无尘式真空动力传送装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种无尘式真空动力传送装置，适用于在真空腔室内传送基片，该装置包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮，传动轴的一端枢接地穿过真空腔室的一体壁并伸入真空腔室内，磁力主动轮固定安装于传动轴伸入真空腔室内的一端上，联动轴的两端分别枢接于真空腔室的相对两体壁上并邻近主动轮，磁力从动轮固定安装于联动轴上，且至少一个磁力从动轮邻近磁力主动轮，磁力从动轮上承载有基片，驱动机构固定安装于真空腔室外，且驱动机构的动力输出端与传动轴的一端连接，驱动机构驱动传动轴旋转以带动磁力主动轮旋转，并带动磁力从动轮及联动轴旋转以传送基片。本发明专利技术无尘式真空动力传送装置传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种对动力进行传送的传送装置，尤其涉及一种对有机发光二极管生 产线上真空腔室内的用来传送基片的无尘式真空动力传送装置。
技术介绍
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越 来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要 求。例如，在真空环境要求极高的数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生 产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品 中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(OrganicLight-Emitting Diode)，又称为有机电 激光显示(Organic ElectroluminesenceDisplay,0ELD)，因为具备轻薄、省电等特性，因此 在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的 应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-IXD相提并论的技术，且 是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术；但OLED显 示屏幕与传统的TFT-LCD显示屏幕并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和 玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏幕可以做得更轻更 薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏幕的所有设备必须要 保证OLED显示屏幕的精度要求。因此，作为有机发光二极管OLED原材料的质量和精度，传 输过程中传动机构的自动化程度，清洁度，以及低噪音尤为重要。现有的一种用于对真空腔室内的用来制造有机发光二极管OLED的基片传动机构 中，外界动力输出轴与传动轴相连，传动轴与齿轮传动装置相连，齿轮传动装置上承载有待 传送的基片，传动轴可以从外界动力输出轴获取旋转力，即当马达等驱动设备开动时，该传 动轴就可以带动齿轮传动装置旋转。上述传送方式由于大都采用齿轮相互啮合的直接接触 的传动方式，传动的过程中容易造成机械磨损，导致传动能耗；同时，由于传动中的各运动 组件，例如齿轮与传动轴、齿轮与齿轮等之间的接触，容易使传动机构各运动组件之间因为 摩擦而粒化，产生粉尘进入到容置有基片的真空腔室内，影响了真空腔室内及基片的清洁 度，并且传动过程中产生了较大的噪声；另外，各运动组件之间的摩擦也将严重影响传动机 构使用寿命。因此，急需一种传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长的适用于在真空腔室 内传送基片的无尘式真空动力传送装置来克服上述缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种传动能耗少、高清洁度、超静音、价格低廉、使用寿命 长适用于在真空腔室内传送基片的无尘式真空动力传送装置。为实现上述目的，本专利技术提供一种无尘式真空动力传送装置，适用于在真空腔室3内传送基片，其中，所述无尘式真空动力传送装置包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有 磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮，所述传动轴的一端枢接地穿过所述真空腔室的一体 壁并伸入所述真空腔室内，所述磁力主动轮固定安装于所述传动轴伸入所述真空腔室内的 一端上，所述联动轴的两端分别枢接于所述真空腔室的相对两体壁上并邻近所述主动轮， 所述磁力从动轮固定安装于所述联动轴上，且至少一个所述磁力从动轮邻近所述磁力主动 轮，所述磁力从动轮上承载有基片，所述驱动机构固定安装于所述真空腔室外，且所述驱动 机构的动力输出端与所述传动轴露出于所述真空腔室的一端连接，所述驱动机构驱动所述 传动轴旋转以带动所述磁力主动轮旋转，所述磁力主动轮带动所述磁力从动轮及联动轴旋 转以传送基片。较佳地，所述真空腔室的体壁上固定装设有轴承座，所述传动轴穿过所述轴承座 并伸入所述真空腔室内。所述轴承座将所述传动轴固定于所述真空腔室的体壁上，并引导 所述传动轴伸入所述真空腔室内，从而为所述传动轴提供稳定的旋转工作环境。较佳地，所述传动轴的表面上旋转密封有一星型密封圈，且所述星型密封圈装设 于所述轴承座内。所述星型密封圈旋转密封在所述传动轴的外表面且置于所述轴承座内， 从而不仅可有效防止空气通过所述传动轴进入到真空腔室内，以保证所述真空腔室内的真 空度，还可有效防止所述传动轴在旋转过程中，外界细小的灰尘颗粒等进入所述真空腔室 内，以保持所述真空腔室内的高清洁度，防止被传送的基片沾染到灰尘等影响其精度的杂 物。较佳地，所述轴承座内固定装设有一滚珠轴承，所述传动轴穿过所述滚珠轴承并 伸入所述真空腔室内。所述滚珠轴承提高了所述传动轴工作的稳定性同时也减小了所述传 动轴与所述轴承座两者之间的磨擦损坏作用，从而提高所述无尘式真空动力传送装置的使 用寿命。较佳地，所述滚珠轴承邻近所述主动轮的一端面上设有一轴承内挡圈，且所述轴 承内挡圈环绕所述传动轴。所述轴承内挡圈不仅加强了所述传动轴与所述滚珠轴承之间的 密封作用以防止外界空气或灰尘进入所述真空腔室内，而且可有效防止所述滚珠轴承相对 所述传动轴发生上下滑动以确保所述传动轴稳定地工作。较佳地，所述无尘式真空动力传送装置还包括0型密封圈，所述0型密封圈分别密 封连接所述轴承座与所述真空腔室的体壁。通过所述0型密封圈的密封作用可以防止外界 空气或灰尘通过所述轴承座与所述体壁之间的可能有的缝隙进入所述真空腔室内，以确保 所述真空腔室内的真空度与清洁度。较佳地，所述无尘式真空动力传送装置还包括联轴器，所述联轴器的两端分别连 接所述传动轴与所述驱动机构的动力输出端。所述联轴器可使所述传动轴与所述驱动机构 的动力输出端之间的连接更稳定可靠，从而使所述驱动机构输出的动力能最大限度地传递 到所述传动轴上以减少传动能耗。较佳地，所述驱动机构为伺服电机，且所述伺服电机的输出轴与所述联轴器连接。与现有技术相比，由于本专利技术无尘式真空动力传送装置中用于提供动力的磁力主 动轮和用于传送基片的磁力从动轮及带动多个磁力从动轮旋转的联动轴均容置于所述真 空腔室内，从而使得所述基片的整个传送过程均在所述真空腔室内进行，所述真空腔室内 的真空与高度清洁的环境确保了被传送基片的精度要求；由于所述磁力主动轮与磁力从动轮均具有磁性，故可通过相邻相互磁场作用使所述磁力主动轮在所述驱动机构与传动轴 的驱动下旋转并以非接触方式带动所述磁力从动轮旋转，这种非接触的传动方式，有效的 避免了真空腔室内因主动轮与从动轮通过摩擦或啮合的直接接触而使器件磨损产生粉末 及发出较大噪音的情况，从而大大的提高了真空腔室内的洁净度，避免了主动轮与从动轮 之间的磨损提高了器件使用寿命也减少了传动能耗，而且整个传送过程在无噪音环境下进 行，静化了工作环境有利于工作人员的身心健康；另外所述驱动机构安装于所述真空腔室 之外，从而所述驱动机构工作过程中的振动作用不会影响所述真空腔室内的传送操作，使 所述真空腔室内的传送操作可平稳地进行。综上所述，由于本专利技术无尘式真空动力传送装 置传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长，因此适用于为真空环境行业中生产线上作 业的机构提供动力，尤其是为有机发光二极管生产线上真空腔室内的基片传送机构提供动 力。通过以下的描述并结合附图，本专利技术将变得更加清晰，这些附图用于解释本专利技术 的实施例。附图说明图1为本专利技术无尘式真空动力传送装置的内部结构示意图。图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无尘式真空动力传送装置，适用于在真空腔室内传送基片，其特征在于，包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮，所述传动轴的一端枢接地穿过所述真空腔室的一体壁并伸入所述真空腔室内，所述磁力主动轮固定安装于所述传动轴伸入所述真空腔室内的一端上，所述联动轴的两端分别枢接于所述真空腔室的相对两体壁上并邻近所述磁力主动轮，所述磁力从动轮固定安装于所述联动轴上且至少一个所述磁力从动轮邻近所述磁力主动轮，所述磁力从动轮上承载有基片，所述驱动机构固定安装于所述真空腔室外，且所述驱动机构的动力输出端与所述传动轴露出于所述真空腔室外的一端连接，所述驱动机构驱动所述传动轴旋转以带动所述磁力主动轮旋转，所述磁力主动轮带动所述磁力从动轮及联动轴旋转以传送基片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，王银果，刘惠森，范继良，王勇，王曼媛，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]