设备前端模块、其操作方法及包括该模块的基板处理装置制造方法及图纸

本公开提供一种设备前端模块、其操作方法及包括该模块的基板处理装置，可以通过有效地循环惰性气体来有效控制内部湿度。所述设备前端模块包括：模块腔室；侧边存储器，安装在所述模块腔室的第一表面上，所述侧边存储器中能够储存多个基板；惰性气体供应器，向所述模块腔室供应惰性气体；第一排气管线，连接所述侧边存储器和排气装置；以及流速控制器，安装在所述第一排气管线中。所述惰性气体从所述模块腔室通过所述侧边存储器并沿所述第一排气管线流动，所述流速控制器控制通过所述侧边存储器的所述惰性气体的流速。的所述惰性气体的流速。的所述惰性气体的流速。

【技术实现步骤摘要】
设备前端模块、其操作方法及包括该模块的基板处理装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2022年6月15日向韩国知识产权局提交的申请号为10
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2022
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0072749的韩国专利申请的优先权，以及根据35U.S.C.119的规定产生的所有权益，其全部内容通过引用结合在本申请中。


[0003]本公开涉及一种设备前端模块、其操作方法及包括该模块的基板处理装置。

技术介绍

[0004]在制造半导体设备时，在多个处理模块内执行如拍摄、蚀刻、灰化、离子植入、薄膜沉积及清洗等各种工艺。基板被装载在载体上(例如，前开口统一吊舱(Front Opening Unified Pod，FOUP))，以便在多个处理模块之间进一步移动。使用处理模块来处理基板，并使用设备前端模块(Equipment front end module)以在载体之间转移基板。

技术实现思路

[0005]要解决的技术问题
[0006]本公开在设备前端模块的一侧安装作为接口的负载端口(load port)，在设备前端模块的另一侧安装负载锁定装置。设备前端模块包括转移基板的装载/卸载机器人，以及临时存储基板的侧边存储器(side storage)。
[0007]另一方面，当基板暴露在相对较高的湿度、相对较高的氧气(O2)水平和化学污染物水平下时，基板上可能出现各种问题。因此，有必要有效地控制设备前端模块的湿度。
[0008]本公开的方面提供了一种设备前端模块，可以通过有效地循环惰性气体来有效控制内部湿度。
[0009]本公开的方面还提供了一种包括设备前端模块的基板处理装置，所述设备前端模块可以通过有效地循环惰性气体来有效控制内部湿度。
[0010]本公开的方面还提供了一种设备前端模块的操作方法。
[0011]本公开的技术方面并不局限于本文所阐述的内容，其他未提及的技术方面将由本公开所涉及的本领域技术人员通过参考下文给出的本公开的详细描述而清楚地理解。
[0012]解决问题的手段
[0013]根据本公开的一方面(aspect)，提供了一种设备前端模块，包括：模块腔室；侧边存储器，安装在所述模块腔室的第一表面上，所述侧边存储器中能够储存多个基板；惰性气体供应器，向所述模块腔室供应惰性气体；第一排气管线，连接所述侧边存储器和排气装置；以及流速控制器，安装在所述第一排气管线中。所述惰性气体从所述模块腔室通过所述侧边存储器并沿所述第一排气管线流动，所述流速控制器控制通过所述侧边存储器的所述惰性气体的流速。
[0014]根据本公开的一方面，还提供了一种基板处理装置，包括：设备前端模块
(equipment front end module)；负载端口，设置于所述设备前端模块的第一表面上并容纳基板载体；以及负载锁定装置，设置于所述设备前端模块的第二表面上。所述设备前端模块包括：模块腔室；风扇过滤单元，安装于所述模块腔室的上表面；侧边存储器，安装在所述模块腔室的侧表面上，所述侧边存储器中能够储存多个基板；惰性气体供应器，通过所述模块腔室的所述侧表面向所述模块腔室供应惰性气体；第一排气管线，连接所述侧边存储器和排气装置；流速控制器，安装在所述第一排气管线中，并控制所述惰性气体沿所述第一排气管线流动的速度；第二排气管线，连接所述模块腔室的底面和所述排气装置；以及循环管线，与所述第一排气管线和所述第二排气管线相连，并将通过所述第一排气管线和所述第二排气管线传输的所述惰性气体重新供应至所述风扇过滤单元。
[0015]根据本公开的一方面，还提供了一种设备前端模块的操作方法，包括：提供设备前端模块，所述设备前端模块包括：模块腔室；侧边存储器，安装在所述模块腔室的第一表面上，所述侧边存储器中能够储存多个基板；惰性气体供应器，向所述模块腔室供应惰性气体；第一排气管线，连接所述侧边存储器和排气装置；连接管线，连接所述第一排气管线和循环管线；以及三通阀(3way valve)，安装在所述第一排气管线与所述连接管线连接的节点上；当所述三通阀处于第一位置时，允许沿所述第一排气管线流动的所述惰性气体的至少一部分通过所述连接管线和所述循环管线，并被重新供应至所述模块腔室，当所述三通阀处于第二位置时，将沿所述第一排气管线流动的所述惰性气体排放至所述排气装置。
[0016]其他实施例的具体细节包括在详细说明和附图中。
附图说明
[0017]本公开的上述和其他方面及特征将通过参照附图详细描述其示例性实施例而更加明确，其中，
[0018]图1是解释根据本公开部分实施例的基板处理装置的框图；
[0019]图2是解释根据本公开第一实施例的设备前端模块的框图；
[0020]图3是解释图2中示出的侧边存储器的框图；
[0021]图4是解释根据本公开第一实施例的设备前端模块的第一操作的图；
[0022]图5是解释根据本公开第一实施例的设备前端模块的第二操作的图；
[0023]图6是解释根据本公开第一实施例的设备前端模块的第三操作的流程图；
[0024]图7是解释根据本公开第一实施例的设备前端模块的第四操作的流程图；
[0025]图8是解释根据本公开第二实施例的设备前端模块的框图；
[0026]图9是解释根据本公开第三实施例的设备前端模块的框图；
[0027]图10是解释根据本公开第四实施例的设备前端模块的框图；
[0028]图11是解释根据本公开第五实施例的设备前端模块的框图；
[0029]图12及图13是解释根据本公开部分实施例的设备前端模块的效果的视图。
具体实施方式
[0030]下面，将参照附图描述本公开的实施例。本公开的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将从结合附图详细描述的实施例中更加明确。然而，本公开的内容并不限于所公开的实施例，而是可以用各种不同的方式来实现。提供这些实施例只是为了完成本公
开的揭示，并使本领域技术人员能够理解本公开的范畴。本公开是由权利要求书的范畴来定义的。在附图的描述中，同类数字指的是同类元素。
[0031]空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”和“上部(upper)”可以用于方便描述装置或部件与其他装置或部件的关联性。空间相对术语应理解为除了图中所示的方向外，还包括装置在使用或操作中的不同方向的术语。例如，当翻转图中所示的装置时，被描述为另一装置的“下方(below)”或“下面(beneath)”的装置可能被置于另一装置的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括上方和下方这两个方向。装置也可以在其他方向上定向，因此，空间相对术语可以根据方位来解释。
[0032]尽管第一、第二等被用来描述各种元素、部件和/或部分，但这些元素、部件和/或部分显然不受这些术语的限制。这些术语只是用来将一个元素、部件或部分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种设备前端模块，其特征在于，包括：模块腔室；侧边存储器，安装在所述模块腔室的第一表面上，所述侧边存储器中能够储存多个基板；惰性气体供应器，向所述模块腔室供应惰性气体；第一排气管线，连接所述侧边存储器和排气装置；以及流速控制器，安装在所述第一排气管线中，其中，所述惰性气体从所述模块腔室通过所述侧边存储器并沿所述第一排气管线流动，所述流速控制器控制通过所述侧边存储器的所述惰性气体的流速。2.如权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，所述模块腔室包括与所述第一表面不同的第二表面，所述设备前端模块还包括第二排气管线，所述第二排气管线连接所述模块腔室的所述第二表面和所述排气装置。3.如权利要求2所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一排气管线连接至所述第二排气管线，所述惰性气体从所述模块腔室通过所述侧边存储器，沿所述第一排气管线和所述第二排气管线流动，并被排放至所述排气装置。4.如权利要求2所述的设备前端模块，其特征在于，还包括：循环管线，用以将所述惰性气体循环，其中，所述循环管线与所述第一排气管线和所述第二排气管线中的至少一个连接。5.如权利要求4所述的设备前端模块，其特征在于，还包括：风扇过滤单元，安装于所述模块腔室的上表面，其中，所述循环管线将所述第一排气管线和所述第二排气管线连接至所述风扇过滤单元，并且至少一部分沿所述第一排气管线流动的所述惰性气体和至少一部分沿所述第二排气管线流动的所述惰性气体沿所述循环管线流动并被供应至所述风扇过滤单元。6.如权利要求4所述的设备前端模块，其特征在于，在所述第二排气管线中安装有节流阀，并调整所述节流阀的开启速率以控制排出的所述惰性气体的量。7.如权利要求6所述的设备前端模块，其特征在于，在所述节流阀的所述开启速率为第一速率的状态下，所述惰性气体供应器向所述模块腔室供应所述惰性气体，所述惰性气体沿所述第一排气管线和所述第二排气管线中的至少一个从所述模块腔室流动，并被供应至所述循环管线，所述惰性气体沿所述循环管线流动，并被重新供应至所述模块腔室，并且当所述模块腔室的湿度低于或等于目标值时，所述节流阀的所述开启速率被改变为超过所述第一速率的第二速率。8.如权利要求4所述的设备前端模块，其特征在于，还包括：连接管线，连接所述第一排气管线和所述循环管线，
其中，所述第一排气管线和所述连接管线在第一节点处相互连接，并且在所述第一节点处安装有三通阀。9.如权利要求2所述的设备前端模块，其特征在于，所述第一排气管线和所述第二排气管线在第二节点处相互连接，在所述第二节点的后部安装有节流阀，并调整所述节流阀的开启速率以控制沿所述第一排气管线和所述第二排气管线流动并排放至所述排气装置的所述惰性气体的量。10.如权利要求9所述的设备前端模块，其特征在于，循环管线和所述第二排气管线在第三节点处相互连接，并且在所述第三节点和所述第二节点之间安装有开关阀。11.如权利要求1所述的设备前端模块，其特征在于，所述惰性气体供应器通过所述模块腔室的侧壁供应所述惰性气体。12.如权利要求11所述的设备前端模块，其特征在于，在所述模块腔室中安装有压差传感器，其中，基于所述压差传感器的感应值，所述惰性气...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙德铉，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：