【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及基板载台、基板搬出方法、曝光装置及物品的制造方法。
技术介绍
1、在制造液晶面板、有机el显示器或半导体器件等的光刻工序中，使用将原版的图案转印到涂敷有感光剂的基板上的曝光装置。在光刻工序中，要求一种能够以不使生产率降低的方式高效地进行基板的搬送的曝光装置。
2、在专利文献1中公开了如下内容：通过并行进行曝光完毕的基板的搬出动作和接下来要进行曝光的基板的搬入动作，能够迅速地进行基板更换。
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2015-146045号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的课题
2、但是，在基板的搬出动作中，需要使保持基板的基板载台在水平方向上移动的机构和使基板载台在垂直方向上移动的机构，需要与各个机构对应的电缆、管等移动安装部。在有限的空间内配置多个线缆时设计难度高，并且，因线缆彼此的接触等而产生的尘土、尘埃的产生风险也变高，也有可能对曝光性能造成不良影响。
3、因此，本专利技术的目的在于提供一种有利于简易结构的基板载台。
4、为了达成上述目的，作为本专利技术的一方式的基板载台，具有搬出基板的搬出机构，其特征在于，所述搬出机构具有：保持部，保持所述基板；驱动部，通过向第一方向及与该第一方向相反的第二方向驱动，驱动所述保持部；第一引导件，在使所述驱动部向所述第一方向驱动的情况下，进行引导以向所述第一方向及与所述第一方向不同的方向驱动所述保持部；以及第二引导件，在使所述驱动部向所述第
5、根据本专利技术，能够提供一种有利于简易结构的基板载台。
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1.一种基板载台，具有搬出基板的搬出机构，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的基板载台，其特征在于，
10.根据权利要求8所述的基板载台，其特征在于，
11.根据权利要求8所述的基板载台，其特征在于，
12.根据权利要求8所述的基板载台，其特征在于，
13.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
14.一种基板移动方法，其特征在于，
15.根据权利要求14所述的基板移动方法，其特征在于，
16.一种基板处理装置，具有权利要求1至13中任一项所述的基板载台，其特征在于，
17.一种曝光装置，具有权利要求1至13中任一项所述的基板载台，其特征在于，
18.一种物品的制造方法，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种基板载台，具有搬出基板的搬出机构，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的基板载台，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的基板载台，其特征在于，
10.根据权利要求8...
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