涂布工作台及狭缝涂布装置制造方法及图纸

本申请公开了一种涂布工作台及狭缝涂布装置；涂布工作台包括载台和升降支撑柱；载台包括水平涂布区，水平涂布区沿涂布方向依次包括预涂区

【技术实现步骤摘要】
涂布工作台及狭缝涂布装置


[0001]本申请涉及加工
，具体涉及一种涂布工作台及狭缝涂布装置
。

技术介绍

[0002]狭缝涂布是形成薄膜常用的一种涂布方式
。
而采用狭缝涂布工艺形成薄膜的过程中，在起刀位置和收刀位置形成的膜层的厚度与中心区域的的膜层的厚度不一致
。

技术实现思路

[0003]本申请提供的涂布工作台及狭缝涂布装置，以改善涂布膜层厚度的均一性
。
[0004]为了解决上述技术问题，本申请提供的第一个技术方案为：提供一种涂布工作台，包括载台和升降支撑柱；所述载台包括水平涂布区，所述水平涂布区沿涂布方向依次包括预涂区
、
匀涂区和收尾区；所述匀涂区分别与所述预涂区
、
所述收尾区隔断；所述升降支撑柱设于所述匀涂区的一侧，所述升降支撑柱包括承载面，所述承载面用于承载待涂布件，所述升降支撑柱带动所述待涂布件在所述匀涂区垂直升降
。
[0005]在一实施方式中，所述匀涂区设有容置槽；所述升降支撑柱设置在所述容置槽的底壁，且沿着所述容置槽的深度方向垂直升降；优选地，所述容置槽的槽口面为所述匀涂区，所述匀涂区在所述涂布方向上的宽度占所述水平涂布区的总宽度的
50
％以上；优选地，所述匀涂区在所述涂布方向上的宽度占所述水平涂布区的总宽度的
60
％以上；优选地，所述匀涂区在所述涂布方向上的宽度占所述水平涂布区的总宽度的
70
％以上；优选地，所述匀涂区在所述涂布方向上的宽度占所述水平涂布区的总宽度的
80
％
。
[0006]在一实施方式中，所述容置槽的槽口面面积与所述水平涂布区面积的比值大于等于
80
％；优选地，所述预涂区沿所述涂布方向的宽度为
10mm
‑
15mm
，和
/
或所述收尾区沿所述涂布方向的宽度为
5mm
‑
20mm。
[0007]在一实施方式中，还包括基座；所述载台可拆卸安装于所述基座；优选地，所述基座靠近所述载台的一侧表面设有安装槽；所述载台还包括与所述水平涂布区相对设置的安装面，所述安装面设有避让槽；所述安装槽侧壁置于所述避让槽内
。
[0008]为了解决上述技术问题，本申请提供的第二个技术方案为：提供一种狭缝涂布装置，包括：上述任一项所述的涂布工作台和狭缝组件；所述狭缝组件被配置为能够相对于所述涂布工作台的水平涂布区滑动，所述狭缝组件用于对置于所述涂布工作台的承载面上的待涂布件的涂布面进行涂布
。
[0009]在一实施方式中，还包括清洁组件；所述清洁组件包括吸嘴，所述吸嘴用于吸除所述狭缝组件涂布作业后所述水平涂布区上的残留液体；所述吸嘴被配置为能够相对于所述涂布工作台相对滑动；优选地，所述清洁组件还包括集液槽，所述吸嘴与所述集液槽连通
。
[0010]在一实施方式中，所述清洁组件还包括吸附件，所述吸附件被配置为能够相对于所述涂布工作台滑动；所述吸附件用于在所述吸嘴吸除所述水平涂布区上的残留液体之后对所述水平涂布区进行擦拭
。
[0011]在一实施方式中，还包括找平组件，所述找平组件安装于所述基座和
/
或所述载台；所述找平组件用于确认所述待涂布件的涂布面与所述水平涂布区是否齐平；优选地，所述找平组件包括激光发射器，所述激光发射器用于发射激光
。
[0012]在一实施方式中，还包括加热组件，用于对经过所述狭缝组件涂布的待涂布件进行烘烤退火
。
[0013]在一实施方式中，所述狭缝组件用于对置于所述涂布工作台的承载面上的待涂布件表面涂布钙钛矿薄膜或空穴传输薄膜或电子传输薄膜
。
[0014]本申请的有益效果：区别于现有技术，本申请公开了一种涂布工作台及狭缝涂布装置；涂布工作台包括载台和升降支撑柱；载台包括水平涂布区，水平涂布区沿涂布方向依次包括预涂区
、
匀涂区和收尾区，匀涂区分别与预涂区
、
收尾区隔断；升降支撑柱设于匀涂区的一侧，升降支撑柱包括承载面，承载面用于承载待涂布件，升降支撑柱带动待涂布件在匀涂区垂直升降
。
使用上述提供的涂布工作台进行涂布，涂布作业在预涂区起刀，涂布作业在收尾区收刀，使得待涂布件表面的膜层厚度不受起刀和落刀液量的影响，明显改善了涂布膜层厚度的均一性
。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图
。
[0016]图1是本申请提供的涂布工作台第一实施例的结构示意图；
[0017]图2是图1所示的涂布工作台的俯视结构示意图；
[0018]图3是图1所示的涂布工作台放有待涂布件的结构示意图；
[0019]图4是本申请提供的涂布工作台第二实施例的结构示意图；
[0020]图5是本申请实施例提供的狭缝涂布装置的结构示意图
。
具体实施方式
[0021]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围
。
[0022]以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构
、
接口
、
技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请
。
[0023]本申请中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量
。
由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征
。
本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定
。
本申请实施例中所有方向性指示
(
诸如上
、
下
、
左
、
右
、
前
、
后
……
)
仅用于解释在某一特定姿态
(
如附图所示
)
下各部件之间的相对位置关系
、
运动情况等，如果所述特定姿态发生改变时，则所述方向性指示也相应地随
之改变
。
本申请实施例中的术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含
。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种涂布工作台，其特征在于，包括：载台，包括水平涂布区，所述水平涂布区沿涂布方向依次包括预涂区
、
匀涂区和收尾区；所述匀涂区分别与所述预涂区
、
所述收尾区隔断；升降支撑柱，设于所述匀涂区的一侧，所述升降支撑柱包括承载面，所述承载面用于承载待涂布件，所述升降支撑柱带动所述待涂布件在所述匀涂区垂直升降
。2.
根据权利要求1所述的涂布工作台，其特征在于，所述匀涂区设有容置槽；所述升降支撑柱设置在所述容置槽的底壁，且沿着所述容置槽的深度方向垂直升降；优选地，所述容置槽的槽口面为所述匀涂区，所述匀涂区在所述涂布方向上的宽度占所述水平涂布区的总宽度的
50
％以上；优选地，所述匀涂区在所述涂布方向上的宽度占所述水平涂布区的总宽度的
60
％以上；优选地，所述匀涂区在所述涂布方向上的宽度占所述水平涂布区的总宽度的
70
％以上；优选地，所述匀涂区在所述涂布方向上的宽度占所述水平涂布区的总宽度的
80
％
。3.
根据权利要求2所述的涂布工作台，其特征在于，所述容置槽的槽口面面积与所述水平涂布区面积的比值大于等于
80
％；优选地，所述预涂区沿所述涂布方向的宽度为
10mm
‑
15mm
，和
/
或所述收尾区沿所述涂布方向的宽度为
5mm
‑
20mm。4.
根据权利要求1所述的涂布工作台，其特征在于，还包括基座；所述载台可拆卸安装于所述基座；优选地，所述基座靠近所述载台的一侧表面设有安...

【专利技术属性】
技术研发人员：高薇，吕奎，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：