一种插片机用可调节水刀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种插片机用可调节水刀装置，包括支座，所述支座的底部内壁固定连接有固定架，固定架的上表面开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有滑座，滑座的一侧固定连接有拉簧，且拉簧与滑槽相固定，所述滑座的顶部固定连接有固定座，固定座内固定连接有多个水刀本体，多个所述水刀本体的一端均固定连接有连接软管

【技术实现步骤摘要】
一种插片机用可调节水刀装置


[0001]本技术涉及水刀
，尤其涉及一种插片机用可调节水刀装置
。

技术介绍

[0002]插片机主要用于硅片的自动插片，而在对硅片进行插片前，需要使用水刀装置会对硅片进行清洗
。
[0003]经检索，公开号为
CN208643438U
的中国专利，公开了一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身
、
设于刀身内的多个刀孔和蓄水高压装置，所述的刀孔上方与蓄水高压装置贯通连接，喷射流冲洗水压大，冲洗效果好，同时减少直孔槽中的纯水使用量，减少纯水的浪费，降低水刀使用成本，然而仍存在以下缺陷，其水压过小时，由于水刀距离硅片过远，会造成对硅片的清洗造成不彻底
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种插片机用可调节水刀装置
。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种插片机用可调节水刀装置，包括支座，所述支座的底部内壁固定连接有固定架，固定架的上表面开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有滑座，滑座的一侧固定连接有拉簧，且拉簧与滑槽相固定，所述滑座的顶部固定连接有固定座，固定座内固定连接有多个水刀本体，多个所述水刀本体的一端均固定连接有连接软管，所述固定架的两侧均固定连接有水箱，且连接软管与水箱相连通，所述水箱穿过支座，所述水箱的一侧设有多个连接管，所述滑座内设有对滑座进行固定的固定机构
。
[0007]作为本技术再进一步的方案，所述固定机构包括插销，所述滑座内开设有限位槽，所述插销与限位槽滑动连接，所述固定架的上表面开设有多个插口，且插销与插口插接
。
[0008]作为本技术再进一步的方案，所述插销的上表面固定连接有两个弹簧，且弹簧与限位槽相固定
。
[0009]作为本技术再进一步的方案，所述限位槽内固定连接有两个导向杆，且导向杆穿过插销
。
[0010]作为本技术再进一步的方案，所述插销的上表面固定连接有卡环
。
[0011]作为本技术再进一步的方案，所述滑座的一侧固定连接有推块，推块的一侧固定连接有防护垫
。
[0012]作为本技术再进一步的方案，所述固定架的底部开设有多个安装口，多个所述安装口内均设有滤网，所述支座的底部设有收集箱
。
[0013]作为本技术再进一步的方案，所述支座的底部外壁固定连接有多个底脚，多个所述底脚的底部均固定连接有防滑垫
。
[0014]本技术的有益效果为：
[0015]1.
通过固定机构的设置，使固定机构不再对滑座进行固定，此时便可以移动滑座，对水刀的位置进行调节，通过对水刀与硅片之间的距离进行调节，从而使水刀对硅片清洗的更加干净，提高了水刀装置的使用效果
。
[0016]2.
通过滤网和收集箱的配合使用，水刀喷出的水会通过滤网的过滤流入到收集箱内，收集箱对水进行收集，可以对清洗后的水进行重复利用，节省了资源，减少了成本
。
[0017]3.
通过底脚的设置，将水刀装置放置在地面上后，底脚上的防滑垫会与地面相接触，此时防滑垫能够增加底脚与地面之间的摩擦力，使水刀装置放置的更加稳定，提高了水刀装置放置的稳定性
。
附图说明
[0018]图1为本技术提出的一种插片机用可调节水刀装置的立体结构示意图；
[0019]图2为本技术提出的一种插片机用可调节水刀装置的局部放大结构示意图；
[0020]图3为本技术提出的一种插片机用可调节水刀装置的
A
部放大结构示意图
。
[0021]图中：
1、
收集箱；
2、
连接管；
3、
支座；
4、
滤网；
5、
底脚；
6、
固定架；
7、
滑槽；
8、
滑座；
9、
连接软管；
10、
水刀本体；
11、
固定座；
12、
水箱；
13、
拉簧；
14、
导向杆；
15、
弹簧；
16、
限位槽；
17、
卡环；
18、
插销；
19、
插口；
20、
推块；
21、
防护垫
。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0023]参照图1‑
图3，一种插片机用可调节水刀装置，包括支座3，支座3的底部内壁通过螺栓固定有固定架6，固定架6的上表面开设有两个滑槽7，两个滑槽7内均滑动连接有滑座8，滑座8的一侧焊接有拉簧
13
，且拉簧
13
与滑槽7相固定，滑座8的顶部通过螺栓固定有固定座
11
，固定座
11
内通过螺栓固定有多个水刀本体
10
，多个水刀本体
10
的一端均粘接有连接软管9，固定架6的两侧均通过螺栓固定有水箱
12
，且连接软管9与水箱
12
相连通，水箱
12
穿过支座3，水箱
12
的一侧设有多个连接管2，滑座8内设有对滑座8进行固定的固定机构，使固定机构不在对滑座8进行固定，此时在拉簧
13
的作用力下会拉动滑座8沿着滑槽7进行移动，滑座8会带动固定座
11
移动，固定座
11
会带动水刀本体
10
进行移动，当水刀本体
10
移动到合适的位置后，挡住滑座8，通过固定机构对滑座8进行固定，从而对水刀本体
10
的位置进行固定，通过对水刀与硅片之间的距离进行调节，从而使水刀对硅片清洗的更加干净，提高了水刀装置的使用效果
。
[0024]本技术中，固定机构包括插销
18
，滑座8内开设有限位槽
16
，插销
18
与限位槽
16
滑动连接，固定架6的上表面开设有多个插口
19
，且插销
18
与插口
19
插接，插销
18
的上表面焊接有两个弹簧
15
，且弹簧
15
与限位槽
16
相固定，限位槽
16
内通过螺栓固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种插片机用可调节水刀装置，包括支座
(3)
，其特征在于，所述支座
(3)
的底部内壁固定连接有固定架
(6)
，固定架
(6)
的上表面开设有两个滑槽
(7)
，两个所述滑槽
(7)
内均滑动连接有滑座
(8)
，滑座
(8)
的一侧固定连接有拉簧
(13)
，且拉簧
(13)
与滑槽
(7)
相固定，所述滑座
(8)
的顶部固定连接有固定座
(11)
，固定座
(11)
内固定连接有多个水刀本体
(10)
，多个所述水刀本体
(10)
的一端均固定连接有连接软管
(9)
，所述固定架
(6)
的两侧均固定连接有水箱
(12)
，且连接软管
(9)
与水箱
(12)
相连通，所述水箱
(12)
穿过支座
(3)
，所述水箱
(12)
的一侧设有多个连接管
(2)
，所述滑座
(8)
内设有对滑座
(8)
进行固定的固定机构
。2.
根据权利要求1所述的一种插片机用可调节水刀装置，其特征在于，所述固定机构包括插销
(18)
，所述滑座
(8)
内开设有限位槽
(16)
，所述插销
(18)
与限位槽
(16)
滑动连接，所述固定架...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈川南，冯培良，
申请(专利权)人：无锡荣能半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：