一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空压力控制阀检测装置技术领域，特别是涉及一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置，包括装置本体，所述装置本体包含控制器和底座，所述控制器上端设有指针表，所述控制器一侧连接有干泵且干泵上端连接有阀件，所述阀件一侧连接有压力计，所述控制器正面设置有显示器且显示器两侧分别设置有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板上端设有第一齿条，所述第二挡板上端设有第二齿条，所述第一齿条和第二齿条之间啮合有齿轮，由此，能够实现对两侧挡板的对向移动控制，便于对显示器进行密封保护，能够实现对装置整体的底部减震防护效果，降低了装置使用过程中的剧烈震动和噪音对装置本身和使用者造成的影响

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置


[0001]本技术涉及真空压力控制阀检测装置
，特别是涉及一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置
。

技术介绍

[0002]真空泵压力阀是真空系统中的关键部件之一
,
用于调节和控制真空系统中的力阀气体流动和压力，该阀门通常被安装在真空泵和真空室的真空管路中，可以通过调节其开度来控制气体进出真空系统；
[0003]半导体设备腔室内的压力是由真空压力控制阀所控制的，而真空压力控制阀的初始压力需要调整，在一定压力值才不会对设备腔室压力有影响，并且在生产时，压力在一定稳定范围内；
[0004]现有技术中对于真空压力控制阀的检测普遍采用专业的压力检测装置，但是现有的检测装置在运行时均存在震动和噪音较大的问题，在使用过程中震动产生共振和噪音不仅对设备使用寿命造成影响，也会使得操作人员使用不够舒适，降低了装置使用感受和安全，同时现有检测装置大多不具备对控制器中显示器的保护能力，在非使用期间装置显示器直接裸露在外，容易受到污渍污染或受到外力损坏，影响装置的安全性和显示器的使用寿命，因此，我们需要在现有技术的基础上进行升级和改造，以克服其问题和不足
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]设计一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置，包括装置本体，所述装置本体包含控制器和底座，所述控制器上端设有指针表，所述控制器一侧连接有干泵且干泵上端连接有阀件，所述阀件一侧连接有压力计，所述控制器正面设置有显示器且显示器两侧分别设置有第一挡板和第二挡板，所述第一挡板上端设有第一齿条，所述第二挡板上端设有第二齿条，所述第一齿条和第二齿条之间啮合有齿轮，所述控制器和干泵底部设有安装板，所述底座上端设有储气筒且储气筒顶部套设有橡胶套，所述橡胶套中心设置有连接头且连接头固定在安装板底部
。
[0008]进一步的，所述第一挡板内侧设有密封条，所述第二挡板内侧设置有密封槽，所述密封条与密封槽对应插接
。
[0009]进一步的，所述齿轮外端固定连接有蜗轮，所述蜗轮位于控制器外侧且一侧啮合有蜗杆，所述蜗杆顶部固定设置有旋钮
。
[0010]进一步的，所述底座底部设有橡胶垫
。
[0011]进一步的，所述储气筒一侧导通设置有气门芯
。
[0012]进一步的，所述储气筒内部设置有中心柱，所述中心柱位于橡胶套下端
。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0014]1、
本技术通过装置内设置有第一挡板
、
第二挡板
、
密封条
、
密封槽
、
第一齿条
、
第二齿条
、
齿轮
、
蜗轮和蜗杆，能够实现对第一挡板和第二挡板的对向移动控制，便于对显示器的密封保护，避免了非使用期间显示器受到破坏或污染的问题，提高了设备安全性
。
[0015]2、
本技术通过装置内设置有底座
、
橡胶垫
、
储气筒
、
气门芯
、
橡胶套
、
连接头和中心柱，能够实现对装置整体的底部减震防护效果，降低了装置使用过程中的剧烈震动和噪音对装置本身和使用者造成的影响，提高了装置的实用性和稳定性
。
[0016]参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式
。
应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制
。
在所附权利要求的精神和条款的范围内，本技术的实施方式包括许多改变
、
修改和等同
。
附图说明
[0017]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制
。
在附图中：
[0018]图1为按照本技术一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置的整体结构示意图；
[0019]图2为按照本技术一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置的控制器结构剖视图；
[0020]图3为按照本技术一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置的挡板结构分解图；
[0021]图4为按照本技术一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置的底座结构分解图
。
[0022]图中：
1、
装置本体；
2、
控制器；
3、
指针表；
4、
干泵；
5、
阀件；
6、
压力计；
7、
显示器；
8、
第一挡板；
9、
第二挡板；
10、
密封条；
11、
密封槽；
12、
第一齿条；
13、
第二齿条；
14、
齿轮；
15、
蜗轮；
16、
蜗杆；
17、
旋钮；
18、
安装板；
19、
底座；
20、
橡胶垫；
21、
储气筒；
22、
气门芯；
23、
橡胶套；
24、
连接头；
25、
中心柱
。
具体实施方式
[0023]为使本技术实现的技术手段
、
创作特征
、
达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术
。
[0024]如图1－4所示，本实施例提供的设计一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置，包括装置本体1，装置本体1包含控制器2和底座
19
，控制器2上端设有指针表3，控制器2一侧连接有干泵4且干泵4上端连接有阀件5，阀件5一侧连接有压力计6，控制器2正面设置有显示器7且显示器7两侧分别设置有第一挡板8和第二挡板9，第一挡板8上端设有第一齿条
12
，第二挡板9上端设有第二齿条
13
，第一齿条
12
和第二齿条
13
之间啮合有齿轮
14
，控制器2和干泵4底部设有安装板
18
，底座
19
上端设有储气筒
21
且储气筒
21
顶部套设有橡胶套
23
，橡胶套<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体设备真空压力控制阀的初始压力检测装置，其特征在于：包括装置本体
(1)
，所述装置本体
(1)
包含控制器
(2)
和底座
(19)
，所述控制器
(2)
上端设有指针表
(3)
，所述控制器
(2)
一侧连接有干泵
(4)
且干泵
(4)
上端连接有阀件
(5)
，所述阀件
(5)
一侧连接有压力计
(6)
，所述控制器
(2)
正面设置有显示器
(7)
且显示器
(7)
两侧分别设置有第一挡板
(8)
和第二挡板
(9)
，所述第一挡板
(8)
上端设有第一齿条
(12)
，所述第二挡板
(9)
上端设有第二齿条
(13)
，所述第一齿条
(12)
和第二齿条
(13)
之间啮合有齿轮
(14)
，所述控制器
(2)
和干泵
(4)
底部设有安装板
(18)
，所述底座
(19)
上端设有储气筒
(21)
且储气筒
(21)
顶部套设有橡胶套
(23)
，所述橡胶套
(23)
中心设置有连接头
(24)
且...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志远，陈鹏，陈云龙，
申请(专利权)人：宏图苏州工业园区半导体技术服务有限公司，
类型：新型
国别省市：