一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具制造技术

本实用新型专利技术是一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，包括橡胶带和若干个治具本体，橡胶带上中间位置均匀开设有若干安装孔，治具本体包括插接保护圆块，插接保护圆块一端面中心位置设有安装柱，治具本体的安装柱插接在橡胶带的其中一个安装孔内，橡胶带绕设在防护罩产品的侧面孔外壁上且插接保护圆块插接在防护罩产品对应的侧面孔内部

【技术实现步骤摘要】
一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具


[0001]本技术涉及半导体防护罩产品加工的
，尤其涉及一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具
。

技术介绍

[0002]在采用
PVD(
物理气相沉积
)
制成侧面多孔型防护罩产品时，半导体
PVD
制成使用过程中，产品仅部件内部沉积工艺产物，部件侧面孔内壁及部件外部需保持一定的光洁度，避免影响部件工艺使用以及与腔室之间的装配
。
[0003]现在均是采用熔射保护胶布对部件孔侧面的内壁及外部进行遮蔽，易出现胶布保护边缘不齐导致熔射范围超出，保护区域有残胶等问题
。

技术实现思路

[0004]本技术旨在解决现有技术的不足，而提供一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具
。
[0005]本技术为实现上述目的，采用以下技术方案：
[0006]一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，包括橡胶带和若干个治具本体，橡胶带上中间位置均匀开设有若干安装孔，治具本体包括插接保护圆块，插接保护圆块一端面中心位置设有安装柱，治具本体的安装柱插接在橡胶带的其中一个安装孔内，橡胶带绕设在防护罩产品的侧面孔外壁上且插接保护圆块插接在防护罩产品对应的侧面孔内部
。
[0007]安装柱端部设有扩径圆台座，扩径圆台座端部设有锥形头
。
[0008]本技术的有益效果是：本技术的熔射保护治具，采用橡胶与不锈钢组合材质，与防护罩产品的侧孔内壁以及部件外部贴合紧密，遮蔽精度高，安装方便，可反复使用，且治具本体可根据不同产品进行更换，适配多种部件不同孔径及深度情况
。
附图说明
[0009]图1为本技术使用时的示意图；
[0010]图2为本技术中橡胶带的结构示意图；
[0011]图3为本技术中治具本体的结构示意图；
[0012]图4为本技术中防护罩产品的结构示意图；
[0013]图中：1‑
橡胶带；2‑
治具本体；3‑
安装孔；4‑
防护罩产品；
[0014]21
‑
插接保护圆块；
22
‑
安装柱；
23
‑
扩径圆台座；
24
‑
锥形头；
[0015]以下将结合本技术的实施例参照附图进行详细叙述
。
具体实施方式
[0016]以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用
新型，并非用于限定本技术的范围
。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术
。
根据下面说明，本技术的优点和特征将更清楚
。
需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便
、
明晰地辅助说明本技术实施例的目的
。
[0017]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件
。
当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件
。
当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件
。
本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的
。
[0018]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同
。
本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术
。
本文所使用的术语“及
/
或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合
。
[0019]下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明：
[0020]一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，如图1所示，包括橡胶带1和若干个治具本体
2。
[0021]如图2所示，橡胶带1上中间位置均匀开设有若干安装孔3，橡胶带1的长度大于防护罩产品4外侧壁的周长，保证其能绕外壁一周并能交叉连接
。
橡胶带1的厚度为
3mm。
安装孔3的直径为
2mm
，相邻两个安装孔3的距离为
10mm。
[0022]如图3所示，治具本体2采用不锈钢材料加工而成，包括插接保护圆块
21
，插接保护圆块
21
一端面中心位置设有安装柱
22
，治具本体2的安装柱
22
插接在橡胶带1的其中一个安装孔3内，为了防止安装柱
22
脱出，在安装柱
22
端部设置扩径圆台座
23
，为了安装柱
22
的安装，又在扩径圆台座
23
端部设有锥形头
24。
[0023]插接保护圆块
21
的直径与防护罩产品4的侧面孔的内径一致
。
[0024]安装柱
22
的直径为
2mm
，长度为
3mm。
[0025]防护罩产品4的结构如图4所示
。
类似产品都可以采用本技术进行侧面孔内壁熔射时的保护
。
[0026]使用时，如图1所示，橡胶带1绕设在防护罩产品4的侧面孔外壁上，根据侧面孔大小
(
孔深度及孔直径
)
选取合适的不锈钢材质的治具本体2的数量，安装在外部橡胶带1上，治具本体2的插接保护圆块
21
插接在防护罩产品4对应的侧面孔内部
。
[0027]本技术的熔射保护治具，采用橡胶与不锈钢组合材质，与防护罩产品4的侧孔内壁以及部件外部贴合紧密，遮蔽精度高，安装方便，可反复使用，且治具本体2可根据不同产品进行更换，适配多种部件不同孔径及深度情况
。
[0028]上面结合附图对本技术进行了示例性描述，显然本技术具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本技术的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进直接应用于其它场合的，均在本技术的保护范围之内
。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，其特征在于，包括橡胶带
(1)
和若干个治具本体
(2)
，橡胶带
(1)
上中间位置均匀开设有若干安装孔
(3)
，治具本体
(2)
包括插接保护圆块
(21)
，插接保护圆块
(21)
一端面中心位置设有安装柱
(22)
，治具本体
(2)
的安装柱
(22)
插接在橡胶带
(1)
的其中一个安装孔
(3)
内，橡胶带
(1)
绕设在防护罩产品
(4)
的侧面孔外壁上且插接保护圆块
(21)
插接在防护罩产品
(4)
对应的侧面孔内部
。2.
根据权利要求1所述的一种侧面多孔型防护罩产品熔射作业用保护治具，其特征在于，安装柱
(22)
端部设有扩径圆台座
(23)
，扩径圆台座
(23)

【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，贺凯，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：新型
国别省市：