【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种翘曲矫正装置。
技术介绍
1、在日本特开2014-192434号公报(专利文献1)中公开一种基板翘曲矫正装置。该基板翘曲矫正装置包括：加热部件，对基板进行加热；以及冷却部件，对基板进行冷却。在该基板翘曲矫正装置中，基板在由加热部件加热之后，由冷却部件冷却。在基板产生翘曲的情况下，通过对基板进行加热，使基板平坦地塑性变形。之后，通过使基板冷却，来矫正基板的翘曲(参照专利文献1)。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2014-192434号公报
技术实现思路
1、在所述专利文献1所公开的第一技术中，在将基板配置于开放的加热台上的状态下对基板进行加热。然而，加热台是开放的，因此基板的加热效率不一定高。
2、另外，在所述专利文献1所公开的第二技术中，在将基板配置于开放的加热台上并且基板的上表面被基板压紧部件推压的状态下，对基板进行加热。然而，当在基板未被充分加热的状态下基板的上表面被推压时，基板有可能破损。
3、本专利技术是用于解决这样的问题而完成的，其目的在于提供一种能够改善已成形基板的加热效率并且降低已成形基板破损的可能性的翘曲矫正装置。
4、本专利技术的翘曲矫正装置具备收容部、加热部、冷却部以及搬送机构。收容部收容已成形基板。加热部对已成形基板进行加热。冷却部在对已成形基板加压的状态下对已成形基板进行冷却。搬送机构将从收容部提供的已成形基板向加热部搬送，将由加热部加热的已成
5、根据本专利技术，能够提供一种能够改善已成形基板的加热效率并且降低已成形基板破损的可能性的翘曲矫正装置。
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1.一种翘曲矫正装置，具备：
2.根据权利要求1所述的翘曲矫正装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的翘曲矫正装置，其中，
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的翘曲矫正装置，其中，
5.根据权利要求4所述的翘曲矫正装置，其中，
6.根据权利要求4或5所述的翘曲矫正装置，其中，
7.根据权利要求6所述的翘曲矫正装置，其中，
8.根据权利要求7所述的翘曲矫正装置，其中，
9.根据权利要求1至8中的任一项所述的翘曲矫正装置，其中，
10.根据权利要求9所述的翘曲矫正装置，其中，
11.根据权利要求1至3中的任一项所述的翘曲矫正装置，其中，
12.根据权利要求11所述的翘曲矫正装置，其中，
【技术特征摘要】
1.一种翘曲矫正装置，具备：
2.根据权利要求1所述的翘曲矫正装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的翘曲矫正装置，其中，
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的翘曲矫正装置，其中，
5.根据权利要求4所述的翘曲矫正装置，其中，
6.根据权利要求4或5所述的翘曲矫正装置，其中，
7.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：坂上雄哉，渡边创，吉冈翔，早川海斗茂，
申请(专利权)人：东和株式会社，
类型：发明
国别省市：
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