一种激光掺杂设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种激光掺杂设备，包括：料框搬运机构，用于移送料框，所述料框用于装载片状物料；物料移栽机构，对接于所述料框搬运机构，用于从料框中取出物料或将加工完成的物料置入料框；输送机构，对接于所述物料移栽机构，所述输送机构包括平行设置的上料输送带和下料输送带；中转机构，对接于所述输送机构，用于从所述上料输送带吸取物料，并将加工完成的物料放置于所述下料输送带；以及激光掺杂机构，对接与所述中转机构，用于对物料进行激光掺杂。本实用新型专利技术的布局合理，能够实现物料和料框的高效流转，有效提升产生效率。有效提升产生效率。有效提升产生效率。

【技术实现步骤摘要】
一种激光掺杂设备


[0001]本技术涉及硅片加工设备
，具体而言，涉及一种激光掺杂设备。

技术介绍

[0002]激光掺杂设备是一种在硅片生产过程中用来做选择性重掺，以提高硅片光电转换效率的专用激光设备。为了提升生产效率，待掺杂的硅片层叠放置在特定的料框内，并通过料框移动，掺杂前需要将硅片从料框取出，在掺杂完成后还需要将硅片置入料框，因此料框和硅片的流转对掺杂效率至关重要。现有的掺杂设备结构简单，或不能实现料框和硅片的自动上下料，或料框和硅片的流转方式不合理，导致生产效率低下。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种激光掺杂设备，其布局合理，能够实现物料和料框的高效流转，有效提升产生效率。
[0004]一种激光掺杂设备，包括：料框搬运机构，用于移送料框，所述料框用于装载片状物料；物料移栽机构，对接于所述料框搬运机构，用于从料框中取出物料或将加工完成的物料置入料框；输送机构，对接于所述物料移栽机构，所述输送机构包括平行设置的上料输送带和下料输送带；中转机构，对接于所述输送机构，用于从所述上料输送带吸取物料，并将加工完成的物料放置于所述下料输送带；以及激光掺杂机构，对接与所述中转机构，用于对物料进行激光掺杂。
[0005]在上述技术方案中，料框搬运机构可对接上游设备或AGV小车移送来的装载有物料的料框，同时能够实现空料框、以及装载有加工完成物料的料框的移送，从而实现料框的自动流转，避免料框堆积，保证生产的持续进行。物料移栽机构能够实现物料的自动取料和放料，提升生产效率。输送机构、中转机构、以及激光掺杂机构配合，能够对待加工物料和加工完成物料的分别移送，保证物料的持续流转，提升加工效率。
[0006]进一步的，所述料框搬运机构包括料框移栽组件、以及料框运输组件，所述料框移栽组件对接于所述料框运输组件，所述料框运输组件和所述料框移栽组件分别驱使料框沿第一方向和第二方向移动，所述第一方向与第二方向正交。
[0007]在上述技术方案中，料框运输组件可对接上游上游设备或AGV小车，并驱使料框沿第一方向移动，料框移栽组件能够驱使料框沿第二方向移动，从而实现料框在多个料框运输组件和取料机构之间的移栽。
[0008]进一步的，所述料框运输组件为至少两个，所述料框运输组件包括第一输送层和第二输送层，所述第一输送层和第二输送层的移送方向相反。
[0009]在上述技术方案中，料框运输组件配置为至少两个，且料框运输组件具有第一输送层和第二输送层，两个料框运输组件的第一输送层可输送装载有待掺杂物料的满料料框，第二输送层可输送装载有已完成掺杂物料的满料料框，以及由于不良物料产生而多出的空料框，以此实现不同料框的分别移送，保证料框持续合理地流转。
[0010]进一步的，所述料框移栽组件包括第一移栽层和第二移栽层，所述第一移栽层和第二移栽层分别对接所述第一输送层和第二输送层。
[0011]在上述技术方案中，料框移栽组件通过设置第一移栽层和第二移栽层，能够分别对接料框运输组件的第一输送层和第二输送层，从而实现料框分别第一输送层和第二输送层之间的移栽。
[0012]进一步的，物料移栽机构包括相对设置的两个物料移栽模组、以及设于两个所述物料移栽模组之间的缓存组件。
[0013]在上述技术方案中，两个物料移栽模组能够分别对料框进行取料和放料，缓存组件能够存放取料完成的空料框，并将空料框通过料框移栽组件移送下料。
[0014]进一步的，所述物料移栽模组包括夹持组件和升降组件，所述夹持组件用于夹紧料框，所述升降组件用于驱使所述夹持组件沿第三方向移动。
[0015]在上述技术方案中，夹持组件能够夹紧料框，保证料框在取放料时的稳定。升降组件能够驱使料框沿第三方向升降，从而使料框内的放料位的高度与上料输送带或下料输送带齐平，使物料能够移送至上料输送带，或从下料输送带移入料框。
[0016]进一步的，所述中转机构包括第一旋转平台、以及设于所述第一旋转平台外周的若干吸料组件，所述吸料组件用于吸取物料，所述第一旋转平台可驱使所述吸料组件以所述第一旋转平台的中心为轴转动。
[0017]在上述技术方案中，吸料组件能够吸取物料，通过第一旋转平台能够驱使吸料组件转动，从而使物料在不同的位置转换。
[0018]进一步的，沿所述第一旋转平台的周向依次设有取料位、对接位、放料位、以及废料储存位，所述取料位和放料位分别对接所述上料输送带和下料输送带，所述对接位与所述激光掺杂机构对接。
[0019]在上述技术方案中，第一旋转平台的周向依次设有取料位、对接位、放料位、以及废料储存位，使得中转机构能够同时实现对待加工物料的吸取、对接激光掺杂机构、放置加工完成的物料、以及区分不良物料的功能。
[0020]进一步的，所述激光掺杂机构包括第二旋转平台，所述第二旋转平台的周边依次设有第一视觉检测组件和激光掺杂组件。
[0021]在上述技术方案中，通过第二旋转平台，能够实现物料在第一视觉检测组件和激光掺杂组件之间的移送，结构合理，移送效率高。
[0022]进一步的，所述激光掺杂组件包括红外连续激光器、以及依次设于所述红外连续激光器的光路上的光路盒、振镜、以及场镜。
[0023]在上述技术方案中，采用红外连续激光器对物料进行激光掺杂，能够解决热机时间长且峰值能量高，避免硅片损伤的问题，起到减少硅片的损伤，提高硅片产能的效果。
[0024]与现有技术相比，本技术的有益效果是：料框搬运机构可对接上游设备或AGV小车移送来的装载有物料的料框，同时能够实现空料框、以及装载有加工完成物料的料框的移送，从而实现料框的自动流转，避免料框堆积，保证生产的持续进行。物料移栽机构能够实现物料的自动取料和放料，提升生产效率。输送机构、中转机构、以及激光掺杂机构配合，能够对待加工物料和加工完成物料的分别移送，保证物料的持续流转，提升加工效率。
附图说明
[0025]图1为本技术实施例的激光掺杂设备的结构示意图。
[0026]图2为本技术实施例的料框运输组件的结构示意图。
[0027]图3为本技术实施例的料框运输组件的正视图。
[0028]图4为本技术实施例的料框移栽组件的结构示意图。
[0029]图5为本技术实施例的料框移栽组件的正视图。
[0030]图6为本技术实施例的物料移栽机构的结构示意图。
[0031]图7为本技术实施例的物料移栽机构的正视图。
[0032]图8为本技术实施例的输送机构的结构示意图。
[0033]图9为本技术实施例的中转机构的结构示意图。
[0034]图10为本技术实施例的中转机构的俯视图。
[0035]图11为本技术实施例的激光掺杂机构的结构示意图。
[0036]附图标号说明：
[0037]料框搬运机构1、料框移栽组件11、第一移栽层111、第二移栽层112、驱动模组113本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光掺杂设备，其特征在于，包括：料框搬运机构（1），用于移送料框（6），所述料框（6）用于装载片状物料；物料移栽机构（2），对接于所述料框搬运机构（1），用于从料框（6）中取出物料或将加工完成的物料置入送料框（6）；输送机构（3），对接于所述物料移栽机构（2），所述输送机构（3）包括平行设置的上料输送带（31）和下料输送带（32）；中转机构（4），对接于所述输送机构（3），用于从所述上料输送带（31）吸取物料，并将加工完成的物料放置于所述下料输送带（32）；以及激光掺杂机构（5），对接与所述中转机构（4），用于对物料进行激光掺杂。2.根据权利要求1所述的激光掺杂设备，其特征在于，所述料框搬运机构（1）包括料框移栽组件（11）、以及料框运输组件（12），所述料框移栽组件（11）对接于所述料框运输组件（12），所述料框运输组件（12）和所述料框移栽组件（11）分别驱使料框（6）沿第一方向和第二方向移动，所述第一方向与第二方向正交。3.根据权利要求2所述的激光掺杂设备，其特征在于，所述料框运输组件（12）为至少两个，所述料框运输组件（12）包括第一输送层（121）和第二输送层（122），所述第一输送层（121）和第二输送层（122）的移送方向相反。4.根据权利要求3所述的激光掺杂设备，其特征在于，所述料框移栽组件（11）包括第一移栽层（111）和第二移栽层（112），所述第一移栽层（111）和第二移栽层（112）分别对接所述第一输送层（121）和第二输送层（122）。5.根据权利要求1所述的激光掺杂设备，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东舜元激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：