真空分子泵抽速调节器制造技术

本实用新型专利技术公开了真空分子泵抽速调节器，包括壳体，所述壳体的侧面设置进气口，所述壳体内侧表面盖接有盖板，所述盖板的表面设置凸形圆口，所述壳体内侧设置锥形凸起，所述壳体的表面固定上盖，所述上盖表面固定电机，所述电机的驱动轴处外表面通过螺纹连接在盖板的内侧表面，通过盖板卡在锥形凸起处表面，盖板微幅调节时，可使气流经过凸形圆口处，便于小流量调节，且盖板上升至顶端时，抽吸通道可完全打开，便于调节抽吸流量

【技术实现步骤摘要】
真空分子泵抽速调节器


[0001]本技术涉及真空分子泵抽速调节器领域，更具体地说，涉及真空分子泵抽速调节器
。

技术介绍

[0002]通常来说，通过调节分子泵转速，来调节气体的抽速，从而改变工艺压力；但是分子泵转速调节因分子泵的特性不同，调节范围有一定的限制；
[0003]CN 212959151 U
公开了一种真空分子泵的抽速调节装置，包括：分子泵壳体
、
连接座
、
连接支架
、
驱动电机
、
驱动丝杆
、
螺纹圈
、
调节盖板
、
滑套
、
滑柱，所述的连接座为圆环形，连接座固接在分子泵壳体进气口的端口内侧；
[0004]其上述专利中，在使用时，采用内置电机驱动盖板上下移动分离，但是分离后盖板还是挡在气流经过处阻隔，且小流量抽吸调节时，气流经过范围大，不便于小流量调节，抽吸调节不便
。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供真空分子泵抽速调节器，通过盖板卡在锥形凸起处表面，盖板微幅调节时，可使气流经过凸形圆口处，便于小流量调节，且盖板上升至顶端时，抽吸通道可完全打开，便于调节抽吸流量
。
[0006]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案
。
[0007]真空分子泵抽速调节器，包括壳体，所述壳体的侧面设置进气口，所述壳体内侧表面盖接有盖板，所述盖板的表面设置凸形圆口，所述壳体内侧设置锥形凸起，所述壳体的表面固定上盖，所述上盖表面固定电机，所述电机的驱动轴处外表面通过螺纹连接在盖板的内侧表面，通过盖板卡在锥形凸起处表面，盖板微幅调节时，可使气流经过凸形圆口处，便于小流量调节，且盖板上升至顶端时，抽吸通道可完全打开，便于调节抽吸流量
。
[0008]进一步的，所述上盖的下表面固定定位杆，定位杆穿插在盖板的内侧表面
。
[0009]进一步的，所述壳体采用凸形壳结构
。
[0010]进一步的，所述盖板的凸形圆口处盖接在锥形凸起的外表面
。
[0011]进一步的，所述上盖通过螺丝固定在壳体的表面
。
[0012]进一步的，所述盖板的外表面覆有橡胶层
。
[0013]进一步的，所述锥形凸起均匀分布在壳体的内侧表面一圈
。
[0014]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0015](1)
通过盖板卡在锥形凸起处表面，盖板微幅调节时，可使气流经过凸形圆口处，便于小流量调节，且盖板上升至顶端时，抽吸通道可完全打开，便于调节抽吸流量
。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术的壳体俯视图；
[0018]图3为本技术的盖板俯视图
。
[0019]图中标号说明：
[0020]1壳体
、100
进气口
、2
锥形凸起
、3
盖板
、4
上盖
、5
电机
、6
驱动轴
、7
定位杆
、30
凸形圆口
、40
螺丝
。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0022]实施例1[0023]请参阅图1‑3，真空分子泵抽速调节器，包括壳体1，壳体1采用凸形壳结构，壳体1的侧面设置进气口
100
，壳体1内侧表面盖接有盖板3，盖板3的表面设置凸形圆口
30
，壳体1内侧设置锥形凸起2，壳体1的表面固定上盖4，上盖4表面固定电机5，电机5的驱动轴6处外表面通过螺纹连接在盖板3的内侧表面；
[0024]上盖4的下表面固定定位杆7，定位杆7穿插在盖板3的内侧表面，盖板3上下移动时，可套接在定位杆7处滑动，可滑动定位支撑；
[0025]盖板3的凸形圆口
30
处盖接在锥形凸起2的外表面，锥形凸起2均匀分布在壳体1的内侧表面一圈，其盖板3微幅上升时，可使凸形圆口
30
脱离锥形凸起2处，可打开缝隙，可小流量调节抽吸；
[0026]大流量抽吸调节时，可通过电机5带动驱动轴6旋转，可带动盖板3上升至顶部，这时从进气口
100
到壳体1底部抽吸处通道完全打开，盖板3不阻隔抽吸通道，便于调节；
[0027]上盖4通过螺丝
40
固定在壳体1的表面，安装方便，盖板3的外表面覆有橡胶层，密封性强
。
[0028]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式；但本技术的保护范围并不局限于此
。
任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围内
。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
真空分子泵抽速调节器，包括壳体
(1)
，其特征在于：所述壳体
(1)
的侧面设置进气口
(100)
，所述壳体
(1)
内侧表面盖接有盖板
(3)
，所述盖板
(3)
的表面设置凸形圆口
(30)
，所述壳体
(1)
内侧设置锥形凸起
(2)
，所述壳体
(1)
的表面固定上盖
(4)
，所述上盖
(4)
表面固定电机
(5)
，所述电机
(5)
的驱动轴
(6)
处外表面通过螺纹连接在盖板
(3)
的内侧表面
。2.
根据权利要求1所述的真空分子泵抽速调节器，其特征在于：所述上盖
(4)
的下表面固定定位杆
(7)
，定位杆
(7)

【专利技术属性】
技术研发人员：王志强，孙玉峰，杨宏芳，徐辉，唐林，冯建军，韩玉宾，
申请(专利权)人：山东世纪安泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：