一种晶圆装载治具的流通控制系统和控制方法技术方案

本发明专利技术提供一种晶圆装载治具的流通控制系统和控制方法，包括治具点检单元，治具点检单元通过手持PDA用户端对治具进行点检，然后将合格的治具信息录入，并保存至MES生产管理数据库中；设备治具读取模块通过晶圆生产设备读取所采用的治具ID，并将该治具ID传输至MES生产管理系统中；设备治具读取模块识别的治具ID与MES生产管理数据库中的数据进行核对，判断治具异常情况。本发明专利技术采用治具点检单元、设备治具读取模块和数据分析模块实现对具有流通性的治具进行了记录，并且能够有效识别存在异常的治具，防止异常治具流入设备进行生产的效果，保证了整体生产流程的稳定性。保证了整体生产流程的稳定性。保证了整体生产流程的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆装载治具的流通控制系统和控制方法


[0001]本专利技术涉及半导体领域，尤其是涉及晶圆治具领域，具体为一种晶圆装载治具的流通控制系统和控制方法。

技术介绍

[0002]晶圆的装载治具流通性强，使用频率高，出现磨损或表面静电失效的现象频繁发生，但是，由于治具属于流通治具，无法准确的计算治具的实时库存和状态，导致异常的治具不能在第一时间点检到位，进而影响后期的购买的计划，主要存在以下几个情况：
[0003]1、晶圆装载治具属于流通治具，存在遗漏点检/重复点检的治具被持续使用的现象；
[0004]2、人为进行晶圆厚度、装载治具的纸质表格登记，存在记录失误、信息遗漏的现象；
[0005]3、纸质记录导致设备无法第一时间确认异常治具，设备误生产的现象持续存在，从而造成作业中装载的晶圆drop的大型品质事故发生。

技术实现思路

[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种晶圆装载治具的流通控制系统和控制方法，用于解决现有技术的难点。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种晶圆装载治具的流通控制系统和控制方法，包括：
[0008]治具点检单元，所述治具点检单元通过手持PDA用户端1对治具进行点检，然后将合格的治具信息录入，并保存至MES生产管理数据库6中；
[0009]设备治具读取模块，所述设备治具读取模块通过晶圆生产设备读取所采用的治具ID，并将该治具ID传输至MES生产管理系统7中；
[0010]数据分析模块，设备治具读取模块识别的治具ID与MES生产管理数据库6中的数据进行核对，判断治具异常情况。
[0011]根据优选方案，治具点检单元包括：
[0012]PDA用户端1，所述PDA用户端1扫描治具信息；
[0013]PDA服务器2，所述PDA服务器2进行PDA用户端1交互，PDA服务器2接收并存储来自PDA用户端1扫描后获取的数据，PDA服务器2向PDA用户端1发出提示指令；
[0014]EAP系统3，EAP系统3接收来自PDA服务器2的信息传递并将信息存储至EAP数据库4；
[0015]数据传输/检测模块5，所述数据传输/检测模块5，接收来自PDA服务器2的信息进行识别，是否有重复扫描或异常；
[0016]MES生产管理数据库6，所述MES生产管理数据库6接收并存储通过数据传输/检测模块5检验的数据；
[0017]PDA客户端报警模块8，所述数据传输/检测模块5检验不合格的产品反馈至PDA服务器2，PDA服务器2传递命令至PDA用户端1，PDA用户端1触发PDA客户端报警模块8进行报警处理。
[0018]根据优选方案，PDA用户端1、PDA服务器2和数据传输/检测模块5两两之间形成交互。
[0019]根据优选方案，设备治具读取模块包括：
[0020]设备读取治具ID模块9；
[0021]EAP系统3，所述EAP系统3与设备读取治具ID模块9进行数据交互，设备读取治具ID模块9读取的信息传送至EAP系统3中；
[0022]数据处理模块10，所述数据处理模块10将来自EAP系统3中获取的信息进行转化成MES生产管理系统7所能识别的信息，并保存至EAP数据库4；
[0023]MES生产管理系统7，所述MES生产管理系统7内加载MES生产管理数据库6中的信息并进行比较获得结果后输出，检测正常的设备正常作业，检测异常的设备异常报警模块11进行报警。
[0024]根据优选方案，设备读取治具ID模块9、EAP系统3、数据处理模块10和MES生产管理系统7之间产生交互。
[0025]一种晶圆装载治具的控制方法，包括以下步骤：
[0026]步骤S1：对治具外观进行点检，然后将点检的信息录入PDA；
[0027]步骤S2：在PDA中数据传输/检测模块5对点检结果进行判断；
[0028]步骤S3：点检正常的治具ID，进行点检信息的保管，存储至MES生产管理数据库6中；
[0029]步骤S4：将治具放入设备进行作业；
[0030]步骤S5：设备进行治具ID的读取；
[0031]步骤S6：将读取的治具ID信息与已经保存的治具ID进行查找匹配；
[0032]步骤S7：对治具ID点检信息进行判断；
[0033]步骤S8：判断后无问题的治具，设备正常作业；
[0034]步骤S9：判断后存在异常的治具，设备报警；
[0035]步骤S10：对异常治具进行异常问题的处理；
[0036]步骤S11：对异常治具进行处理。
[0037]根据优选方案，步骤S2中，周期内存在重复点检的治具ID，判断发生错误。
[0038]根据优选方案，步骤S11中：
[0039]异常治具处理成功，可重复使用的则再次循环利用；
[0040]异常治具处理失败的，则进行维修或者报废处理。
[0041]本专利技术采用治具点检单元、设备治具读取模块和数据分析模块实现对具有流通性的治具进行了记录，并且能够有效识别存在异常的治具，防止异常治具流入设备进行生产的效果，保证了整体生产流程的稳定性。
[0042]下文中将结合附图对实施本专利技术的最优实施例进行更详尽的描述，以便能容易地理解本专利技术的特征和优点。
附图说明
[0043]图1显示为本专利技术中关于治具点检单元的结构示意图；
[0044]图2显示为本专利技术中关于设备治具读取模块的结构示意图；
[0045]图3显示为本专利技术的流程图；
[0046]标号说明
[0047]1、PDA用户端；2、PDA服务器；3、EAP系统；4、EAP数据库；5、数据传输/检测模块；6、MES生产管理数据库；7、MES生产管理系统；8、PDA客户端报警模块；9、设备读取治具ID模块；10、数据处理模块；11、设备异常报警模块。
具体实施方式
[0048]为了使得本专利技术的技术方案的目的、技术方案和优点更加清楚，下文中将结合本专利技术具体实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。附图中相同的附图标记代表相同的部件。需要说明的是，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0049]与附图所展示的实施例相比，本专利技术保护范围内的可行实施方案可以具有更少的部件、具有附图未展示的其他部件、不同的部件、不同地布置的部件或不同连接的部件等。此外，附图中两个或更多个部件可以在单个部件中实现，或者附图中所示的单个部件可以实现为多个分开的部件。
[0050]除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本专利技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本专利技术专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆装载治具的流通控制系统，其特征在于，包括：治具点检单元，所述治具点检单元通过手持PDA用户端(1)对治具进行点检，然后将合格的治具信息录入，并保存至MES生产管理数据库(6)中；设备治具读取模块，所述设备治具读取模块通过晶圆生产设备读取所采用的治具ID，并将该治具ID传输至MES生产管理系统(7)中；数据分析模块，设备治具读取模块识别的治具ID与MES生产管理数据库(6)中的数据进行核对，判断治具异常情况。2.根据权利要求1所述的晶圆装载治具的流通控制系统，其特征在于，所述治具点检单元包括：PDA用户端(1)，所述PDA用户端(1)扫描治具信息；PDA服务器(2)，所述PDA服务器(2)进行PDA用户端(1)交互，PDA服务器(2)接收并存储来自PDA用户端(1)扫描后获取的数据，PDA服务器(2)向PDA用户端(1)发出提示指令；EAP系统(3)，EAP系统(3)接收来自PDA服务器(2)的信息传递并将信息存储至EAP数据库(4)；数据传输/检测模块(5)，所述数据传输/检测模块(5)，接收来自PDA服务器(2)的信息进行识别，是否有重复扫描或异常；MES生产管理数据库(6)，所述MES生产管理数据库(6)接收并存储通过数据传输/检测模块(5)检验的数据；PDA客户端报警模块(8)，所述数据传输/检测模块(5)检验不合格的产品反馈至PDA服务器(2)，PDA服务器(2)传递命令至PDA用户端(1)，PDA用户端(1)触发PDA客户端报警模块(8)进行报警处理。3.根据权利要求2所述的晶圆装载治具的流通控制系统，其特征在于，所述PDA用户端(1)、PDA服务器(2)和数据传输/检测模块(5)两两之间形成交互。4.根据权利要求3所述的晶圆装载治具的流通...

【专利技术属性】
技术研发人员：董瑞，胡杰，诸敏敏，
申请(专利权)人：海太半导体无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：