【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电子、机械加工，特别是涉及一种真空检漏设备。
技术介绍
1、目前真空检漏主要使用氦质谱检漏仪检漏，氦质谱检漏仪采用氦气为示漏气体专门用于检漏。在真空镀膜
中进行检漏时，真空镀膜机腔室和检漏仪的敏感元件处于真空状态，真空镀膜机腔室的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入真空镀膜机腔室和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置和漏率的大小。
2、因真空镀膜机腔室容积较大，抽真空时间较长，且真空镀膜机腔室外部的元部件较多，检漏仪对各个元部件检漏时间较长，对漏气的元部件判断准确率存在误差。
技术实现思路
1、基于此，针对传统技术中真空镀膜机腔室容积较大，抽真空时间较长，且真空镀膜机腔室外部的元部件较多，检漏仪对各个元部件检漏时间较长，对漏气的元部件判断准确率存在误差有的问题，必要提供一种真空检漏设备。本技术的真空检漏设备能够降低劳动者工作强度及提高其作业效率，本技术通过容积较小的测试腔，通过抽真空系统快速从粗真空到高真空的检测环境，实现对加热棒、靶座、磁流体同时检测，且能快速检测出存在漏气部位，快速便捷，成本低。
2、本申请一实施例提供了一种真空检漏设备。
3、一种真空检漏设备，包括测试腔、抽真空系统以及传动机构；
4、所述测试腔能够连接待检测元器件；
5、所述抽真空系统包括真空泵组件以及真空检测组件，其中，所述真空泵组件包括机械泵以及分子泵；所述真空检测组件包括低规以
6、在其中一些实施例中，所述真空检漏设备还包括传动机构，所述传动机构与所述测试腔传动连接，用于实现需要转动的待检测元器件的转动。
7、在其中一些实施例中，所述传动机构包括电控组件和传动组件，所述电控组件用于提供动能以使所述传动组件进行传动；
8、所述电控组件包括伺服电机以及电机固定座，所述伺服电机安装在所述电机固定座上；
9、所述传动组件包括主动皮带轮、从动皮带轮、同步带以及紧固部件，所述主动皮带轮安装在所述电机固定座上。
10、在其中一些实施例中，所述伺服电机与所述主动皮带轮连接以驱动所述主动皮带轮转动，所述主动皮带轮通过所述同步带与所述从动皮带轮连接以驱动所述从动皮带轮转动；
11、所述紧固部件用于调整所述从动皮带轮与所述主动皮带轮之间的位置，以使所述从动皮带轮适合安装不同规格的待检测元件进行检测。
12、在其中一些实施例中，所述传动组件还包括电机连接板，所述伺服电机安装在所述电机连接板上，所述电机连接板可转动连接所述电机固定座上，所述主动皮带轮安装在所述电机连接板上。
13、在其中一些实施例中，所述紧固部件包括定位杆、推杆以及摇杆，所述电机连接板的一侧可转动连接于所述电机固定座，所述定位杆为中空结构且具有内螺纹，所述定位杆的一端可转动连接于所述电机固定座且另一端与所述电机连接板上的配合凸件螺纹连接，所述电机连接板与所述定位杆之间通过所述定位杆的螺纹转动能够实现相对位置的变化，所述推杆连接所述电机连接板以用于带动所述电机连接板转动，所述摇杆贯穿于所述定位杆的中部以用于锁紧所述配合凸件。
14、在其中一些实施例中，所述电机固定座上具有相对设置的第一铰接件与第二铰接件，所述电机连接板的一侧可转动连接于所述第一铰接件，所述电机连接板相对的另一侧具有卡槽，所述电机连接板能够围绕所述第一铰接件转动且能够实现所述卡槽与所述第二铰接件卡接。
15、在其中一些实施例中，所述传动组件还包括皮带轮安装座，所述皮带轮安装座用于连接待检测元器件；
16、和/或，所述主动皮带轮、所述从动皮带轮之间的中心距为l2为定值，所述主动皮带轮外径d1、所述从动皮带轮外径d2以及所述同步带的近似长度c满足如下关系：
17、
18、在其中一些实施例中，所述测试腔包括真空检漏腔和连接腔，所述连接腔用于将一个或多个待检测元件连接到真空检漏腔上；所述连接腔上连接有法兰板，该法兰板用于连接待检测元器件。
19、在其中一些实施例中，所述真空检漏腔上连接有法兰板，该法兰板用于连接待检测元器件。
20、上述真空检漏设备，测试腔用于模拟真空镀膜机的腔室，可以用于真空镀膜机检漏。在用于真空镀膜机检漏时，能够降低劳动者工作强度及提高其作业效率。本技术测试腔容积较小，通过抽真空系统能够快速实现从粗真空到高真空的检测环境，可实现对加热棒、靶座、磁流体的同时检测，能快速检测出存在漏气部位，快速便捷，成本低。
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1.一种真空检漏设备，其特征在于，包括测试腔以及抽真空系统；
2.根据权利要求1所述的真空检漏设备，其特征在于，所述真空检漏设备还包括传动机构，所述传动机构与所述测试腔传动连接，用于实现需要转动的待检测元器件的转动。
3.根据权利要求2所述的真空检漏设备，其特征在于，所述传动机构包括电控组件和传动组件，所述电控组件用于提供动能以使所述传动组件进行传动；
4.根据权利要求3所述的真空检漏设备，其特征在于，所述伺服电机与所述主动皮带轮连接以驱动所述主动皮带轮转动，所述主动皮带轮通过所述同步带与所述从动皮带轮连接以驱动所述从动皮带轮转动；
5.根据权利要求3所述的真空检漏设备，其特征在于，所述传动组件还包括电机连接板，所述伺服电机安装在所述电机连接板上，所述电机连接板可转动连接所述电机固定座上，所述主动皮带轮安装在所述电机连接板上。
6.根据权利要求5所述的真空检漏设备，其特征在于，所述紧固部件包括定位杆、推杆以及摇杆，所述电机连接板的一侧可转动连接于所述电机固定座，所述定位杆为中空结构且具有内螺纹，所述定位杆的一端可转动连接
7.根据权利要求5所述的真空检漏设备，其特征在于，所述电机固定座上具有相对设置的第一铰接件与第二铰接件，所述电机连接板的一侧可转动连接于所述第一铰接件，所述电机连接板相对的另一侧具有卡槽，所述电机连接板能够围绕所述第一铰接件转动且能够实现所述卡槽与所述第二铰接件卡接。
8.根据权利要求4-7任意一项所述的真空检漏设备，其特征在于，所述传动组件还包括皮带轮安装座，所述皮带轮安装座用于连接待检测元器件；
9.根据权利要求1-7任意一项所述的真空检漏设备，其特征在于，所述测试腔包括真空检漏腔和连接腔，所述连接腔用于将一个或多个待检测元件连接到真空检漏腔上；所述连接腔上连接有法兰板，该法兰板用于连接待检测元器件。
10.根据权利要求9所述的真空检漏设备，其特征在于，所述真空检漏腔上连接有法兰板，该法兰板用于连接待检测元器件。
...【技术特征摘要】
1.一种真空检漏设备，其特征在于，包括测试腔以及抽真空系统；
2.根据权利要求1所述的真空检漏设备，其特征在于，所述真空检漏设备还包括传动机构，所述传动机构与所述测试腔传动连接，用于实现需要转动的待检测元器件的转动。
3.根据权利要求2所述的真空检漏设备，其特征在于，所述传动机构包括电控组件和传动组件，所述电控组件用于提供动能以使所述传动组件进行传动；
4.根据权利要求3所述的真空检漏设备，其特征在于，所述伺服电机与所述主动皮带轮连接以驱动所述主动皮带轮转动，所述主动皮带轮通过所述同步带与所述从动皮带轮连接以驱动所述从动皮带轮转动；
5.根据权利要求3所述的真空检漏设备，其特征在于，所述传动组件还包括电机连接板，所述伺服电机安装在所述电机连接板上，所述电机连接板可转动连接所述电机固定座上，所述主动皮带轮安装在所述电机连接板上。
6.根据权利要求5所述的真空检漏设备，其特征在于，所述紧固部件包括定位杆、推杆以及摇杆，所述电机连接板的一侧可转动连接于所述电机固定座，所述定位杆为中空结构且具有内螺纹，所述定位杆的一端可转动连接于所述电机固定座...
【专利技术属性】
技术研发人员：巢锦伦，尹万锋，
申请(专利权)人：维达力实业深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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