抗蚀油墨及通过抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法技术

本发明专利技术提供抗蚀油墨及通过抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法。具体是通过具有适于反转印刷法形成细微抗蚀图案性质的抗蚀油墨以及通过该抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法。抗蚀油墨，其含有由热熔融型树脂构成的树脂微粒，与不溶解该树脂微粒且能分散该树脂微粒的溶剂。该抗蚀油墨在粘度或表面能等方面具有适于反转印刷法的性质。另外，由于上述树脂微粒包含热熔融型树脂，抗蚀油墨图案在转印至被蚀刻材料上后进行加热，使上述树脂微粒熔融，可以提高形成的抗蚀图案的蚀刻耐性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及抗蚀油墨，特别是涉及适于通过反转印刷法形成微细抗蚀图案的抗蚀 油墨。另外，本专利技术涉及通过这种抗蚀油墨的抗蚀图案的形成方法。
技术介绍
作为在玻璃基板或塑料基板等的被印刷基材上形成微细的印刷图案的现有方法， 已知有专利文献1中所述的那样，在覆盖层上形成均勻厚度的树脂涂面，使树脂涂面接 触 挤压至凸版，被凸版挤压的树脂涂面一部分从覆盖层上除去，把覆盖层上形成的树脂图 案转印至被印刷基材上的方法(参照图1)。把这种印刷法称作反转印刷法，已知该法是与 现有的其他印刷法相比适于形成微细的印刷图案的印刷法。另外，作为适于这种反转印刷法的油墨组合物，例如，专利文献2及专利文献3公 开了含有速干性溶剂与慢干性溶剂的混合物的挥发性溶剂，与在该挥发性溶剂中可溶的 树脂及在该挥发性溶剂中不溶的固体物的油墨组合物；还记载了这种油墨组合物，在制造 TFT型彩色液晶显示装置的彩色过滤器时，或在由玻璃或塑料等构成的基板上印刷细微的 导电体电路，形成布线板或印刷电路时等是合适的。专利文献2及专利文献3中所述的油 墨组合物，其特征在于，具有可在覆盖层上形成均勻的油墨涂面的粘度、表面能；可通过与 凸版接触在覆盖层上形成的完全的印刷图案呈现干燥性、附着力、凝聚力；另外，具有把覆 盖层上的油墨涂膜完全转印至被印刷基材上的附着力、凝聚力。这些特征可以认为，主要是 挥发性溶剂中含有不溶的固体物，通过控制粘度、表面能或凝聚力的油墨组合物的特性而 得到。在专利文献2及专利文献3中，所谓于挥发性溶剂中不溶的固体物，是指与树脂不同 的成分，颜料等着色剂、粉末状导电性材料或荧光发生剂等，就属于此类固体物。另一方面，作为用于制造细微电路的抗蚀图案的形成方法，现在以光刻法(光刻) 为主流，如通过反转印刷法代替光刻法形成抗蚀图案，则可省去曝光或显影等工序，对简化 工序有利。但是，如果通过根据专利文献2及专利文献3记载那样，使用应用油墨组合物的 抗蚀油墨，通过反转印刷法形成抗蚀图案，由于专利文献2及专利文献3所述的油墨组合 物，以在挥发性溶剂中不溶的固体物作为必须成分，故这种固体物在蚀刻处理时及抗蚀剂 剥离处理时残留，有该残留物产生的不合格品发生之虑。另外，上述反转印刷法中可利用的 油墨组合物，由于必须具有规定的特性，故配制具有这种特性，且蚀刻耐性高地剥离时不产 生残渣的，可形成抗蚀图案的抗蚀油墨是非常困难的。特开2001-56405号公报特开2005-126608号公报特开2005-128346号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术的目的是提供一种抗蚀油墨以及通过该抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法，该油墨不含产生次品的固体物，并且具有适于通过反转印刷法形成高的蚀刻耐性的细微抗蚀 图案的性质。用于解决课题的手段本专利技术人研究的结果发现，适于通过反转印刷法形成细微抗蚀图案的新型抗蚀油 墨，以及通过该抗蚀油墨的新型抗蚀图案形成方法。本专利技术的要点如下(1)抗蚀油墨，其含有热熔融型树脂构成的树脂微粒，与不溶解该树脂微粒且能分 散该树脂微粒的溶剂。(2)上述(1)中所述的抗蚀油墨，其用于通过反转印刷法在被蚀刻材料上形成抗 蚀图案。(3)上述(1)或⑵中所述的抗蚀油墨，其中，上述树脂微粒与上述溶剂的溶解度 参数之差在2. 5 (cal/cm3)1/2以上。(4)上述(1) (3)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述树脂微粒与上述溶剂 的密度之差在士0. 05g/cm3以内。(5)上述(1) (4)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述树脂微粒具有0. 01 20 um的平均粒径。(6)上述(1) (5)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述热熔融型树脂具有 1000 10000的重均分子量。(7)上述(1) (6)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述热熔融型树脂为酚醛 类树脂。(8)上述(1) (7)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述溶剂为含有至少1种 高密度溶剂与至少1种低密度溶剂的2种以上溶剂的混合物。(9)上述(1) ⑶中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，粘度为0. 5 15. OmPa-s, 且表面张力为12. 0 27. Odyn/cm。(10)抗蚀图案的形成方法，其中包括，通过上述(1) (9)中任何一项所述的抗蚀 油墨，通过反转印刷法在被蚀刻材料上印刷抗蚀油墨图案，通过加热上述图案，使上述抗蚀 油墨中所含的树脂微粒熔融，形成抗蚀图案。专利技术的效果本专利技术的抗蚀油墨，其构成为含有树脂微粒，与不溶解上述树脂微粒且能分散上 述树脂微粒的溶剂，具有特别适于通过反转印刷法形成抗蚀图案的性质(即，在覆盖层上 可形成均勻的涂面的粘度及表面能(表面张力)，以及可通过与凸版接触在覆盖层上形成 抗蚀油墨图案，且在被蚀刻材料上能转印上述图案的附着力及凝聚力)。另外，因上述树脂 微粒以热熔融型树脂构成，抗蚀油墨图案在被蚀刻材料上转印后进行加热，由此上述树脂 微粒发生熔融，能提高形成的抗蚀图案的蚀刻耐性。而且，如通过这种抗蚀油墨，可提供一 种代替光刻法的用于制造细微电路的抗蚀图案形成方法。通过本专利技术的抗蚀油墨的抗蚀图 案形成方法，与光刻法不同，不需曝光及显影工序，故对工程简化有利。附图说明图1为表示反转印刷法的一例的概略图。图2为表示通过本专利技术的抗蚀油墨的反转印刷法形成抗蚀图案的工序一部分模式图。图3为表示通过本专利技术的抗蚀油墨的反转印刷法形成抗蚀图案的工序一部分模 式图。1...旋转壳体、2...覆盖层、3...涂布装置、4...油墨、5...油墨实地膜(4 >矢 夕膜)、6...印刷版、7...除去油墨、8...油墨图案、9...被印刷基材、10...抗蚀油墨、11...抗蚀油墨膜、12...除去抗蚀油墨、13...抗蚀油墨图案、14...被蚀刻材料、15...抗 蚀图案、16...热熔融型树脂微粒、17...溶剂具体实施例方式首先，对通过本专利技术的抗蚀油墨印刷抗蚀油墨图案的反转印刷法加以说明。所谓 反转印刷法，是指在覆盖层表面上形成的均勻油墨涂膜通过凸版加以图案化，将其转印至 被印刷基材上，把油墨图案印刷至被印刷基材上的凸版反转印刷法。图1为表示反转印刷法的一例的概略图。如图1(a)所示，首先，涂布装置3利用 毛细管现象吸上油墨4，在旋转壳体1上的覆盖层2的表面上形成均勻的油墨实地膜5。其 次，如图1(b)所示，使表面上形成了均勻的油墨实地膜5的覆盖层2的表面，挤压 接触作 为凸版的印刷版6，在印刷版6的凸部表面上，使覆盖层2的表面上的油墨实地膜5的一部 分附着 转移，印刷版6的凸部表面残留了除去油墨7。由此，在覆盖层2的表面形成油墨 图案8。然后，如图1(c)所示，使该状态下的覆盖层2挤压在被印刷基材9的表面上，覆盖 层2上的油墨图案8被转印至被印刷基材9上。应用此的抗蚀图案形成中的反转印刷法，是指覆盖层表面上形成的均勻抗蚀油墨 涂膜，通过凸版而图案化，将其转印至被蚀刻材料上，将抗蚀油墨图案印刷至被蚀刻材料上 的凸版反转印刷法。下面，对通过反转印刷法的本专利技术的抗蚀图案形成方法加以说明。图2为表示通过本专利技术的抗蚀油墨的反转印刷法形成抗蚀图案的工序模式图。如 图2(a)所示，首先，涂布装置3利用毛细管现象吸上抗蚀油墨10，旋转壳体1上的覆盖层2 的表面上形成均勻厚度本文档来自技高网...

【技术保护点】
抗蚀油墨，其含有热熔融型树脂构成的树脂微粒，与不溶解上述树脂微粒且能分散上述树脂微粒的溶剂。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：舟幡一行，佐佐木洋，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]