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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种生产氢气联产lng的方法,更具体一点说,涉及一种焦炉煤气生产电子级氢气联产lng的方法,属于焦炉煤气利用领域。
技术介绍
1、高纯氢气在电子工业中具有重要的应用,在晶体的生长和衬底的制备、氧化工艺、外延工艺以及化学气相淀积中均需要用到氢气。在半导体器件制造过程中,氢气纯度对于芯片的质量和性能具有重要意义,需要严格控制氢气的纯度,以确保产品的质量和可靠性。
2、目前,利用焦炉煤气发电是一种不经济的处理方式,并且对于环境存在一定的污染。传统的工艺又局限于焦炉煤气制氢或者焦炉煤气制lng,单独制取一种产品使得另一种产品浪费,焦炉煤气的价值不能得到充分利用.
技术实现思路
1、为了解决上述现有技术问题,本专利技术提供具有能够生产电子级氢气联产lng,提升焦炉煤气的利用价值,减少污染物排放,在保护环境的同时放大经济效益等技术特点的一种焦炉煤气生产电子级氢气联产lng的方法。
2、为了实现上述目的,本专利技术是通过以下技术方案实现的:
3、一种焦炉煤气生产电子级氢气联产lng的方法,该方法包括如下步骤:
4、步骤1)净化处理:将焦炉煤气净化处理,经压缩机压缩至0.4—1.2mpa,送入变温吸附装置,去除原料气中的有害组分后进入步骤2);所述有害组分包括焦油、苯、萘、硫化物、烷烃、芳烃;
5、步骤2)深冷精馏纯化:所述深冷精馏纯化包含压缩、预冷以及通入液氮的精馏,获得lng产品、富氢气体,lng产品进行收集,富氢气体进
6、步骤3)psa制氢提纯:所述psa制氢提纯包含变压吸附、脱氧干燥,psa制氢提纯后进入步骤4);
7、步骤4)纯化器纯化:所述纯化器纯化为氢气纯化,得到电子级h2产品。
8、优选的,步骤2)具体为:净化后的焦炉煤气送入压缩机压缩,获得实际需要的压力后,在预冷中冷却分离水分,送入冷箱中经换热器冷却至实际设定温度后送入精馏塔参与精馏,并且液氮从精馏塔顶部灌入参与精馏过程,在精馏塔底得到lng产品,精馏塔顶得到富氢气体,富氢气体经过换热器复热送去冷箱。
9、优选的,步骤3)具体为:在psa提氢装置中高压吸附,低压解吸,经过变压吸附得到99.999%的高纯氢气,但依然存在少量的氧气,将高纯氢气送入脱氧干燥装置,在脱氧催化剂的作用下,氧与氢气反应生成水,脱除气体中的氧气,经氢气冷却器冷却到常温,再进入干燥机系统深度脱水。
10、优选的,步骤4)具体为:将脱除氧及水分的氢气送去氢气超低温纯化器进行纯化处理,通过液氮浸泡的吸附塔,氢气中的杂质在低温下因固化或液化而被吸附,氢气仍以气体形态流出,纯化得到纯度99.9999999%的电子级氢气。
11、优选的,步骤4)中氢气纯化器使用低温纯化器,用液氮作为冷源浸泡吸附塔,氢气纯化去除杂质包括有co、co2、nmhc、ch4、n2、ar。
12、有益效果:能够综合利用焦炉煤气,生产电子级氢气联产lng,将能源进行综合利用,提高焦炉煤气的经济价值,解决了原有工艺复杂且产品单一的不足问题,具有工艺简单易实施,现场运行操作更简单的特点,同时通过纯化步骤提高氢气的价值。
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1.一种焦炉煤气生产电子级氢气联产LNG的方法,其特征在于该方法包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种焦炉煤气生产电子级氢气联产LNG的方法,其特征在于:步骤2)具体为:净化后的焦炉煤气送入压缩机压缩,获得实际需要的压力后,在预冷中冷却分离水分,送入冷箱中经换热器冷却至实际设定温度后送入精馏塔参与精馏,并且液氮从精馏塔顶部灌入参与精馏过程,在精馏塔底得到LNG产品,精馏塔顶得到富氢气体,富氢气体经过换热器复热送去冷箱。
3.根据权利要求1所述的一种焦炉煤气生产电子级氢气联产LNG的方法,其特征在于:步骤3)具体为:在PSA提氢装置中高压吸附,低压解吸,经过变压吸附得到99.999%的高纯氢气,将高纯氢气送入脱氧干燥装置,在脱氧催化剂的作用下,氧与氢气反应生成水,脱除气体中的氧气,经氢气冷却器冷却到常温,再进入干燥机系统深度脱水。
4.根据权利要求1所述的一种焦炉煤气生产电子级氢气联产LNG的方法,其特征在于:步骤4)具体为:将脱除氧及水分的氢气送去氢气超低温纯化器进行纯化处理,通过液氮浸泡的吸附塔,氢气中的杂质在低温下因固化或液化而被吸附
5.根据权利要求1或4所述的一种焦炉煤气生产电子级氢气联产LNG的方法,其特征在于:步骤4)中氢气纯化器使用低温纯化器,用液氮作为冷源浸泡吸附塔,氢气纯化去除杂质包括有CO、CO2、NMHC、CH4、N2、Ar。
...【技术特征摘要】
1.一种焦炉煤气生产电子级氢气联产lng的方法,其特征在于该方法包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种焦炉煤气生产电子级氢气联产lng的方法,其特征在于:步骤2)具体为:净化后的焦炉煤气送入压缩机压缩,获得实际需要的压力后,在预冷中冷却分离水分,送入冷箱中经换热器冷却至实际设定温度后送入精馏塔参与精馏,并且液氮从精馏塔顶部灌入参与精馏过程,在精馏塔底得到lng产品,精馏塔顶得到富氢气体,富氢气体经过换热器复热送去冷箱。
3.根据权利要求1所述的一种焦炉煤气生产电子级氢气联产lng的方法,其特征在于:步骤3)具体为:在psa提氢装置中高压吸附,低压解吸,经过变压吸附得到99.999%的高纯氢气,将高纯氢气送入脱...
【专利技术属性】
技术研发人员:施俊丰,谷雨,王定伟,
申请(专利权)人:杭氧集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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