基板的处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板的处理装置，具有：上部吹拂器（７），以预定的角度对该基板的上面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有上部钩（３１）；下部吹拂器（８），以预定的角度对该基板的下面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有下部钩（３５）；上部支撑部件（２５）以及下部支撑部件（２６），平行地设置在上述上部吹拂器的上方和上述下部吹拂器的下方；悬挂部件（２７），可沿垂直方向定位地设置在上述上部支撑部件的长度方向中途部，具有上述上部钩可摆动地卡合在下端的上部卡止部的（２９）；以及提升部件（３２），可沿垂直方向定位地设置在上述下部支撑部件的长度方向中途部，具有上述下部钩可摆动地卡合在上端的下部卡止部（３４）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基板的处理装置，通过从吹拂器(air knife)喷射的气体对附着 残留在被洗净处理了的基板上的处理液进行干燥处理。
技术介绍
例如，在液晶显示装置或半导体装置的制造工序中，向这些装置的处理对象物即 玻璃基板或半导体晶片等基板上涂敷抗蚀剂，通过对该基板进行显影处理之后进行蚀刻处 理，在表面精密地形成电路图案。若在基板上形成了电路图案，则进行通过洗净液去除附着 在该基板的表面上的抗蚀膜或抗蚀残渣等有机物的干燥处理。当在被洗净处理了的基板上残留洗净液时，会成为水印等污垢的原因。因此，从吹 拂器向由洗净液洗净了的基板的上下面喷射气体，进行去除附着残留在基板上的洗净液的 干燥处理。上述干燥处理为，向处理装置的腔内水平输送基板，并通过上下一对吹拂器向该 基板的上下面喷射气体，通过该气体来去除附着在基板上的洗净液。使用一对吹拂器对基板进行干燥处理的情况下，要求基板的板面均勻、而且效率 良好可靠地进行干燥处理。因此，跨越吹拂器的长度方向整个长度地精度良好且均勻地设 定上下一对吹拂器与基板的板面之间的间隔很重要。最近，基板处于大型化的倾向。这种情况下，吹拂器需要比基板的宽度尺寸长，因 此有例如使用3m以上的长度的部件。当将长尺化了的吹拂器沿与基板的输送方向交叉的 方向架设到腔内时，基板上方的吹拂器由于自重而向下方挠曲，与两端部相比，长度方向的 中途部接近于基板的上面。另外，下方的吹拂器同样由于自重而向下方挠曲，与两端部相 比，长度方向的中途部与基板的下面之间的间隔变大。这样，当相对于基板的上面以及下面的与吹拂器的相对间隔不均勻时，在吹拂器 的长度方向上基板的板面接受的气体的速度不是一定，因此存在不能够对基板跨越宽度方 向整个长度地均勻地进行干燥处理。因此，使用具备了不会由于自重而产生挠曲的刚性的、较厚的材料而构成吹拂器。 然而这种情况下，由于吹拂器高重量化，不仅安装作业等的操作不方便，而且吹拂器使用了 不锈钢等高价的材料，因此成本变高。这里提出了如专利文献1所示那样，即使吹拂器处于长尺化了的情况下，不用提 高吹拂器自身的刚性也不产生挠曲。即，如专利文献1的图8所示那样，在吹拂器的长度方 向的中途部安装支撑件，连结部件的一端连结在该支撑件上。该连结部件的另一端连结在 与上述吹拂器平行地配置的供气管上。该供气管与吹拂器之间通过管子连接，能够向吹拂 器供给气体。专利文献1 日本特开2006-245328号公报根据专利文献1所示的吹拂器的支撑结构，在连结部件的一端连结固定有安装在 吹拂器上的支撑件，该连结部件的另一端连结固定在供气管上。为此，供气管产生挠曲的情况下，不能够吸收该供气管的挠曲，因此存在与供气管一起吹拂器也会产生挠曲这样的情 况。另外，要求吹拂器相对于基板的板面进行调整高度以及倾斜角度。然而，如专利文 献1所示那样，为了使吹拂器不产生挠曲，在通过连结部件连结固定在供气管上的支撑件 上安装吹拂器的结构中，存在不能够调整上述吹拂器的高度或倾斜度这样的情况。
技术实现思路
本专利技术提供一种基板的处理装置，不用提高吹拂器的刚性便能够防止产生挠曲， 而且能够调整吹拂器相对于基板板面的高度或倾斜度。为了解决上述课题，本专利技术提供一种基板的处理装置，对在腔内水平输送的基板 的上面和下面喷射气体，而对该基板进行干燥处理，该基板的处理装置的特征在于，具有上部吹拂器，与在上述腔内输送的上述基板的上面相对地配置，以预定的倾斜角 度对该基板的上面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有上部钩下部吹拂器，与上述基板的下面相对地配置，以预定的倾斜角度对该基板的下面 喷射气体，并且在长度方向中途部设置有下部钩；上部支撑部件以及下部支撑部件，分别沿与各吹拂器相同的方向平行地设置在上 述上部吹拂器的上方和上述下部吹拂器的下方；悬挂部件，可沿垂直方向定位地设置在上述上部支撑部件的长度方向中途部，具 有上述上部钩可摆动地卡合在下端的上部卡止部；以及提升部件，可沿垂直方向定位地设置在上述下部支撑部件的长度方向中途部，具 有上述下部钩可摆动地卡合在上端的下部卡止部。专利技术的效果根据本专利技术，设置在上部吹拂器上的上部钩可摆动地卡合在悬挂部件的上部卡止 部上，而且可相对于上部支撑部件沿垂直方向定位，因此，不仅能够防止上部吹拂器向下方 挠曲，而且还可以进行上部吹拂器相对于基板的板面的角度以及上下方向的定位调整。另外，设置在下部吹拂器上的下部钩可摆动地卡合在提升部件的下部卡止部，而 且可相对于下部支撑部件沿垂直方向定位，因此，不仅能够防止下部吹拂器向下方挠曲，而 且还可以进行下部吹拂器相对于基板的板面的角度以及上下方向的定位调整。附图说明图1是表示该专利技术的一实施方式的沿腔的长度方向的纵剖视图。图2是省略了吹拂器单元的一部分的主视图。图3是吹拂器单元的一端部的立体图。图4是表示防止上部吹拂器和下部吹拂器的挠曲的机构的侧视图。图5是测量了上部吹拂器的挠度的曲线图。图6是测量了下部吹拂器的挠度的曲线图。图7A是测量了上部吹拂器的挠曲没有被矫正时的基板上的气体的风速的曲线 图。图7B是测量了矫正了上部吹拂器的挠曲时的基板上的气体的风速的曲线图。图7C是表示了测量基板上的风速时的条件的图。符号说明1、腔6、吹拂器单元7、上部吹拂器8、下部吹拂器12、高度调整部件16、高度调整螺栓18、角度调整部件25、上部支撑部件26、下部支撑部件27、悬挂部件29、上部卡止部31、上部钩32、提升部件34、下部卡止部35、下部钩、支撑部件具体实施例方式以下，参照附图对该专利技术的一实施方式进行说明。图1是基板的处理装置的沿长度方向的纵剖视图，该处理装置具有腔1。在该腔1 内，沿上述长度方向以预定的间隔配置有通过未图示的驱动机构旋转驱动的多个输送辊2。在上述腔1的长度方向的一端开口地形成有搬入口 3，在另一端开口地形成有搬 出口 4。从上述搬入口 3向腔1内供给在前工序被洗净处理了的基板W。向腔1内供给的 基板W由上述输送辊2沿箭头所示的方向被水平输送，并从上述搬出口 4搬出。接着，上述 基板W在上述腔1内被输送期间，由吹拂器单元6进行去除附着残留于上下面的洗净液的 干燥处理。上述吹拂器单元6如图2和图3所示那样，在前端面具有跨越长度方向的几乎这 个长度地形成有气体的喷出孔7a、8a的上部吹拂器7和下部吹拂器8。这些各吹拂器7、8 是将不锈钢钢板等的具有耐蚀性的2片板材叠合而形成的。如图3所示那样，在宽度方向的一端部形成有一对长孔11的矩形板状的高度调整 部件12，经由上述长孔11由一对安装螺栓13连结在各吹拂器7、8的长度方向的一端与另 一端的侧面上(仅图示一方)。再者，在各吹拂器7、8的侧面设置有通过管子(同样未图示)与供给从上述喷出 孔7a、8a喷出的压缩空气等气体的气体供给部相连接的多个气体供给口体7b、8b。在上述高度调整部件12的宽度方向的一端设置有突出部14。该突出部14通过与 设置在上述各吹拂器7、8的后端面的安装片15螺合的高度调整螺栓16被按压。若以松缓了上述一对安装螺栓13的状态，并由上述高度调整螺栓16来按压上述5突出部14，则能够相对于上述高度调整部件12沿各侧面的高度方向即沿上下方向来移动 各吹拂器7、8。在上述高度调整部件12的宽度方向的另一端部，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板的处理装置，对在腔内水平输送的基板的上面和下面喷射气体，而对该基板进行干燥处理，该基板的处理装置的特征在于，具有：上部吹拂器，与在上述腔内输送的上述基板的上面相对地配置，以预定的倾斜角度对该基板的上面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有上部钩；下部吹拂器，与上述基板的下面相对地配置，以预定的倾斜角度对该基板的下面喷射气体，并且在长度方向中途部设置有下部钩；上部支撑部件以及下部支撑部件，分别沿与各吹拂器相同的方向平行地设置在上述上部吹拂器的上方和上述下部吹拂器的下方；悬挂部件，可沿垂直方向定位地设置在上述上部支撑部件的长度方向中途部，具有上述上部钩可摆动地卡合在下端的上部卡止部；以及提升部件，可沿垂直方向定位地设置在上述下部支撑部件的长度方向中途部，具有上述下部钩可摆动地卡合在上端的下部卡止部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：末吉秀树，宫迫久显，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]