调整式稳压阀及其组装方法技术

涉及一种调整式稳压阀，包括主体阀

【技术实现步骤摘要】
调整式稳压阀及其组装方法、半导体制造设备


[0001]本专利技术涉及电气元件组件的制造设备中关键部件的
，尤其是涉及一种调整式稳压阀以及制造该调整式稳压阀的组装方法
、
半导体制造设备，其中一种具体应用为实现半导体制造设备的国产化自制
。

技术介绍

[0002]隔膜阀的一种主要用途为特用于介质流体传输的开启与关闭，但是也有其他用途的隔膜阀，例如减压阀，用于减少输出流体的压力
。
然而，对减压阀输入流体的压力波动变化，经常也会影响输出流体的压力，其流体压力值波动变化有时候并不被半导体制造工艺或精密制造所接受
。
其中在半导体制造工艺中对于工作流体的压力稳定度
、
流量精密调整与阀体耐腐蚀性有更严格的要求，若导入设备的流体压力敏感地受到输入流体压力的波动变化，流体输入供给量与流体速度有忽高忽低的变化，这将不利于半导体制造精准生产的质量控制
。
[0003]现行减压阀有多种结构及相应系统，专利技术公开号
CN1806216A
公开一种相对压力控制系统和相对流量控制系统，以简单的减压阀构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统
。
具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀
、
分别与检出气动阀串联连接而检出气动阀输出的压力的压力传感器
、
根据压力传感器检测出的压力来控制气动阀的操作压力的控制器以及使多个气动阀常时至少一个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀，调整从多个气动阀中给定了的气动阀的开度，按规定的分压比输出作用气体
。
也由此可知，相关专利技术概念下的减压阀系统需要实时监测多个气动阀的气体压力，即减压阀的阀门开度为外部驱动气压或机械方式所控制，需要对应的外部驱动组件，且减压效果有滞后性（需要先确定流体压力异常程度才确定减压阀的调整幅度），为本领域的固有技术思维
。
[0004]另外，有人在技术专利号
CN201934677U
提出一种减压阀较为具体的结构，有以下诸多机械结构，包括阀体
、
阀盖
、
膜片
、
调节螺杆
、
调节弹簧
、
弹簧压块
、
弹簧垫块
、
压套
、
阀瓣组件
、
回位弹簧
、
螺塞，所述的阀瓣组件主要由阀瓣
、
设置在阀瓣上的顶杆及密封件组成，阀瓣上开设有阶梯状的安装孔，该安装孔的一端用于安装顶杆，另一端用于安装回位弹簧，顶杆底部开设有轴向盲孔，盲孔底部内壁上均匀设置有若干径向回流通孔
。
所述的膜片为改性橡胶膜片，在阀门开启时有减缓冲击的效果，使阀内压力较稳定
。
所述的阀体两侧开有压力表接口
。
所述的顶杆与阀瓣上分别设置有垫圈
。
当减压阀关闭时，出口处介质若倒流就会通过顶杆上的通孔流入阀瓣底部，阀瓣组件在液体压力的作用下会加速回位并能更好地对减压阀进行密封
。
其中，相关现有技术的调节螺杆明显属于外部驱动组件，转动调节螺杆可改变阀瓣组件的开启高度从而调节通过的介质流量来达到所需压力值，即调节螺杆不转动调整就不能改变减压阀的阀门开度
。
由此再一次印证“外驱动”为减压阀
的固有思维
。
[0005]此外，专利技术专利公开号
CN104728488A
提出一种管道稳压阀，主要由阀体
、
阀瓣
、
阀
盖
、
弹簧
、
调节螺杆
、
隔膜
、
阀杆和阀座组成，阀体与阀盖之间装有隔膜，阀盖与隔膜之间形成阀腔，在阀腔内装设有弹簧，弹簧上部装有弹簧塞，弹簧下部装有弹簧座，调节螺杆一端延伸至阀腔内与弹簧塞抵触，调节螺杆与阀盖螺纹配合，弹簧座与隔膜抵触，所述阀瓣设置在阀体内，在阀体内还设有阀座，阀座可与阀瓣的下端接触密封，阀瓣由阀杆限定，阀杆垂直设置，在阀杆固定有定位环，定位环以上由阀杆穿过阀瓣，阀瓣的下端与定位环抵触
。
现有相关技术下的简单结构提出稳压效果的概念，貌似可以直接安装在管道上稳定出口压力，实现减压
、
等压和稳压的效果
。
但是，缺乏具体稳压的机制说明，其调节螺杆利用了弹簧进行阀门开度的调整，由结构图可见，相关技术人员可合理推知，当输入流体压力瞬间波动的增加，弹簧受到流体推力产生弹力收缩，阀门开度实际上是往变大的变化，输入流体压力增加并且加上阀门开度变大，经过该管道稳压阀的输出流体压力在输入压力的波动瞬间也是明显的变大，故现行稳压机制不能很好满足实际产业需求
。

技术实现思路

[0006]由于目前在外部输入流体压力的瞬间波动下对减压阀的输出的不利影响缺乏研究
。
故，本专利技术的主要目的一是提供一种调整式稳压阀，主要进步在解决传统减压阀的递减
/
递增波动率过大导致供液流体压力容易受到外部输入流体压力影响的问题
。
此外，还解决了传统减压阀使用上会有颗粒和离子析出的制程缺陷
。
本专利技术提出减压阀的动态自我调节平衡的概念，即外部输入流体压力的波动一瞬间，减压阀就能同步地自己进行动态平衡的调整
。
[0007]本专利技术的主要目的二是提供一种半导体制造设备，明显能减少外部输入流体压力波动对阀输出流体压力稳定供给予设备中用液单元的影响
。
[0008]本专利技术的主要目的三是提供一种调整式稳压阀的组装方法，实现了非连接悬立阀杆的非连接内部安装
。
[0009]本专利技术的主要目的一是通过以下技术方案得以实现的：提出一种调整式稳压阀，包括：主体阀，内设有输入流道
、
输出流道
、
连通所述输入流道与所述输出流道的密闭阀口以及位于所述密闭阀口上方的缺口环，所述主体阀的底部设有弹性元件；气压调节的驱动阀膜，设置于所述主体阀的顶部，以上下间隔出顶部气压腔与流道空间，所述驱动阀膜具有对准适配于所述缺口环的自平衡阀头；非连接悬立阀杆，具有能封闭所述密闭阀口的减压阀头
、
设置所述减压阀头上的上导柱
、
设置所述减压阀头下的隔膜以及位于所述隔膜下方的下导柱，其中所述上导柱仅接触所述驱动阀膜的所述自平衡阀头，以接受所述驱动阀膜的下推气体压力，所述下导柱接受所述弹性元件的上推弹力；当来自所述输入流道的流体压力波动为递增且部分作用于所述自平衡阀头，所述自平衡阀头自动微幅上移，以缩小所述减压阀头的开度；当来自所述输入流道的流体压力波动为递减且部分作用于所述自平衡阀头，所述自平衡阀头自动微幅下移，以扩大所述减压阀头的开度；在十倍减压范围内，所述输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种调整式稳压阀，其特征在于，包括：主体阀，内设有输入流道
、
输出流道
、
连通所述输入流道与所述输出流道的密闭阀口以及位于所述密闭阀口上方的缺口环，所述主体阀的底部设有弹性元件；气压调节的驱动阀膜，设置于所述主体阀的顶部，以上下间隔出顶部气压腔与流道空间，所述驱动阀膜具有对准适配于所述缺口环的自平衡阀头；非连接悬立阀杆，具有能封闭所述密闭阀口的减压阀头
、
设置所述减压阀头上的上导柱
、
设置所述减压阀头下的隔膜以及位于所述隔膜下方的下导柱，其中所述上导柱仅接触所述驱动阀膜的所述自平衡阀头，以接受所述驱动阀膜的下推气体压力，所述下导柱接受所述弹性元件的上推弹力；当来自所述输入流道的流体压力波动为递增且部分作用于所述自平衡阀头，所述自平衡阀头自动微幅上移，以缩小所述减压阀头的开度；当来自所述输入流道的流体压力波动为递减且部分作用于所述自平衡阀头，所述自平衡阀头自动微幅下移，以扩大所述减压阀头的开度；在十倍减压范围内，所述输出流道的流体压力稳定在
0%
～
10%
以内的递增波动率或稳定在
‑
10%
～
0%
以内的递减波动率
。2.
根据权利要求1所述的调整式稳压阀，其特征在于，所述自平衡阀头的直径大于所述减压阀头的直径，使得在八倍减压范围内，所述输出流道的流体压力具体稳定在
0%
～
5%
以内的递增波动率或稳定在
‑
5%
～
0%
以内的递减波动率
。3.
根据权利要求1所述的调整式稳压阀，其特征在于，另包括：浮动调节座，设置于所述弹性元件上并与所述下导柱弹性接触，用于传递所述弹性元件的上升弹力至所述非连接悬立阀杆；所述浮动调节座的上表面形成有导向孔，以弹性接触所述下导柱的底端；所述导向孔具有内
R
角，所述下导柱的底端具有外
R
角，所述内
R
角大于所述外
R
角，以便于所述下导柱的轴向导正并便于所述浮动调节座由所述下导柱脱离；优选地，所述减压阀头具有倒锥斜面，以减少输入流体对所述非连接悬立阀杆的侧流冲击；优选地，所述浮动调节座的底部延伸有调节球端，嵌套于所述弹性元件内
。4.
根据权利要求1所述的调整式稳压阀，其特征在于，所述上导柱的顶端紧配合于所述自平衡阀头的轴孔；当所述弹性元件顶升所述非连接悬立阀杆至最高点，所述减压阀头封闭所述密闭阀口，而所述自平衡阀头不足以脱离所述缺口环
。5.
根据权利要求4所述的调整式稳压阀，其特征在于，所述缺口环的开口朝向所述输入流道的入口，所述缺口环外围形成能连通所述输出流道的流道环槽
。6.
根据权利要求5所述的调整式稳压阀，其特征在于，所述顶部气压腔的气压增加或
/
与所述输出流道的流体压力减少能向下移动所述自平衡阀头，当所述非连接悬立阀杆下沉至最低点，所述自平衡阀头的形状与厚度不...

【专利技术属性】
技术研发人员：张生洲，张青松，陶峰，
申请(专利权)人：科讯工业制造深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：