光谱检测支架及光谱检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及辅助光谱检测技术领域，具体涉及一种光谱检测支架及光谱检测装置

【技术实现步骤摘要】
光谱检测支架及光谱检测装置


[0001]本技术涉及辅助光谱检测
，具体涉及一种光谱检测支架及光谱检测装置
。

技术介绍

[0002]在制备异质结电池的过程中，检测非晶硅薄膜的性质极其重要
。
一般通过红外吸收谱检测非晶硅薄膜中
Si
－
H
键的构型及其分布情况
。
非晶硅薄膜在
1900
～
2200cm
－1波数范围内的红外吸收峰对应
Si
－
H
n
的伸缩模；其中，
n
＝1～
2。
对上述波数范围的红外光谱进行高斯分解拟合，得到两个拟合峰，其中位于
2000cm
－1左右的峰归属为
Si
－
H
键，位于
2100cm
－1左右的峰归属为
Si
－
H2键和
(Si
－
H2)
n
物种
。
定义微观结构参数
R
＊评判非晶硅薄膜的微观结构质量
。
如果
R
＊越小，则非晶硅薄膜中的
H
原子主要是以
Si
－
H
键的形式存在，薄膜结构越致密；如果
R
＊越大，则非晶硅薄膜中的
H
原子更多地以
Si
－
H2键或
(Si/>－
H2)
n
物种的形式存在，薄膜结构越疏松，包含有较多的孔洞和缺陷，网络结构较差
。
为了获得高效的非晶硅
/
晶体硅异质结电池，对于非晶硅
/
晶体硅异质结电池中的本征非晶硅层，要求薄膜中
Si
－
H
键含量高
、Si
－
H2键含量低，薄膜结构致密，才能具有良好的钝化性能
。
[0003]在利用光谱检测非晶硅薄膜样品的过程中，为了防止非晶硅薄膜样品倾斜掉落，设置一个样品支架，但是，现有样品支架对于同一尺寸的非晶硅薄膜样品，利用光谱检测非晶硅薄膜样品时，只能检测靠近中间区域的某些固定点位，难以检测边缘区域
。

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决的技术问题在于克服利用光谱检测非晶硅薄膜样品时，样品支架对于同一尺寸的非晶硅薄膜样品，只能检测某些固定点位的缺陷，基于以上情况，开发一种可调节的光谱检测支架十分必要
。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供一种光谱检测支架，包括设置于光路上的遮光板，遮光板开设有透光孔，还包括：
[0006]滑动组件，设置于所述遮光板的上方，并与所述遮光板在正投影方向上至少部分重合；
[0007]夹紧组件，所述夹紧组件安装在所述滑动组件上，适于夹持待检测样品，且所述待检测样品夹持后能位于遮光板背离所述光路的一侧并遮挡所述透光孔
。
[0008]可选地，所述滑动组件包括：互相平行的第一滑轨
、
第二滑轨和支撑件，且所述第一滑轨和第二滑轨分别位于所述遮光板上方的两侧，所述第一滑轨和第二滑轨的延伸方向与所述遮光板板面的宽度方向相同；所述支撑件的两端分别与所述第一滑轨
、
所述第二滑轨滑动连接
。
[0009]可选地，所述夹紧组件包括：
[0010]第一夹持件和第二夹持件；所述待检测样品的上边缘位于所述第一夹持件和所述第二夹持件之间；通过调整缩小第一夹持件和所述第二夹持件之间的距离，夹持所述待检
测样品
。
[0011]可选地，所述夹紧组件夹持待检测样品的位置处靠近所述待检测样品的检测位置，以方便所述待检测样品的检测位置对正透光孔
。
[0012]可选地，在所述夹紧组件上与所述待检测样品接触的位置处设有吸盘，所述吸盘位于所述夹紧组件上，且所述吸盘的吸力侧紧贴待检测样品设置
。
[0013]可选地，所述吸盘为柔性材质，所述柔性材质包括橡胶
。
[0014]可选地，还包括：
[0015]调节旋钮，连接所述第一夹持件和第二夹持件；所述调节旋钮适于调节所述第一夹持件和第二夹持件对所述待检测样品的夹紧程度；
[0016]所述第一夹持件还与支撑件固定连接，所述第二夹持件与支撑件滑动连接
。
[0017]可选地，所述调节旋钮穿过所述第二夹持件后与所述第一夹持件螺纹连接
。
[0018]可选地，所述支撑件的两端分别与第一滑块
、
第二滑块固定连接；所述第一滑块与第一滑轨滑动连接；所述第二滑块与第二滑轨滑动连接
。
[0019]本技术还提供一种光谱检测装置，包括：
[0020]光源，适于提供入射光；
[0021]反射镜，适于将入射光反射至遮光板上的透光孔中；
[0022]所述的光谱检测支架；所述光谱检测支架位于所述光谱检测装置内腔，且光谱检测支架的遮光板上的透光孔位于所述反射镜的反射光路上
。
[0023]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0024]1.
本技术提供的光谱检测支架，包括设置于光路上的遮光板，遮光板开设有透光孔，还包括：滑动组件，设置于所述遮光板的上方，并与所述遮光板在正投影方向上至少部分重合；夹紧组件，所述夹紧组件安装在所述滑动组件上，适于夹持待检测样品，且所述待检测样品夹持后能位于遮光板背离所述光路的一侧并遮挡所述透光孔；本申请采用上述技术方案，通过夹紧组件夹持待检测样品的不同位置以及通过夹紧组件沿滑动组件的滑动，以使得待检测样品的不同位置遮挡透光孔，方便对待检测样品上的不同位置点进行检测，克服只能检测某些固定点位的缺陷；而且适应不同尺寸的待检测样品，提高检测位置的精确定位程度，进而提高光谱检测精度；同时通过夹持，也方便检测形状不规则的待检测样品
。
[0025]2、
本技术所述滑动组件包括：互相平行的第一滑轨
、
第二滑轨和支撑件，且所述第一滑轨和第二滑轨分别位于所述遮光板上方的两侧，所述第一滑轨和第二滑轨的延伸方向与所述遮光板板面的宽度方向相同；所述支撑件的两端分别与所述第一滑轨
、
所述第二滑轨滑动连接；本申请采用上述技术方案，通过夹紧组件沿第一滑轨和第二滑轨方向的滑动，以使得待检测样品的不同位置遮挡透光孔，方便对待检测样品上的不同位置点进行检测，克服只能检测某些固定点位的缺陷；而且适应不同尺寸的待检测样品，提高检测位置的精确定位程度，进而提高光谱检测精度
。
[0026]3.
本技术所述夹紧组件夹持待检测样品的位置处靠近所述待检测样品的检测位置，以方便所述待检测样品的检测位置对正透光孔；本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光谱检测支架，包括设置于光路上的遮光板
(5)
，遮光板
(5)
开设有透光孔
(3)
，其特征在于，还包括：滑动组件，设置于所述遮光板
(5)
的上方，并与所述遮光板
(5)
在正投影方向上至少部分重合；夹紧组件
(6)
，所述夹紧组件
(6)
安装在所述滑动组件上，适于夹持待检测样品，且所述待检测样品夹持后能位于遮光板
(5)
背离所述光路的一侧并遮挡所述透光孔
(3)。2.
根据权利要求1所述的光谱检测支架，其特征在于，所述滑动组件包括：互相平行的第一滑轨
(7)、
第二滑轨
(8)
和支撑件
(12)
，且所述第一滑轨
(7)
和第二滑轨
(8)
分别位于所述遮光板
(5)
上方的两侧，所述第一滑轨
(7)
和所述第二滑轨
(8)
的延伸方向与所述遮光板
(5)
板面的宽度方向相同；所述支撑件
(12)
的两端分别与所述第一滑轨
(7)、
所述第二滑轨
(8)
滑动连接
。3.
根据权利要求2所述的光谱检测支架，其特征在于，所述夹紧组件
(6)
包括：第一夹持件
(10)
和第二夹持件
(11)
；所述待检测样品的上边缘位于所述第一夹持件
(10)
和所述第二夹持件
(11)
之间；通过调整缩小第一夹持件
(10)
和所述第二夹持件
(11)
之间的距离，夹持所述待检测样品
。4.
根据权利要求1所述的光谱检测支架，其特征在于，所述夹紧组件
(6)
夹持待检测样品的位置处靠近所述待检测样品的检测位置，以方便所述待检测样品的检测位置对正透光孔
(3)。5.
根据权利要求1－4任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄信涛，魏文文，
申请(专利权)人：安徽华晟新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：