晶圆搬运取放料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆搬运取放料装置，包含架体，还包含：横向模组

【技术实现步骤摘要】
晶圆搬运取放料装置


[0001]本技术涉及晶圆贴膜
，特别涉及一种晶圆搬运取放料装置
。

技术介绍

[0002]目前半导体晶圆搬运设备主要技术是由机械手来进行，在机械手抓取晶圆过程中，容易使晶圆表面损伤；而且存在设备采购价格高
、
交期长的问题
。

技术实现思路

[0003]根据本技术实施例，提供了一种晶圆搬运取放料装置，包含架体，还包含：横向模组
、
升降模组
、
旋转模组和搬运模组；
[0004]横向模组与架体相连，可驱动架体往复运动；
[0005]升降模组分别与搬运模组
、
架体相连，可驱动搬运模组上下运动；
[0006]旋转模组与搬运模组相连，可驱动搬运模组旋转；
[0007]搬运模组用于搬运晶圆
。
[0008]进一步，横向模组包含：横向驱动机构和横向导轨；
[0009]架体与横向导轨滑动连接；
[0010]横向驱动机构的输出端与架体相连，可驱动架体在横向导轨上往复运动
。
[0011]进一步，升降模组包含：升降驱动机构和滚珠丝杠机构；
[0012]滚珠丝杠机构的输出端与搬运模组相连；
[0013]升降驱动机构的输出端与滚珠丝杠机构的输入端相连，可通过滚珠丝杠机构驱动搬运模组动作
。
[0014]进一步，搬运模组包含：纵向驱动机构
、
旋转轴和取放料机构；
[0015]纵向驱动机构的输出端与取放料机构相连，可驱动取放料机构进行取放料动作；
[0016]旋转轴的一端与纵向驱动机构相连，另一端与升降模组的输出端相连；
[0017]旋转轴上沿轴向方向设置有若干滑槽，旋转模组的输出端通过若干滑槽与旋转轴相连
。
[0018]进一步，取放料机构包含：夹爪
、
固定板和检测器；
[0019]夹爪与固定板相连；
[0020]固定板与纵向驱动机构的输出端相连；
[0021]检测器与固定板相连，用于检测晶圆位置
。
[0022]进一步，夹爪上设置有若干吸附孔和内部通道；
[0023]若干吸附孔和内部通道相连通；
[0024]内部通道与外接气缸相连，外接气缸用于对内部通道抽真空
。
[0025]进一步，夹爪一端设置有开口
。
[0026]进一步，夹爪的材质为陶瓷材质
。
[0027]进一步，还包含：固定架和若干导轨；
[0028]若干导轨分别设置在架体上，固定架两端分别与若干导轨滑动连接；
[0029]升降模组的输出端通过固定架与旋转轴相连
。
[0030]进一步，旋转模组包含：旋转驱动机构和滚珠花键；
[0031]旋转驱动机构的输出端通过滚珠花键与旋转轴上的若干滑槽滑动连接，旋转轴可相对滚珠花键上下运动
。
[0032]根据本技术实施例的晶圆搬运取放料装置，通过夹爪深入晶圆下表面，从下端抬起晶圆，并将晶圆吸附在夹爪上，不容易使晶圆表面损伤；且该装置制造周期短
、
成本低
。
[0033]要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明
。
附图说明
[0034]图1为根据本技术实施例的立体图；
[0035]图2为夹爪的俯视图；
[0036]图3为图2的
B
向放大图；
[0037]图4为图2的
A
‑
A
向剖视图；
[0038]图5为图4的
C
向放大图；
[0039]图6为旋转轴的立体图；
[0040]图7为图6的
D
向放大图
。
具体实施方式
[0041]以下将结合附图，详细描述本技术的优选实施例，对本技术做进一步阐述
。
[0042]首先，将结合图
1~7
描述根据本技术实施例的晶圆搬运取放料装置，用于晶圆贴膜
，将未贴膜的晶圆从晶圆放置架上搬运到贴膜设备的晶圆固定治具上，其应用场景很广
。
[0043]如图
1~7
所示，本技术实施例的晶圆搬运取放料装置，包含架体1，还包含：横向模组
2、
升降模组
3、
旋转模组5和搬运模组4；
[0044]横向模组2与架体1相连，可驱动架体1往复运动；
[0045]升降模组3分别与搬运模组
4、
架体1相连，可驱动搬运模组4上下运动；
[0046]旋转模组5与搬运模组4相连，可驱动搬运模组4旋转；
[0047]搬运模组4用于搬运晶圆
。
[0048]进一步，如图1所示，在本实施例中，横向模组2包含：横向驱动机构
21
和横向导轨
22
；
[0049]架体1与横向导轨
22
滑动连接；
[0050]横向驱动机构
21
的输出端与架体1相连，可驱动架体1在横向导轨
22
上往复运动
。
[0051]进一步，如图1所示，在本实施例中，升降模组3包含：升降驱动机构
31
和滚珠丝杠机构
32
；
[0052]滚珠丝杠机构
32
的输出端与搬运模组4相连；
[0053]升降驱动机构
31
的输出端与滚珠丝杠机构
32
的输入端相连，可通过滚珠丝杠机构
32
驱动搬运模组4动作
。
[0054]进一步，如图
1、6~7
所示，在本实施例中，搬运模组4包含：纵向驱动机构
41、
旋转轴
42
和取放料机构
43
；
[0055]纵向驱动机构
41
的输出端与取放料机构
43
相连，可驱动取放料机构
43
进行取放料动作；
[0056]旋转轴
42
的一端与纵向驱动机构
41
相连，另一端与升降模组3的输出端相连；
[0057]旋转轴
42
上沿轴向方向设置有若干滑槽
421
，旋转模组5的输出端通过若干滑槽
421
与旋转轴
42
相连
。
[0058]进一步，如图1所示，在本实施例中，取放料机构
43
包含：夹爪
431、
固定板
432
和检测器
433
；
[0059]夹爪本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆搬运取放料装置，包含架体，其特征在于，还包含：横向模组
、
升降模组
、
旋转模组和搬运模组；所述横向模组与所述架体相连，可驱动所述架体往复运动；所述升降模组分别与所述搬运模组
、
所述架体相连，可驱动所述搬运模组上下运动；所述旋转模组与所述搬运模组相连，可驱动所述搬运模组旋转；所述搬运模组用于搬运晶圆
。2.
如权利要求1所述的晶圆搬运取放料装置，其特征在于，所述横向模组包含：横向驱动机构和横向导轨；所述架体与所述横向导轨滑动连接；所述横向驱动机构的输出端与所述架体相连，可驱动所述架体在所述横向导轨上往复运动
。3.
如权利要求1所述的晶圆搬运取放料装置，其特征在于，所述升降模组包含：升降驱动机构和滚珠丝杠机构；所述滚珠丝杠机构的输出端与所述搬运模组相连；所述升降驱动机构的输出端与所述滚珠丝杠机构的输入端相连，可通过所述滚珠丝杠机构驱动所述搬运模组动作
。4.
如权利要求1所述的晶圆搬运取放料装置，其特征在于，所述搬运模组包含：纵向驱动机构
、
旋转轴和取放料机构；所述纵向驱动机构的输出端与所述取放料机构相连，可驱动所述取放料机构进行取放料动作；所述旋转轴的一端与所述纵向驱动机构相连，另一端与所述升降模组的输出端相连；所述旋转轴上沿轴向方向设置有若干滑槽，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：余俊成，
申请(专利权)人：上海铭沣科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：