一种蚀刻机盖体管路布置结构制造技术

本实用新型专利技术属于蚀刻机技术领域的蚀刻机盖体管路布置结构

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻机盖体管路布置结构


[0001]本技术属于蚀刻机
，更具体地说，是涉及一种蚀刻机盖体管路布置结构
。

技术介绍

[0002]目前，在半导体显示行业的干法蚀刻机中，蚀刻机的
chamber
上部有个陶瓷材质
LID
，
chamber
在工作时，会有
particle
溅射到其表面，为了防止该
particle
掉落，需要对
LID
进行加热，一般为
100℃。
现有技术中的设置，是加热带上方位置需要
gas feed
通过，为了方便
gas feed
穿过，一般加热带会断开，断开口部位使用铝制材料连接，由于其断开口有间距并且断开口两端采用铝制材料连接，其铝材质与加热带材质不同所产生的热传导效应，会导致
LID
表面受热不够均匀；另
gas feed
属于不锈钢材质与
LID
表面会贴在一起，也会影响
LID
温度均匀性
。
备注：
chamber
，工艺反应腔体；
LID
：盖体；
particle
：微尘；
gas feed
：气体管道；
heater
：加热带；
gas nozzle
：气体喷嘴
。
[0003]现有技术中有名称为“一种蚀刻机盖体装置”、
>公开号为“CN107419268A”的技术，该技术公开了一种蚀刻机盖体装置，多层圆盘结构包括从下往上依次安装的最下方圆盘
、
中间圆盘和最上方圆盘，圆盘的材质为耐酸的塑料或者不锈钢，最下方圆盘为圆孔状结构，且相邻圆孔之间的距离为圆孔直径的3倍，圆孔按照一定的规律平行排列，所述中间圆盘为2个，采用圆孔状结构，孔的直径为最下层圆盘孔直径的
10
％
‑
20
％，且相邻圆孔之间的距离为圆孔直径的2倍，圆孔按照一定的规律平行排列，这种具有细密圆孔的中间圆盘不仅可以使得氮氧化物透过圆盘，还能够阻止腐蚀液向上泼溅；所述最上方圆盘为空心结构，且圆盘的下端由致密的丝网组成，丝网中设有改性活性炭
。
本专利技术能够去除氮氧化物，从而减少对腐蚀师和环境的损害
。
[0004]然而，该技术没有涉及本申请的技术问题和技术方案
。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种结构简单，在实现加热带和气体管道布置的同时，确保加热带不需要断开口，避免气体管道和盖体及加热带接触，避免不同材质接触加热带产生的热传导效应，避免
LID
表面受热不均匀问题，从而提高
LID
温度均匀性，提高微尘处理效果的蚀刻机盖体管路布置结构
。
[0006]要解决以上所述的技术问题，本技术采取的技术方案为：
[0007]本技术为一种蚀刻机盖体管路布置结构，盖体上表面沿盖体一周布置加热带，气体管道从盖体外侧位置延伸到盖体上表面位置，气体管道经过加热带上方部位设置上翘弯部，上翘弯部与加热带之间设置避让间隙部
。
[0008]所述的气体管道与盖体上表面设置间隙部Ⅰ。
[0009]所述的气体管道延伸到盖体上表面位置一端连接气体喷嘴，气体管道另一端连接气体供应部件
。
[0010]所述的加热带为环形结构，加热带沿盖体上表面靠近边沿部位一周布置
。
[0011]所述的气体管道包括管道前段
、
上翘弯部
、
管道后段，上翘弯部包括前弯折管部和后弯折管部
。
[0012]所述的上翘弯部为弧形结构，前弯折管部一端和后弯折管部连接，前弯折管部另一端连接管道前段，后弯折管部另一端连接管道后段
。
[0013]所述的前弯折管部和管道前段的夹角在
135
°‑
180
°
之间；后弯折管部和管道后段的夹角在
135
°‑
180
°
之间
。
[0014]所述的管道前段和盖体上表面的间隙部Ⅰ6≥0.2mm。
[0015]所述的盖体设置在工艺反应腔体上部
。
[0016]所述的气体喷嘴与盖体上表面之间设置间隙部Ⅱ。
[0017]所述的气体管道的管道前段
、
上翘弯部
、
管道后段为一体式结构，盖体为陶瓷材料制成的结构
。
[0018]采用本技术的技术方案，工作原理及有益效果如下所述：
[0019]本技术所述的蚀刻机盖体管路布置结构，结构设置时，加热带还是设置在盖体上，并且加热带为环形结构，沿盖体上表面边沿部位一周布置，而气体管道从盖体外侧位置延伸到盖体上表面靠近中心位置，这样，气体管道通过时就需要经过加热带
。
为此，设置气体管道时，使得气体管道相对于盖体处于悬空状态，气体管道不接触盖体，同时，气体管道经过加热带上方部位设置上翘弯部，上翘弯部与加热带之间设置避让间隙部，就不需要为了布置气体管道而断开加热带，确保加热带为环形的一体式结构，也就是加热带为整体结构，保障加热效果，与此同时，气体管道各部位都与盖体之间存在间隙，确保气体管道各部位都不会接触盖体，因为气体管道和盖体为不同材质，这样，就不会出现不同材质的气体管道和盖体接触彼此而导致加热带产生的热传导效应的问题，有效保障盖体
(LID)
表面受热的均匀性
。
附图说明
[0020]下面对本说明书各附图所表达的内容及图中的标记作出简要的说明：
[0021]图1为本技术所述的蚀刻机盖体管路布置结构的结构示意图；
[0022]图2为本技术所述的蚀刻机盖体管路布置结构的剖视结构示意图；
[0023]附图中标记分别为：
1、
盖体；
2、
加热带；
3、
气体管道；
4、
上翘弯部；
5、
避让间隙部；
6、
间隙部Ⅰ；
7、
气体喷嘴；
8、
管道前段；
9、
管道后段；
10、
前弯折管部；
11、
后弯折管部；
12、
间隙部Ⅱ。
具体实施方式
[0024]下面对照附图，通过对实施例的描述，对本技术的具体实施方式如所涉及的各构件的形状
、
构造
、
各部分之间的相互位置及连接关系
、
各部分的作用及工作原理等作进一步的详细说明：
[0025]如附图
1、
附图2所示，本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种蚀刻机盖体管路布置结构，其特征在于：盖体
(1)
上表面沿盖体
(1)
一周布置加热带
(2)
，气体管道
(3)
从盖体
(1)
外侧位置延伸到盖体
(1)
上表面位置，气体管道
(3)
经过加热带
(2)
上方部位设置上翘弯部
(4)
，上翘弯部
(4)
与加热带
(2)
之间设置避让间隙部
(5)。2.
根据权利要求1所述的蚀刻机盖体管路布置结构，其特征在于：所述的气体管道
(3)
与盖体
(1)
上表面设置间隙部Ⅰ(6)。3.
根据权利要求1或2所述的蚀刻机盖体管路布置结构，其特征在于：所述的气体管道
(3)
延伸到盖体
(1)
上表面位置一端连接气体喷嘴
(7)
，气体管道
(3)
另一端连接气体供应部件
。4.
根据权利要求1或2所述的蚀刻机盖体管路布置结构，其特征在于：所述的加热带
(2)
为环形结构，加热带
(2)
沿盖体
(1)
上表面靠近边沿部位一周布置
。5.
根据权利要求1或2所述的蚀刻机盖体管路布置结构，其特征在于：所述的气体管道
(3)
包括管道前段
(8)、
上翘弯部
(4)、
管道后段
(9)
，上翘弯部
(4)
包括前弯折管部
(10)...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：