【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆盒运输车的旋转角度放大装置及其工作方法
[0001]本专利技术涉及半导体加工
，具体涉及一种用于晶圆盒运输车的旋转角度放大装置及其工作方法
。
技术介绍
[0002]目前在半导体加工领域，晶圆的生产需要在不同的工站进行加工，在各工站的转运过程中，需要将晶圆放置在晶圆盒内，晶圆盒运输车是一种常见的晶圆盒转运设备
。
晶圆盒通常放置在晶圆装载机上，将晶圆盒运输车移动至在晶圆装载机正前方，通过标准接口进行对接，晶圆盒运输车需要在前后工位处分别动作，将晶圆盒从晶圆装载机上取下进行转运；此动作需要晶圆盒运输车存在上
、
下两个极限位置，当取晶圆盒时，晶圆盒运输车需要从下限位转换为上限位，当晶圆盒运输车取出晶圆盒进行转运时，需要从上限位转换为下限位，减少转运时的颠簸，保证晶圆盒处于相对稳定的状态
。
现有设备的方案为在晶圆盒运输车的背部设置转盘与升降机构连接，人工站在晶圆盒运输车背部进行操作，当半导体加工厂现场晶圆装载机摆放距离较近时，预留空间只允许晶圆盒运输车横向进入，人工无法在其背部操作，同时，由于空间限制，侧向旋转把手不能超出晶圆盒运输车框架范围，把手只能在较小的范围内转动，而调整升降机构的偏心轮实际需要的转动角度较大，如果转轴直连偏心轮进行转动，把手会超出晶圆盒运输车框架范围
。
技术实现思路
[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种用于晶圆盒运输车的旋转角度放大装置及其工作方法
。
[0004]...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种用于晶圆盒运输车的旋转角度放大装置，其特征在于，包括：立板（1），所述立板（1）前表面左右两端分别连接有转接板一（3）与转接板二（7），所述立板（1）
、
转接板一（3）与转接板二（7）上端连接有上盖板（2），所述转接板一（3）与转接板二（7）下端连接有底板（
16
），所述转接板一（3）与转接板二（7）之间设置有带座轴承（4），所述带座轴承（4）内部设置有转轴二（
30
），所述转轴二（
30
）中间连接有偏心轮（6），所述转轴二（
30
）两端延伸至内侧的转接板一（3）与转接板二（7）两端，所述转轴二（
30
）左右两端连接有连杆一（
22
），所述连杆一（
22
）上端设置有连杆二（
27
），所述连杆一（
22
）与连杆二（
27
）外侧上端连接有连杆三（
28
），所述连杆一（
22
）与连杆三（
28
）通过销轴一（
20
）连接，所述连杆三（
28
）与连杆二（
27
）通过销轴二（
25
）连接，所述连杆二（
27
）外侧下端连接有转轴一（
13
），所述转轴一（
13
）穿过转接板一（3）与转接板二（7），所述转轴一（
13
）外侧连接有把手转接板（
11
），所述把手转接板（
11
）外侧一周连接有把手（8）
。2.
根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒运输车的旋转角度放大装置，其特征在于：所述转轴一（
13
）与外侧转接板一（3）
、
转接板二（7）连接处设置有轴承一（
12
），所述转轴一（
13
）与内侧转接板一（3）
、
转接板二（7）连接处设置有轴承二（
15
）
。3.
根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒运输车的旋转角度放大装置，其特征在于：所述转轴二（
30
）与偏心轮（6）
、
把手转接板（
11
）与转轴一（
13
）
、
转轴一（
13
）与连杆二（
27
）
、
转轴二（
30
）与连杆一（
22
）连接处设置有平键
。4.
根据权利要求1所述的一种用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡连旭，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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