光罩吸附装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种光罩吸附装置，包括：固定架和活动架；所述固定架呈框型设置；所述固定架上固定设置有第一吸管和第二吸管；所述第一吸管和第二吸管分别用于吸附同一光罩的不同部位；所述第一吸管连通有真空发生单元，当所述真空发生单元处于工作状态，使所述第一吸管内产生负压；所述活动架与所述第二吸管之间活动连接有弹性单元；所述弹性单元用于当所述活动架与所述第二吸管之间受外力产生相对位移时，将动能转化为弹性势能；并当外力消失时，将部分所述弹性势能转化为动能并同时在第二吸管内产生负压并吸附光罩

【技术实现步骤摘要】
光罩吸附装置


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种光罩吸附装置
。

技术介绍

[0002]在曝光机器里的光罩被用于将图案曝光在晶圆上
。
如图1所示，光罩由石英玻璃层和薄膜层组成，如若在生产中触碰到薄膜层就需要送修，会引起产线控制问题，对整个产品生产线都有影响
。
[0003]当曝光机器关机时，光罩有可能停在掩模台
、
光罩传输模组或集成掩模检测系统
(Integrated Reticle Inspection System
，
IRIS)
，光罩无法自动卸载下来，需要用手拿出，但直接用手搬运光罩时容易导致光罩滑脱掉落
。
因此，亟需一种新型的光罩吸附装置以改善上述问题
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种光罩吸附装置，该装置用于吸附光罩，以便于搬运光罩
。
[0005]第一方面，本技术提供一种光罩吸附装置，其特征在于，包括：固定架和活动架；所述固定架呈框型设置；所述固定架上固定设置有第一吸管和第二吸管；所述第一吸管和第二吸管分别用于吸附同一光罩的不同部位；所述第一吸管连通有真空发生单元，当所述真空发生单元处于工作状态，使所述第一吸管内产生负压；所述活动架与所述第二吸管之间活动连接有弹性单元；所述弹性单元用于当所述活动架与所述第二吸管之间受外力产生相对位移时，将动能转化为弹性势能；并当外力消失时，将部分所述弹性势能转化为动能并同时在第二吸管内产生负压并吸附光罩
。
[0006]本技术的装置有益效果为：本技术通过述第一吸管连通有真空发生单元，当所述真空发生单元处于工作状态，使所述第一吸管内产生负压，实现利用厂务提供的真空发生单元，自动吸附光罩
。
活动架与所述第二吸管之间受外力产生相对位移时，将动能转化为弹性势能；并当外力消失时，将部分所述弹性势能转化为动能并同时在第二吸管内产生负压并吸附光罩，实现利用弹性单元手动产生真空，以吸附光罩
。
本技术通过设置的实现多种方式产生真空以吸附光罩，避免光罩掉落，确保产量，维护生产安全
。
[0007]可选的，所述真空发生单元还包括泄真空阀，当所述泄真空阀开启时，所述第一吸管内的气压为正压，所述第一吸管释放光罩；当所述泄真空阀关闭时，所述第一吸管内的气压为负压，所述第一吸管并吸附光罩；所述泄真空阀设于所述活动架上，所述泄真空阀通过柔性真空管与所述第一吸管连通
。
[0008]可选的，所述第一吸管还连通有真空表，用于实时监测所述第一吸管吸附光罩时的气压；当第一吸管吸附所述光罩，且所述气压低于第一阈值时，所述弹性单元保持受压状态，弹性单元内和第二吸管内的气压均为负压，以使所述第二吸管持续吸附所述光罩
。
[0009]可选的，所述弹性单元包括弹簧和活塞；所述弹簧的第一端与所述第二吸管相对
固定，所述弹簧的第二端与所述活动架相对固定；所述第二吸管的内壁与所述活塞滑动连接；当所述弹性单元处于受压状态后，所述弹簧受力压缩，所述活塞移动至第一位置，第二吸管内的气压上升，第二吸管释放所述光罩；当所述弹簧伸展回弹，所述活塞移动至第二位置，第二吸管内的气压下降，第二吸管吸附所述光罩
。
[0010]可选的，所述弹性单元的数量设置为
N
，
N
为任意正整数；所述活动架与
N
个活塞连接；所述固定架与
N
个第二吸管连接
。
[0011]可选的，还包括限位销，所述限位销连接所述固定架或所述活动架，用于限位所述活动架相对于所述固定架的行程
。
[0012]可选的，所述活动架设有第一把手，固定架设有第二把手；所述第一把手和所述第二把手均用于提供抓握受力点，以使活动架向固定架靠近；所述第一把手与所述第二把手的间距范围为
(0
，
20)
厘米
。
[0013]可选的，还包括真空气路，所述真空气路与所述第一吸管连接；所述真空气路与
M
个所述第一吸管连接，
M
为任意正整数
。
[0014]可选的，还包括真空总阀，所述真空总阀设于所述真空发生单元与所述真空表之间；所述真空总阀用于控制所述真空发生单元是否向所述第一吸管提供负压
。
[0015]可选的，所述第一吸管和所述第二吸管均设有真空皮圈；所述装置吸附光罩时，所述真空皮圈的底端面与所述光罩的顶端面贴合
。
附图说明
[0016]图1为本现有技术中的一种光罩的结构示意图；
[0017]图2为本技术提供的一种光罩吸附装置的立体结构示意图；
[0018]图3为本技术提供的一种弹性单元的剖面示意图；
[0019]图4为本技术提供的一种光罩吸附装置从卡盘内吸附光罩的结构示意图
。
[0020]图中标号：
[0021]110、
活动架；
111、
第一把手；
120、
固定架；
121、
第二把手；
130、
光罩；
140、
限位销；
201、
第一吸管；
202、
第二吸管；
203、
真空发生单元；
204、
泄真空阀；
205、
复位件；
206、
柔性真空管；
207、
真空皮圈；
208、
真空表；
209、
真空气路；
210、
真空总阀；
211、
连接座；
212、
真空开关；
300、
弹性单元；
301、
弹簧；
302、
活塞；
400、
卡盘
。
具体实施方式
[0022]为使本技术的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义
。
本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件
。
[0023]针对现有技术存在的问题，如图2所示，本技术提供了一种光罩吸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种光罩吸附装置，其特征在于，包括：固定架和活动架；所述固定架呈框型设置；所述固定架上固定设置有第一吸管和第二吸管；所述第一吸管和第二吸管分别用于吸附同一光罩的不同部位；所述第一吸管连通有真空发生单元，当所述真空发生单元处于工作状态，使所述第一吸管内产生负压；所述活动架与所述第二吸管之间活动连接有弹性单元；所述弹性单元用于当所述活动架与所述第二吸管之间受外力产生相对位移时，将动能转化为弹性势能；并当外力消失时，将部分所述弹性势能转化为动能并同时在第二吸管内产生负压
。2.
根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述真空发生单元还包括泄真空阀，当所述泄真空阀开启时，所述第一吸管内的气压为正压，所述第一吸管释放光罩；当所述泄真空阀关闭时，所述第一吸管内的气压为负压，所述第一吸管并吸附光罩；所述泄真空阀设于所述活动架上，所述泄真空阀通过柔性真空管与所述第一吸管连通
。3.
根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一吸管还连通有真空表，用于实时监测所述第一吸管吸附光罩时的气压；当第一吸管吸附所述光罩，且所述气压低于第一阈值时，所述弹性单元保持受压状态，弹性单元内和第二吸管内的气压均为负压，以使所述第二吸管持续吸附所述光罩
。4.
根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述弹性单元包括弹簧和活塞；所述弹簧的第一端与所述第二吸管连接，所述弹簧的第二端与所述活动架连接；所述第二吸管的内壁与所述活塞滑动连接；当所述弹性单元处于受压状态后，所述弹簧受力压缩，所述活塞移动至第一位置，第二吸管内的气压上升，第二吸管释放所述光罩；当所述弹簧伸展回弹，所述活塞...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢世明，林雪武，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：