求非常高，这对成型的工艺要求非常苛刻，对光刻机的分辨率要求也非常高，而一旦工艺精度不满足，就容易造成增重部的偏差，影响产品性能，甚至造成短路的情况。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种具有横模抑制的声表面波装置，该声表面波滤波器结构不但能够有效的抑制横模，而且可以方便成型。
2、为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种具有横模抑制的声表面波装置，包括压电
3、作为一种优选的方案，各端部横模抑制块的纵向长度从叉指换能器的纵向一侧向另一侧逐渐缩短或逐渐变长。
4、作为一种优选的方案，所述端部横模抑制块的纵向长度为0.1-0.4倍波长。
5、作为一种优选的方案，所述第一端部横模抑制块的横向端面与第一叉指电极的指端面平齐，所述第二端部横模抑制块的横向端面与第二叉指电极的指端面平齐。
6、作为一种优选的方案，所述压电基板的一侧还设置有若干个中间横模抑制块，所述中间横模抑制块与第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块的厚度相同且处在同一层，若干个所述中间横模抑制块与第一叉指电极和第二叉指电极的中间段一一对应。
7、作为一种优选的方案，所有的中间横模抑制块与第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块共同形成了至少两条直线排列的离散排列块组。
8、作为一种优选的方案，同一根第一叉指电极上的第一端部横模抑制块和中间横模抑制块的形状和尺寸相同，同一根第二叉指电极上的第二端部横模抑制块和中间横模抑制块的形状和尺寸相同。
9、作为一种优选的方案，所述压电基板上设置有若干个凹坑，所述第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块一一对应设置于凹坑内。
10、作为一种优选的方案，所述凹坑内的第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块的表面与压电基板平齐。
11、作为一种优选的方案，所述反射栅上也设置有所述的中间横模抑制块，所述反射栅上的中间横模抑制块与叉指换能器上对应的中间横模抑制块、第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块一起成直线排列。
12、采用了上述技术方案后，本专利技术的效果是：由于所述压电基板的一侧设置有若干个离散的第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块，所述叉指换能器设置于压电基板上，并且第一端部横模抑制块与第一叉指电极的端部一一对应并位于第一叉指电极端部的下方，所述第二端部横模抑制块与第二叉指电极的端部一一对应且位于第二叉指电极的端部的下方，因此，该第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块可以改变滤波器的声场，有效的抑制横模，而更重要的是，本专利技术中的滤波器可以先在晶圆(压电基板上成型离散的第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块)，而初始晶圆表面平整和均匀，因此能够实现更高的光刻分辨率，而之后的反射栅和叉指换能器就可以正常的通过套刻工艺制作，并且第一叉指电极和第二叉指电极之间的指间间距就不会变小，成型难度也就更低。
13、又由于各端部横模抑制块的纵向长度从叉指换能器的纵向一侧向另一侧逐渐缩短或逐渐变长，因此，各端部横模抑制块的纵向长度会发生有规律的渐变，这样横向杂波在进行横向传递同时，端部横模抑制块不但可以减低横向杂波声速，抑制横模，并且横向杂波的能量也可以在各不同尺寸的端部横模抑制块之间传导，最终传导出叉指换能器，这样横模抑制的效果更好。
14、又由于所述压电基板的一侧还设置有若干个中间横模抑制块，所述中间横模抑制块与第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块的厚度相同且处在同一层，若干个所述中间横模抑制块与第一叉指电极和第二叉指电极的中间段一一对应。采用该中间横模抑制块能够进一步改变声场结构，更有利于抑制横模。
15、又由于所述压电基板上设置有若干个凹坑，所述第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块一一对应设置于凹坑内。所述凹坑内的第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块的表面与压电基板平齐，这样，压电基板的整体表面依旧是平整状态，叉指换能器和反射栅的成型难度更低。
16、又由于所述反射栅上也设置有所述的中间横模抑制块，所述反射栅上的中间横模抑制块与叉指换能器上对应的中间横模抑制块、第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块一起成直线排列，这样可以更方便将横向杂波的能量传导到反射栅的外部。
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1.一种具有横模抑制的声表面波装置，包括压电基板、叉指换能器和反射栅，所述叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条；第一汇流条和第二汇流条之间交替间隔设置有多个第一叉指电极和多个第二叉指电极；所述第一叉指电极自第一汇流条引出并向第二汇流条延伸，所述第二叉指电极自第二汇流条引出并向第一汇流条延伸，其特征在于：所述压电基板的一侧设置有若干个离散的第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块，所述叉指换能器设置于压电基板上，并且第一端部横模抑制块与第一叉指电极的端部一一对应并位于第一叉指电极端部的下方，所述第二端部横模抑制块与第二叉指电极的端部一一对应且位于第二叉指电极的端部的下方。
2.如权利要求1所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：各端部横模抑制块的纵向长度从叉指换能器的纵向一侧向另一侧逐渐缩短或逐渐变长。
3.如权利要求2所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述端部横模抑制块的纵向长度为0.1-0.4倍波长。
4.如权利要求3所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述第一端部横模抑制块的横向端面与第一叉指电极的指端
5.如权利要求4所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述压电基板的一侧还设置有若干个中间横模抑制块，所述中间横模抑制块与第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块的厚度相同且处在同一层，若干个所述中间横模抑制块与第一叉指电极和第二叉指电极的中间段一一对应。
6.如权利要求5所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所有的中间横模抑制块与第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块共同形成了至少两条直线排列的离散排列块组。
7.如权利要求6所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：同一根第一叉指电极上的第一端部横模抑制块和中间横模抑制块的形状和尺寸相同，同一根第二叉指电极上的第二端部横模抑制块和中间横模抑制块的形状和尺寸相同。
8.如权利要求1至7任一项所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述压电基板上设置有若干个凹坑，所述第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块一一对应设置于凹坑内。
9.如权利要求8所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述凹坑内的第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块的表面与压电基板平齐。
10.如权利要求9所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述反射栅上也设置有所述的中间横模抑制块，所述反射栅上的中间横模抑制块与叉指换能器上对应的中间横模抑制块、第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块一起成直线排列。
...【技术特征摘要】
1.一种具有横模抑制的声表面波装置，包括压电基板、叉指换能器和反射栅，所述叉指换能器包括第一汇流条和第二汇流条；第一汇流条和第二汇流条之间交替间隔设置有多个第一叉指电极和多个第二叉指电极；所述第一叉指电极自第一汇流条引出并向第二汇流条延伸，所述第二叉指电极自第二汇流条引出并向第一汇流条延伸，其特征在于：所述压电基板的一侧设置有若干个离散的第一端部横模抑制块和第二端部横模抑制块，所述叉指换能器设置于压电基板上，并且第一端部横模抑制块与第一叉指电极的端部一一对应并位于第一叉指电极端部的下方，所述第二端部横模抑制块与第二叉指电极的端部一一对应且位于第二叉指电极的端部的下方。
2.如权利要求1所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：各端部横模抑制块的纵向长度从叉指换能器的纵向一侧向另一侧逐渐缩短或逐渐变长。
3.如权利要求2所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述端部横模抑制块的纵向长度为0.1-0.4倍波长。
4.如权利要求3所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述第一端部横模抑制块的横向端面与第一叉指电极的指端面平齐，所述第二端部横模抑制块的横向端面与第二叉指电极的指端面平齐。
5.如权利要求4所述的一种具有横模抑制的声表面波装置，其特征在于：所述压电基板的一侧还设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：王景虹，李晓辉，
申请(专利权)人：苏州声芯电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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