一种多弧磁控镀膜机的转架制造技术

本实用新型专利技术涉及转动装置技术领域，尤其是涉及一种多弧磁控镀膜机的转架，用于镀膜筒体内部悬挂工件，包括有转动支撑板，所述下转盘底部设有若干个转架支撑轮，所述下转盘通过转架支撑轮转动连接在转动支撑板上，所述下转盘与转动支撑板之间设有固定齿轮和若干组从动齿轮组，所述固定齿轮固定连接在转动支撑板上，所述从动齿轮组与固定齿轮啮合传动，所述从动齿轮组上设有转轴件，所述下转盘上设有供转轴件穿过的转轴孔，所述转轴件穿过转轴孔与挂杆连接，转架旋转的同时通过带有从动齿轮组的转轴件带动挂杆转动，使挂杆上的工件与镀膜材料更均匀的接触，本实用新型专利技术具有镀膜更加均匀和镀膜质量更好的优点

【技术实现步骤摘要】
一种多弧磁控镀膜机的转架


[0001]本技术涉及转动装置
，尤其是涉及一种多弧磁控镀膜机的转架
。

技术介绍

[0002]磁控溅射是真空镀膜的重要方法之一，磁控溅射需要在一定的温度和一定的真空度下进行，磁控溅射的工作原理是指电子在电场
E
的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出
Ar
正离子和新的电子；新电子飞向基片，
Ar
离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射
。
在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜
。
现有的磁控溅射主要是通过多弧磁控镀膜机来完成，多弧磁控镀膜机主要由真空抽气系统
、
镀膜筒体
、
设置在镀膜筒体内的工件转架以及磁控溅射装置，在镀膜前先将待加工的工件悬挂在镀膜筒体内的工件转架上，镀膜过程中工件转架随着设备的运行转动，从而达到镀膜的目的
。
[0003]而现有的工件转架上还设置有挂杆，挂杆固定设置于工件转架上，将工件悬挂在挂杆上随工件转架转动进行镀膜操作，仅通过工件转架旋转而挂杆固定，磁控溅射装置无法均匀的将镀膜材料溅射在工件的每个面，这种结构会有镀膜不均匀
、
镀膜质量差的问题
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了克服现有技术存在的缺点和不足，而提供一种多弧磁控镀膜机的转架，本技术具有镀膜更加均匀和镀膜质量更好的优点
。
[0005]本技术所采取的技术方案如下：一种多弧磁控镀膜机的转架，用于镀膜筒体内部悬挂工件，包括下转盘
、
上转盘和若干根挂杆，所述上转盘和下转盘之间设有若干根支撑杆，所述上转盘通过支撑杆连接于下转盘上方，所述挂杆设置在上转盘和下转盘之间；
[0006]还包括有转动支撑板，所述下转盘底部设有若干个转架支撑轮，所述下转盘通过转架支撑轮转动连接在转动支撑板上，所述下转盘与转动支撑板之间设有固定齿轮和若干组从动齿轮组，所述固定齿轮固定连接在转动支撑板上，所述从动齿轮组与固定齿轮啮合传动，所述从动齿轮组上设有转轴件，所述下转盘上设有供转轴件穿过的转轴孔，所述转轴件穿过转轴孔与挂杆连接
。
[0007]优选的，所述从动齿轮组包括第一齿轮
、
第二齿轮和第三齿轮，所述第一齿轮
、
第二齿轮和第三齿轮上均设有转轴件
。
[0008]优选的，所述第一齿轮与固定齿轮啮合传动，所述第二齿轮和第三齿轮分别与第一齿轮啮合传动，且第二齿轮和第三齿轮分别设置在第一齿轮的两侧，所述第一齿轮随固定齿轮旋转时，第一齿轮带动第二齿轮和第三齿轮旋转
。
[0009]优选的，所述转轴件与挂杆之间设有使挂杆能随转轴件转动的联动装置，所述联动装置包括设置于转轴件上供挂杆伸入的圆槽以及设置于挂杆上与圆槽相适配的联动部
。
[0010]优选的，所述联动装置还包括有设置于挂杆上的卡接杆以及设置于转轴件上供卡接杆卡接配合的卡接部，所述卡接杆设置在挂杆的侧壁上且卡接杆的轴心与联动部轴心垂
直，当挂杆的联动部伸入转轴件的圆槽时，所述卡接杆随挂杆与卡接部卡接配合
。
[0011]优选的，镀膜筒体底部设置有驱动电机，所述下转盘底部设有转架转动轴和转动轴连接套，所述转架转动轴一端通过转动轴连接套与下转盘连接，且另一端与驱动电机连接
。
[0012]优选的，所述下转盘底部设置有转盘加强筋
。
[0013]优选的，所述下转盘顶部设置有衬板
。
[0014]本技术的有益效果如下：转架旋转的同时通过带有从动齿轮组的转轴件带动挂杆转动，使挂杆上的工件与镀膜材料更均匀的接触，更精准的控制膜层厚度，本技术具有镀膜更加均匀和镀膜质量更好的优点
。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，根据这些附图获得其他的附图仍属于本技术的范畴
。
[0016]图1为本技术与镀膜筒体组合的结构示意图；
[0017]图2为本技术与镀膜筒体组合的正面结构示意图；
[0018]图3为本技术转架的结构示意图；
[0019]图4为本技术去除衬板的结构示意图；
[0020]图5为图4的
A
处放大结构示意图；
[0021]图6为本技术中转动支撑板的结构示意图；
[0022]图7为本技术转架另一个角度的结构示意图；
[0023]图中，1‑
镀膜筒体，2‑
下转盘，3‑
上转盘，4‑
支撑杆，5‑
挂杆，6‑
转动支撑板，7‑
转架支撑轮，8‑
固定齿轮，9‑
从动齿轮组，
10
‑
转轴件，
11
‑
转轴孔，
12
‑
第一齿轮，
13
‑
第二齿轮，
14
‑
第三齿轮，
15
‑
圆槽，
16
‑
联动部，
17
‑
卡接杆，
18
‑
卡接部，
19
‑
驱动电机，
20
‑
转架转动轴，
21
‑
转动轴连接套，
22
‑
转盘加强筋，
23
‑
衬板
。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述
。
[0025]需要说明的是，本技术实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本技术实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明
。
[0026]本技术所提到的方向和位置用语，例如
「
上
」、「
下
」、「
前
」、「
后
」、「
左
」、「
右
」、「
内
」、「
外
」、「
顶部
」、「
底部
」、「
侧面
」
等，仅是参考附图的方向或位置
。
因此，使用的方向和位置用语是用以说明及理解本技术，而非对本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种多弧磁控镀膜机的转架，用于镀膜筒体（1）内部悬挂工件，其特征在于：包括下转盘（2）
、
上转盘（3）和若干根挂杆（5），所述上转盘（3）和下转盘（2）之间设有若干根支撑杆（4），所述上转盘（3）通过支撑杆（4）连接于下转盘（2）上方，所述挂杆（5）设置在上转盘（3）和下转盘（2）之间；还包括有转动支撑板（6），所述下转盘（2）底部设有若干个转架支撑轮（7），所述下转盘（2）通过转架支撑轮（7）转动连接在转动支撑板（6）上，所述下转盘（2）与转动支撑板（6）之间设有固定齿轮（8）和若干组从动齿轮组（9），所述固定齿轮（8）固定连接在转动支撑板（6）上，所述从动齿轮组（9）与固定齿轮（8）啮合传动，所述从动齿轮组（9）上设有转轴件（
10
），所述下转盘（2）上设有供转轴件（
10
）穿过的转轴孔（
11
），所述转轴件（
10
）穿过转轴孔（
11
）与挂杆（5）连接
。2.
根据权利要求1所述的一种多弧磁控镀膜机的转架，其特征在于：所述从动齿轮组（9）包括第一齿轮（
12
）
、
第二齿轮（
13
）和第三齿轮（
14
），所述第一齿轮（
12
）
、
第二齿轮（
13
）和第三齿轮（
14
）上均设有转轴件（
10
）
。3.
根据权利要求2所述的一种多弧磁控镀膜机的转架，其特征在于：所述第一齿轮（
12
）与固定齿轮（8）啮合传动，所述第二齿轮（
13
）和第三齿轮（
14
）分别与第一齿轮（
12
）啮合传动，且第二齿轮（
13
）和第三齿轮（
14
）分别设置在第一齿轮（
12
）的两侧，所述第一齿轮（
12
）随固定齿轮（8）旋转时，第一齿轮（
12
）带动第二齿轮（
13
）和第三齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵中红，张晓东，赵中明，
申请(专利权)人：温州驰诚真空机械有限公司，
类型：新型
国别省市：