一种单晶炉防漏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉防漏装置，涉及单晶炉技术领域，包括炉体，所述炉体的内部设置有熔化箱，所述炉体的内部且位于熔化箱的下方固定连接有支撑板，所述支撑板的表面开设有多个通孔，所述支撑板的内部开设有通槽，所述支撑板的下表面固定连接有第二排料管，所述第二排料管的内部转动连接有第一球阀，所述第一球阀的一侧固定连接有第一转轴，本实用新型专利技术的有益效果为：当重力传感器检测受到的压力达到设定的值时，则自动控制驱动机构进行工作，使得第二排料管处于关闭状态，第一排料管处于打开状态，从而接料箱内部的硅料通过第一排料管排出到外界，达到了硅料定量收集的效果，提高了装置的功能性

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉防漏装置


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体为一种单晶炉防漏装置
。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，用直拉法生长无错位单晶的设备
。
单晶炉在高温化料后，可能会因为一些不可见因素引起漏硅，大量硅液会漏至炉体和真空管道，可能会使管道损坏，造成一定的经济损失，因此通常使用一种防漏装置对泄漏的硅料进行收取
。
[0003]但是现有的单晶炉防漏装置的功能性单一，只能达到收取的效果，难以对硅料等量收集，并且用于收取的接料箱内壁容易附着杂质，难以清理
。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种单晶炉防漏装置，解决了上述
技术介绍
中提出功能性单一
、
并且用于收取的接料箱内壁容易附着杂质，难以清理的问题
。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种单晶炉防漏装置，包括炉体，所述炉体的内部设置有熔化箱，所述炉体的内部且位于熔化箱的下方固定连接有支撑板，所述支撑板的表面开设有多个通孔，所述支撑板的内部开设有通槽，所述支撑板的下表面固定连接有第二排料管，所述第二排料管的内部转动连接有第一球阀，所述第一球阀的一侧固定连接有第一转轴，所述第一转轴的一端固定连接有第一蜗轮，所述炉体的内部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的一端固定连接有接料箱，所述接料箱的内部设置有重力传感器，所述接料箱的下表面固定连接有第一排料管，所述第一排料管的内部转动连接有第二球阀，所述第二球阀的一侧固定连接有第二转轴，所述第二转轴的一端固定连接有第二蜗轮，所述炉体的内部设置有驱动机构
。
[0006]优选的，所述驱动机构包括第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有蜗杆，所述第一蜗轮与蜗杆啮合连接，所述第二蜗轮与蜗杆啮合连接，所述重力传感器与第一电机电性连接
。
[0007]优选的，所述炉体的上表面开设有注料口，所述炉体的外侧靠近下方位置固定安装有支撑架
。
[0008]优选的，所述接料箱的底部固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有往复丝杆
。
[0009]优选的，所述接料箱的内部设置有刮板，所述刮板与往复丝杆螺纹连接
。
[0010]优选的，所述刮板的外侧固定连接有滑块，所述接料箱的内部开设有滑槽，所述滑块与滑槽滑动连接
。
[0011]本技术提供了一种单晶炉防漏装置，具备以下有益效果：
[0012]1、
该单晶炉防漏装置，熔化箱内部的泄漏的硅料能够落入在支撑板的表面，并且通过多个通孔进去通槽的内腔，最后通过第二排料管排入到接料箱的内部，当重力传感器
检测受到的压力达到设定的值时，则自动控制驱动机构进行工作，利用第一电机控制蜗杆转动，通过蜗杆与第一蜗轮的啮合连接作用下，实现了第一转轴以及一端的第一球阀进行转动，使得第二排料管处于关闭状态，同时通过第二蜗轮与蜗杆的啮合连接作用下，能够控制第二转轴以及一端的第二球阀进行转动，使得第一排料管处于打开状态，从而接料箱内部的硅料通过第一排料管排出到外界，达到了硅料定量收集的效果，提高了装置的功能性
。
[0013]2、
该单晶炉防漏装置，通过设置的第二电机，能够控制往复丝杆进行转动，从而带动刮板在接料箱的内部做上下往复移动，对接料箱内壁附着的杂质进行刮除，解决了现有技术中接料箱内壁容易附着杂质，难以清理的问题
。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术图1中的
A
处放大图；
[0016]图3为本技术图1中的
B
处放大图
。
[0017]图中：
1、
炉体；
2、
熔化箱；
3、
第一电机；
4、
支撑架；
5、
第一排料管；
6、
支撑柱；
7、
重力传感器；
8、
第二电机；
9、
往复丝杆；
10、
接料箱；
11、
刮板；
12、
支撑板；
13、
注料口；
14、
通槽；
15、
通孔；
16、
第二排料管；
17、
第一球阀；
18、
第一转轴；
19、
第一蜗轮；
20、
蜗杆；
21、
滑槽；
22、
滑块；
23、
第二球阀；
24、
第二转轴；
25、
第二蜗轮
。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0019]实施例一：
[0020]请参阅图1至图3，一种单晶炉防漏装置，包括炉体1，炉体1的内部设置有熔化箱2，炉体1的内部且位于熔化箱2的下方固定连接有支撑板
12
，支撑板
12
的表面开设有多个通孔
15
，支撑板
12
的内部开设有通槽
14
，支撑板
12
的下表面固定连接有第二排料管
16
，当熔化箱2内部的硅料出现泄漏时，硅料落入在支撑板
12
的表面，并且通过多个通孔
15
进去通槽
14
的内腔，最后通过第二排料管
16
排入到接料箱
10
的内部，第二排料管
16
的内部转动连接有第一球阀
17
，第一球阀
17
的一侧固定连接有第一转轴
18
，第一转轴
18
的一端固定连接有第一蜗轮
19
，炉体1的内部固定连接有支撑柱6，支撑柱6的一端固定连接有接料箱
10
，接料箱
10
的内部设置有重力传感器7，接料箱
10
的下表面固定连接有第一排料管5，第一排料管5的内部转动连接有第二球阀
23
，第二球阀
23
的一侧固定连接有第二转轴
24
，第二转轴
24
的一端固定连接有第二蜗轮
25
，炉体1的内部设置有驱动机构，驱动机构包括第一电机3，第一电机3的输出端固定连接有蜗杆
20
，第一蜗轮
19
与蜗杆
20
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种单晶炉防漏装置，包括炉体
(1)
，其特征在于：所述炉体
(1)
的内部设置有熔化箱
(2)
，所述炉体
(1)
的内部且位于熔化箱
(2)
的下方固定连接有支撑板
(12)
，所述支撑板
(12)
的表面开设有多个通孔
(15)
，所述支撑板
(12)
的内部开设有通槽
(14)
，所述支撑板
(12)
的下表面固定连接有第二排料管
(16)
，所述第二排料管
(16)
的内部转动连接有第一球阀
(17)
，所述第一球阀
(17)
的一侧固定连接有第一转轴
(18)
，所述第一转轴
(18)
的一端固定连接有第一蜗轮
(19)
，所述炉体
(1)
的内部固定连接有支撑柱
(6)
，所述支撑柱
(6)
的一端固定连接有接料箱
(10)
，所述接料箱
(10)
的内部设置有重力传感器
(7)
，所述接料箱
(10)
的下表面固定连接有第一排料管
(5)
，所述第一排料管
(5)
的内部转动连接有第二球阀
(23)
，所述第二球阀
(23)
的一侧固定连接有第二转轴
(24)
，所述第二转轴
(24)
的一端固定连接有第二蜗轮
(25)
，所述炉体
(1)
的内部设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴炜炜，
申请(专利权)人：福建中伟半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：