电容ＭＥＭＳ麦克风振膜制造技术

本发明专利技术涉及微型麦克风领域，具体指一种应用于电子设备上，具有更加灵敏度的电容ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ－ｅｌｅｃｔｒｏ－ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ?ｓｙｓｔｅｍ）麦克风振膜，它包括与背板构成电容系统的振膜单元，所述振膜单元包括位于中央位置悬置的内膜和外围膜片，其中所述的外围膜片由内膜边缘向外衍生延伸出至少四对均匀分布的环形折梁构成，以减小绝缘层对振膜单元周侧边缘部的约束，可以有效提高灵敏度；同时本发明专利技术的振膜单元，能够防止振膜单元振颤时的平面扭动，有效释放应力，从而进一步改善麦克风性能的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电容ＭＥＭＳ麦克风振膜，包括与背板构成电容系统的振膜单元，所述振膜单元包括位于中央位置悬置的内膜和外围膜片，其特征在于：所述的外围膜片由内膜边缘向外衍生延伸出至少四对均匀分布的环形折梁构成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨斌，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]