振膜及包括该振膜的电容麦克风制造技术

技术编号:3986054 阅读:254 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种振膜,其包括振动部和与振动部相连的支撑部,所述支撑部与振动部通过凸出于振动部外周的凸块连接,且振动部与支撑部之间有第一缝隙,支撑部包括位于振动部外周且与凸块分离的支撑梁、与凸块相连的扭转梁和与支撑梁相连的固定梁,固定梁与扭转梁之间有第二缝隙。该种振膜可以释放振膜在沉积过程中所形成的应力。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种振膜,其包括振动部和与振动部相连的支撑部,所述支撑部与振动部通过凸出于振动部外周的凸块连接,且振动部与支撑部之间有第一缝隙,其特征在于:支撑部包括位于振动部外周且与凸块分离的支撑梁、与凸块相连的扭转梁和与支撑梁相连的固定梁,固定梁与扭转梁之间有第二缝隙。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨斌张睿
申请(专利权)人:瑞声声学科技深圳有限公司瑞声微电子科技常州有限公司
类型:发明
国别省市:94[中国|深圳]

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