具备空冷式冷却装置的离子束源制造方法及图纸

本发明专利技术的具备空冷式冷却装置的离子束源包括：磁极部；与磁极部分开距离，内部设有冷却配管的电极部；一侧连接于冷却配管的冷却配管入口的吸气配管；一侧连接于冷却配管的冷却配管出口的排气配管；一侧连接于吸气配管的另一侧或者排气配管的另一侧，进而使空气沿着冷却配管强制移动的空气泵。配管强制移动的空气泵。配管强制移动的空气泵。

【技术实现步骤摘要】
具备空冷式冷却装置的离子束源


[0001]本专利技术涉及离子束源，具体是，利用空气冷却电极部的具备空冷式冷却装置的离子束源。

技术介绍

[0002]离子束源(ion beamsource)广泛用于基板改进、薄膜沉积、表面蚀刻等工艺中。离子束源是以利用电极部和磁极部形成封闭环(closed drift loop)，并沿着该环将电子高速移动的结构形成,在电子移动的封闭环内连续提供用于离子生成的工艺气体。
[0003]美国专利7,425,709公开了现有的一种离子束源，现有的离子束源由于给电极部供电，因此电极部会大量产生热量。为了冷却这些热量，现有的离子束源采用的是所谓的水冷式冷却方法，即在电极部内部形成冷却水(水)流动的冷却配管，使冷却水(水)移动。
[0004]但是，为了给电极部内部供给冷却水(水)，仅限于具备冷却水供给线路的场所才能运行装置，或者需配备冷却器等独立的冷却装置。另外，当离子束源内的冷却配管与电极部绝缘时，需要独立的绝缘部，因此不仅增加了离子束源的制造成本，在绝缘问题上也存在一些难度。
[0005][在先专利][0006]1、美国专利注册第7，425，709号；
[0007]2、韩国专利注册第10
‑
1566384号；
[0008]3、韩国专利注册第10
‑
2367377号。

技术实现思路

[0009]技术问题
[0010]本专利技术为解决这些现有技术上存在的问题，提供一种具有空冷式冷却装置的离子束源，通过其可以解决：
[0011]第一、可以从根本上解决离子束源的电极部中冷却上存在的绝缘问题；
[0012]第二、在没有独立冷却水供给设施的空间可以顺利驱动离子束源；
[0013]第三、离子束源上设置冷却装置，从而减少成本的上升。
[0014]技术方案
[0015]为实现所述目的，本专利技术的具备空冷式冷却装置的离子束源，包括：磁极部、电极部、吸气配管、排气配管、空气泵等。
[0016]优选地，磁极部是一侧开放，另一侧封闭，磁极在所述开放一侧被交替分开距离布置，封闭的另一侧连接于磁芯，在所述开放一侧形成等离子体电子的加速闭环。
[0017]优选地，电极部是与磁极部分开设置于加速闭环的下部，内部具备冷却配管。
[0018]优选地，吸气配管是一侧连接于冷却配管的冷却配管入口。
[0019]优选地，排气配管是一侧连接于冷却配管的冷却配管出口。
[0020]空气泵是一侧连接于吸气配管的另一侧或排气配管的另一侧，可以使空气沿着冷
却配管强制移动。
[0021]根据本专利技术的具备空冷式冷却装置的离子束源，空气泵包括气缸、活塞、旋转轴部、连杆、旋转部、吸气阀、排气阀等，连接于排气配管。
[0022]优选地，气缸是一侧具备连接于排气配管另一侧的抽吸气口，另一侧连通于外部。
[0023]优选地，活塞是将气缸内部封住的同时沿着气缸内面在长度方向上滑动，并具备沿厚度方向贯通的抽排气口。
[0024]优选地，旋转轴部可以结合于活塞外侧。
[0025]优选地，连杆的一侧与旋转轴部轴结合。
[0026]优选地，旋转部是与连杆的另一侧轴结合，可以边旋转边使连杆直线移动
[0027]优选地，吸气阀是与抽吸气口结合，当活塞与抽吸气口远离时，使排气配管的内部空气选择性地流入气缸内部。
[0028]优选地，排气阀是与抽排气口结合，当活塞向抽吸气口靠近时，将气缸的内部空气通过抽排气口选择性地排出到外部。
[0029]根据本专利技术的具备空冷式冷却装置的离子束源，空气泵包括气缸、活塞、旋转轴部、连杆、旋转部、吸气阀、排气阀等，连接于吸气配管。
[0030]优选地，气缸是一侧具备连接于吸气配管另一侧的抽排气口，另一侧连通于外部。
[0031]活塞是将气缸内部封住的同时沿着气缸内面在长度方向上滑动，并具备沿厚度方向贯通的抽排气口。
[0032]优选地，旋转轴部可以结合于活塞外侧。
[0033]优选地，连杆的一侧可与旋转轴部轴结合。
[0034]优选地，旋转部是与连杆的另一侧轴结合，边旋转边使连杆直线移动。
[0035]优选地，吸气阀是与抽吸气口结合，当活塞与抽排气口远离时，使外部空气选择性地流入气缸内部。
[0036]优选地，排气阀是与抽排气口结合，当活塞与抽排气口靠近时，将气缸的内部空气选择性地排出至吸气配管。
[0037]根据本专利技术的具备空冷式冷却装置的离子束源，空气泵包括曲面面板、隔膜、旋转轴部、连杆、旋转部、吸气阀、排气阀等，可以连接于排气配管。
[0038]优选地，曲面面板在在一侧方向上具备密封凹陷部，另一侧方向开放，连接于排气配管另一侧的抽吸气口和连通于外部的抽排气口分开距离设置于密封凹陷部。
[0039]优选地，隔膜是沿着曲面面板的边缘结合，在与曲面面板的密封凹陷部之间形成密封空间，随着与密封凹陷部变得远离或靠近，使密封空间的大小发生变化。
[0040]优选地，旋转轴部与隔膜外面结合。
[0041]优选地，连杆的一侧可以与旋转轴部轴结合。
[0042]优选地，旋转部是与连杆的另一侧轴结合，边旋转边使连杆直线移动。
[0043]优选地，吸气阀是与抽吸气口结合，当隔膜与曲面面板远离时，使排气配管的内部空气选择性地流入密封空间。
[0044]优选地，排气阀是与抽排气口结合，当隔膜与曲面面板靠近时，将密封空间的内部空气选择性地排出至外部。
[0045]根据本专利技术的具备空冷式冷却装置的离子束源，空气泵包括曲面面板、隔膜、旋转
轴部、连杆、旋转部、吸气阀、排气阀等，可以连接于吸气配管。
[0046]优选地，曲面面板在在一侧方向上具备密封凹陷部，另一侧方向开放，连接于吸气配管另一侧的抽排气口和连通于外部的抽吸气口分开距离设置于密封凹陷部。
[0047]优选地，隔膜是沿着曲面面板的边缘结合，在与曲面面板的密封凹陷部之间形成密封空间，随着与密封凹陷部变得远离或靠近，使密封空间的大小发生变化。
[0048]优选地，旋转轴部可以与隔膜外面结合。
[0049]优选地，连杆的一侧可以与旋转轴部轴结合。
[0050]优选地，旋转部是与连杆的另一侧轴结合，边旋转边使连杆直线移动。
[0051]优选地，吸气阀是与抽吸气口结合，当隔膜与曲面面板远离时，使外部空气选择性地流入密封空间。
[0052]优选地，排气阀是与抽排气口结合，当隔膜与曲面面板靠近时，将密封空间的内部空气选择性地排出至吸气配管。
[0053]根据本专利技术的具备空冷式冷却装置的离子束源，空气泵包括波纹管、旋转轴部、连杆、旋转部、吸气阀、排气阀等，可以连接于排气配管。
[0054]优选地，波纹管是连接于排气配管另一侧的抽吸气口和连通于外部的抽排气口分开距离设置于其一侧，沿着长度方向收缩及膨胀时使内部空间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具备空冷式冷却装置的离子束源，其特征在于，包括：磁极部，其一侧开放，另一侧封闭，磁极在所述开放一侧被交替分开距离布置，所述封闭的另一侧连接于磁芯，在所述开放一侧形成等离子体电子的加速闭环；电极部，其与所述磁极部分开设置于所述加速闭环的下部，内部具备冷却配管；吸气配管，其一侧连接于所述冷却配管的冷却配管入口；排气配管；其一侧连接于所述冷却配管的冷却配管出口；空气泵，其一侧连接于所述吸气配管的另一侧或所述排气配管的另一侧，将空气沿着所述冷却配管强制移动。2.根据权利要求1所述的具备空冷式冷却装置的离子束源，其特征在于，所述空气泵包括：气缸，其一侧具备连接于所述排气配管另一侧的抽吸气口，另一侧连通于外部；活塞，其将所述气缸内部封住的同时沿着所述气缸内面在长度方向上滑动，并具备沿厚度方向贯通的抽排气口；旋转轴部，其结合于所述活塞外侧；连杆，其一侧与所述旋转轴部轴结合；旋转部，其与所述连杆的另一侧轴结合，边旋转边使所述连杆直线移动；吸气阀，其与所述抽吸气口结合，当所述活塞与所述抽吸气口远离时，使所述排气配管的内部空气选择性地流入所述气缸内部；排气阀，其与所述抽排气口结合，当所述活塞向所述抽吸气口靠近时，将所述气缸的内部空气通过所述抽排气口选择性地排出到外部。3.根据权利要求1所述的具备空冷式冷却装置的离子束源，其特征在于，所述空气泵包括：气缸，其一侧具备连接于所述吸气配管另一侧的抽排气口，另一侧连通于外部；活塞，其将所述气缸内部封住的同时沿着所述气缸内面在长度方向上滑动，并具备沿厚度方向贯通的抽排气口；旋转轴部，其结合于所述活塞外侧；连杆，其一侧与所述旋转轴部轴结合；旋转部，其与所述连杆的另一侧轴结合，边旋转边使所述连杆直线移动；吸气阀，其与所述抽吸气口结合，当所述活塞与所述抽排气口远离时，使所述外部空气选择性地流入所述气缸内部；排气阀，其与所述抽排气口结合，当所述活塞向所述抽排气口靠近时，将所述气缸的内部空气选择性地排出至所述吸气配管。4.根据权利要求1所述的具备空冷式冷却装置的离子束源，其特征在于，所述空气泵包括：曲面面板，其在一侧方向上具备密封凹陷部，另一侧方向开放，连接于所述排气配管另一侧的抽吸气口和连通于外部的抽排气口分开距离设置于所述密封凹陷部；隔膜，其沿着所述曲面面板的边缘结合，在与所述曲面面板的密封凹陷部之间形成密封空间，随着与所述密封凹陷部变得远离或靠近，使所述密封空间的大小发生变化；旋转轴部，其与所述隔膜外侧结合；
连杆，其一侧与所述旋转轴部轴结合；旋转部...

【专利技术属性】
技术研发人员：许闰成，太基宽，高贞坤，黄允硕，
申请(专利权)人：发仁首路先株式会社，
类型：发明
国别省市：