一种钙钛矿阴极高度调整结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种钙钛矿阴极高度调整结构，包括钙钛矿镀膜装置的内壁，内壁上设置有高度调整机构，高度调整机构上设置有夹持机构，还包括所述夹持机构包括支撑板，所述支撑板设置在高度调整机构上，支撑板的两端转动连接设置有双向丝杆，所述双向丝杆上螺接有两组安装块，两组所述安装块分别与双向丝杆相反的外螺纹螺接

【技术实现步骤摘要】
一种钙钛矿阴极高度调整结构


[0001]本技术涉及真空镀膜阴极调节
，尤其涉及一种钙钛矿阴极高度调整结构
。

技术介绍

[0002]真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式，即蒸发镀膜
、
溅射镀膜和离子镀
。
其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上
。
在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，而在磁控溅射镀膜设备中，磁场的设置尤为重要；
[0003]申请号为
CN202110837293.9
的专利公开了一种用于平面阴极装置的升降式调整装置，包括平面阴极，包括调整底座，调整底座上部对称设有第一调整竖柱
、
第二调整竖柱，第一调整竖柱
、
第二调整竖柱侧部设有第一安装腔
、
第二安装腔
。
本专利技术启动高度电机，丝杆转动，丝杆上螺纹连接有丝块，带动丝块移动，继而实现丝块穿过第一调整竖柱与升降座移动，通过稳定竖柱上套设有稳定套块，提高了升降座移动的稳定性；
[0004]上述装置通过定位装置对平面阴极进行夹持固定，难以根据平面阴极的材质和性状便捷的更换夹持板的材质，例如阴极材料是一种高度活性的金属可能在真空环境下与夹持板材料发生反应，又或者阴极材料中存在杂质元素时，这些杂质可能与夹持板材料或其他组件中的元素发生反应，导致产生化合物或合金相，因此需要针对平面阴极的材质和形状去方便更换夹持板的材质
。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术的目的在于提出一种钙钛矿阴极高度调整结构，以解决现有的平面阴极夹持装置难以根据平面阴极的材质和性状便捷的更换夹持板材质的问题
。
[0006]基于上述目的，本技术提供了一种钙钛矿阴极高度调整结构，包括钙钛矿镀膜装置的内壁，内壁上设置有高度调整机构，高度调整机构上设置有夹持机构，还包括：
[0007]所述夹持机构包括支撑板，所述支撑板设置在高度调整机构上，支撑板的两端转动连接设置有双向丝杆，所述双向丝杆上螺接有两组安装块，两组所述安装块分别与双向丝杆相反的外螺纹螺接，两组移动块上均设置有支撑臂，所述支撑板的一端设置有第二电机，所述第二电机输出端与双向丝杆的一端固定连接；
[0008]第一夹板机构，包括管套，所述管套转动连接设置在一侧的支撑臂上，管套内转动连接设置有连接杆，所述连接杆远离内壁中心的一端转动连接设置有固定板，连接杆的另一端固定连接设置有第一调节板，所述固定板上设置有第三电机，所述第三电机输出端与连接杆的端部固定连接，所述第一调节板上转动连接设置有两组第一轴杆，两组所述第一轴杆分别位于第一调节板的两端，其中一组第一轴杆远离第一调节板的一端固定连接设置有第一夹持板，另一组第一轴杆远离第一调节板的一端固定连接设置有第二夹持板；
[0009]第二夹板机构，包括第二轴杆，所述第二轴杆转动连接设置在另一侧的支撑臂上，
第二轴杆远离支撑臂的一端固定连接设置有第二调节板，所述第二调节板远离支撑臂的一侧转动连接设置有第三夹持板和第四夹持板，所述支撑臂上设置有第五电机，所述第五电机输出轴与第二轴杆固定连接
。
[0010]在一些可选实施例中，所述高度调整机构包括两组安装板，两组所述安装板对称安装在内壁上，两组安装板之间转动连接设置有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆上螺接有移动块，所述移动块的顶部与支撑板的底部固定连接，其中一侧的安装板上设置有第一电机，第一电机的输出端与螺纹丝杆的一端固定连接，所述内壁上设置有第一限位块，所述移动块与第一限位块滑动配合
。
[0011]在一些可选实施例中，所述第三夹持板的材质和第一夹持板的材质相同，所述第二夹持板的材质与第四夹持板的材质相同
。
[0012]在一些可选实施例中，所述第一夹板机构上还设置有用于带动第一夹持板和第二夹持板转动的旋转机构
。
[0013]在一些可选实施例中，所述旋转机构包括第四电机，所述第四电机固定连接设置在与固定板同侧的支撑臂上，所述第四电机的输出轴上设置有第一齿轮，所述管套上套设有外齿环，所述外齿环与第一齿轮啮合，所述管套远离固定板的一端固定连接设置有第三齿轮，两组所述第一轴杆靠近支撑臂的一端均固定连接设置有第四齿轮，所述第四齿轮与第三齿轮啮合
。
[0014]在一些可选实施例中，所述支撑板上设置有第二限位块，两组所述安装块分别与第二限位块滑动配合
。
[0015]从上面所述可以看出，本技术提供的一种钙钛矿阴极高度调整结构，根据阴极的材质来选择采用与其匹配的第一夹持板和第三夹持板或第二夹持板和第四夹持板，通过控制第四电机带动连接杆转动从而带动第一调节板转动，能够调节第一夹持板和第二夹持板的位置，控制第五电机带动第二轴杆转动从而带动第二调节板转动，能够调节第三夹持板和第四夹持板的位置
。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本说明书一个或多个实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书一个或多个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0017]图1为本技术的第一视角立体结构示意图；
[0018]图2为本技术的第二视角立体结构示意图；
[0019]图3为本技术的第三视角立体结构示意图；
[0020]图4为本技术所述第一夹持板机构立体结构示意图；
[0021]图5为本技术所述第二夹持板立体结构示意图；
[0022]图6为本技术所述第一夹持板俯视结构示意图；
[0023]图7为本技术所述第二夹持板俯视结构示意图
。
[0024]图中标记为：
[0025]1、
内壁；
2、
高度调整机构；
201、
安装板；
202、
螺纹丝杆；
203、
移动块；
204、
第一限位
块；
205、
第一电机；
3、
夹持机构；
301、
支撑板；
302、
双向丝杆；
303、
第二电机；
304、
安装块；
305、
支撑臂；
306、
第二限位块；
4、
第一夹板机构；
401、
管套；
402、
连接杆；
403、
固定板；
404、
第一调节板；
405、
第一轴杆；
406、
第一夹持板；
407、
第二夹持板；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种钙钛矿阴极高度调整结构，包括钙钛矿镀膜装置的内壁
(1)
，内壁
(1)
上设置有高度调整机构
(2)
，高度调整机构
(2)
上设置有夹持机构
(3)
，其特征在于，还包括：所述夹持机构
(3)
包括支撑板
(301)
，所述支撑板
(301)
设置在高度调整机构
(2)
上，支撑板
(301)
的两端转动连接设置有双向丝杆
(302)
，所述双向丝杆
(302)
上螺接有两组安装块
(304)
，两组所述安装块
(304)
分别与双向丝杆
(302)
相反的外螺纹螺接，两组移动块
(203)
上均设置有支撑臂
(305)
，所述支撑板
(301)
的一端设置有第二电机
(303)
，所述第二电机
(303)
输出端与双向丝杆
(302)
的一端固定连接；第一夹板机构
(4)
，包括管套
(401)
，所述管套
(401)
转动连接设置在一侧的支撑臂
(305)
上，管套
(401)
内转动连接设置有连接杆
(402)
，所述连接杆
(402)
远离内壁
(1)
中心的一端转动连接设置有固定板
(403)
，连接杆
(402)
的另一端固定连接设置有第一调节板
(404)
，所述固定板
(403)
上设置有第三电机
(408)
，所述第三电机
(408)
输出端与连接杆
(402)
的端部固定连接，所述第一调节板
(404)
上转动连接设置有两组第一轴杆
(405)
，两组所述第一轴杆
(405)
分别位于第一调节板
(404)
的两端，其中一组第一轴杆
(405)
远离第一调节板
(404)
的一端固定连接设置有第一夹持板
(406)
，另一组第一轴杆
(405)
远离第一调节板
(404)
的一端固定连接设置有第二夹持板
(407)
；第二夹板机构
(6)
，包括第二轴杆
(601)
，所述第二轴杆
(601)
转动连接设置在另一侧的支撑臂
(305)
上，第二轴杆
(601)
远离支撑臂
(305)
的一端固定连接设置有第二调节板
(602)
，所述第二调节板
(602)
远离支撑臂
(305)
的一侧转动连接设置有第三夹持板
(604)
和第四夹持板
(605)
，所述支撑臂
(305)
上设置有第五电机<...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮华清，叶显飞，梅艳慧，江湖，
申请(专利权)人：安徽华远装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：