一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统，涉及数据处理技术领域，该方法包括：配置目标抛光控制方案；结合镀膜标准与镀膜影响因素，配置因素系数矩阵；通过拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，对其进行压克现象检测，确定压克检测结果，进行分光特性检测，生成特性检测三元组；以因素系数矩阵为限制，结合压克检测结果与特性检测三元组确定补偿寻优约束，进而确定优化抛光控制方案，进行目标分光棱镜的抛光控制

【技术实现步骤摘要】
一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统


[0001]本专利技术涉及数据处理
，具体涉及一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统
。

技术介绍

[0002]由于分光棱镜的分光镀膜层较多，镀膜后会出现批量的压克不良，镀膜表面存在灰尘
、
污点
、
指印等脏污，影响分光棱镜的质量，所以在镀膜前需要进行膜面抛光来减少压克的产生，但目前多使用人工手抛镀膜面，因人工操作的不稳定性和效率低，导致镀膜抛光效果差，作业效率低
。

技术实现思路

[0003]本申请提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统，用于解决现有技术中人工操作分光棱镜镀膜抛光的效率低
、
质量差的技术问题
。
[0004]本申请的第一个方面，提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法，所述方法包括：基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列；对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，生成特性检测三元组，其中，特性检测维度包括透射特性
、
反射特性与偏振特性；以所述因素系数矩阵为限制，结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束，对所述目标抛光控制方案进行补偿调整与寻优分析，确定优化抛光控制方案；基于所述优化抛光控制方案，进行所述目标分光棱镜的抛光控制
。
[0005]本申请的第二个方面，提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法系统，所述系统包括：目标抛光控制方案配置模块，所述目标抛光控制方案配置模块用于基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；因素系数矩阵配置模块，所述因素系数矩阵配置模块用于结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；预测制造棱镜获取模块，所述预测制造棱镜获取模块用于结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；压克检测结果确定模块，所述压克检测结果确定模块用于对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列；特性检测三元组生成模块，所述特性检测三元组生成模块用于对所述预测制造棱镜进行分光特性检测， 生成特性检测三元组，其中，特性检测维度包括透射特性
、
反射特性与偏振特性；优化抛光控制方案确定模块，所述优化
等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序
。
应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施
。
此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程
、
方法
、
系统
、
产品或服务器不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程
、
方法
、
产品或设备固有的其它步骤或模块
。
实施例一
[0013]如图1所示，本申请提供了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法，所述方法包括：
P100
：基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；具体的，根据目标分光棱镜的制造需求，如目标分光棱镜的分光比
、
折射率
、
主截面形状等制造需求，结合抛光设备的设备性能，配置相应的目标抛光控制方案，也就是初始抛光控制方案，包括抛光次数
、
抛光位置
、
抛光角度等设计参数，作为目标分光棱镜的基础抛光控制方案，后续将此方案进行优化调整，来得到最佳的抛光方案
。
[0014]P200
：结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；其中，根据目标分光棱镜的镀膜工艺原理，获取镀膜标准与镀膜影响因素，所述镀膜标准包括标准膜厚
、
膜层数量
、
模料等，所述镀膜影响因素包括温度
、
真空度等环境影响，以及镀膜过程控制的影响，基于镀膜标准与镀膜影响因素，确定目标分光棱镜的镀膜的影响因素特征值，并将其进行矩阵化，得到因素系数矩阵，可以作为目标分光棱镜镀膜的抛光控制参数调整约束，也就是在所述因素系数矩阵的约束下，进行目标分光棱镜镀膜的抛光控制参数调整，以达到镀膜标准，并规避环境等因素的影响
。
[0015]进一步的，本申请实施例步骤
P200
还包括：
P210
：基于镀膜标准，确定一维特征值，所述一维特征值包括膜厚
、
膜料与膜层分布；
P220
：基于所述镀膜影响因素，确定二维特征值，所述二维特征值包括环境影响因素与镀膜控制影响因素；
P230
：以所述镀膜标准与所述镀膜影响因素为矩阵行，以不同制造需求为矩阵列，以所述一维特征值与所述二维特征值为矩阵项，搭建所述因素系数矩阵
。
[0016]在本申请一种可能的实施例中，基于镀膜标准，从镀膜标准维度确定一维特征值，包括膜厚
、
膜料与膜层分布，基于所述镀膜影响因素，从所述镀膜影响因素维度确定二维特征值，包括环境影响因素与镀膜控制影响因素，其中，所述环境影响因素又包括基底温度
、
真空度
、
环境洁净度
、
环境湿度等
。
进一步的，将所述镀膜标准与所述镀膜影响因素作为矩阵行，将不同的分光棱镜制造需求作为矩阵列，将所述一维特征值与所述二维特征值作为矩阵项，构建所述因素系数矩阵，可以作为目标分光棱镜镀膜的抛光控制参数调整约束
。
[0017]P300
：结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；
示例性的，基于数字孪生技术在连接的可视化仿真平台内搭建可视化拟真处理模型，所述可视化拟真处理模型是用来进行目标分光棱镜镀膜的抛光控制模拟的数字模型，可以模拟目标抛光棱镜镀膜抛光的工艺
、
环境
、
抛光效果等，使用所述可视化拟真处理模型，基于所述目标抛光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法，其特征在于，所述方法包括：基于目标分光棱镜的制造需求，配置用于抛光设备的目标抛光控制方案；结合镀膜标准与镀膜影响因素，确定因素特征值并进行矩阵化，配置因素系数矩阵；结合构建的可视化拟真处理模型，对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业，获取预测制造棱镜，所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建；对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述压克检测结果为包括压克现象－压克比例－压克位置－改性限度的检测序列；对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，生成特性检测三元组，其中，特性检测维度包括透射特性
、
反射特性与偏振特性；以所述因素系数矩阵为限制，结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束，对所述目标抛光控制方案进行补偿调整与寻优分析，确定优化抛光控制方案；基于所述优化抛光控制方案，进行所述目标分光棱镜的抛光控制
。2.
如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述配置因素系数矩阵，所述方法包括：基于镀膜标准，确定一维特征值，所述一维特征值包括膜厚
、
膜料与膜层分布；基于所述镀膜影响因素，确定二维特征值，所述二维特征值包括环境影响因素与镀膜控制影响因素；以所述镀膜标准与所述镀膜影响因素为矩阵行，以不同制造需求为矩阵列，以所述一维特征值与所述二维特征值为矩阵项，搭建所述因素系数矩阵
。3.
如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定压克检测结果，所述方法还包括：针对多元化压克现象，配置适配检测方式；基于所述适配检测方式，对所述预测制造棱镜进行压克现象检测，确定检测压克现象并进行压克特征识别提取，结合压克数据库进行映射匹配，确定特征匹配信息；对所述压克现象
、
所述压克特征与所述特征匹配信息进行序列化整合，生成所述压克检测结果
。4.
如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述生成所述压克检测结果，所述方法还包括：对所述预测制造棱镜进行局域性划分，确定多组局域检测窗口，所述多组局域检测窗口对应于所述分光棱镜的多个棱镜面；对所述多组局域检测窗口进行压克现象检测，获取多组压克检测结果；以棱镜面为基准，对所述多组压克检测结果进行综合性分析，确定整体特征状态，所述整体特征状态包括镀膜均匀度
、
表面致密度；基于所述多组压克检测结果与所述整体特征状态，作为所述压克检测结果
。5.
如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，生成特性检测三元组，所述方法还包括：获取所述目标分光棱镜的标准分光特性，基于标准分光特征确定临界特性阈值；配置多元化测试光束，对所述预测制造棱镜进行分光特性检测，确定基于透射特性
、
反射特性与偏振特性的多组检测结果；
对所述多组检测结果进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：张雯，张有良，孙朝平，代洪柱，梁月凤，
申请(专利权)人：中山市光大光学仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：