本发明专利技术属于半导体元器件加工技术领域，具体涉及一种基于振荡摆风的除尘装置，包括箱体、翻转机构以及风刀模组，翻转机构转动连接于箱体，并被配置为联动工件旋转运动；风刀模组包括离子风刀、直线模组和摆动机构，直线模组被配置为驱动离子风刀相对于工件沿直线往复运动；摆动机构正对翻转机构设置，被配置为联动离子风刀相对于工件在一定角度内循环摆动，以使离子风刀以振荡波形的方式连续向工件表面吹送离子风，通过去除工件表面的静电，以实现对工件进行除尘；本发明专利技术中的工件能够实时进行任意角度翻转，同时通过离子风刀直线往复运动兼顾旋转运动，使得工件表面的各个角度更充分地与离子风接触，以使粉尘去除更彻底。以使粉尘去除更彻底。以使粉尘去除更彻底。
【技术实现步骤摘要】
一种基于振荡摆风的除尘装置
[0001]本专利技术属于半导体元器件加工
，具体涉及一种基于振荡摆风的除尘装置。
技术介绍
[0002]半导体功率模块是电力电子系统的核心部件，具备独立的电能转换功能，随着新能源、轨道交通、智能电网等战略产业的不断升级，对半导体功率模块提出了小型化、模块化、高功率密度的要求。以IGBT模块为例，采用电气功率端子与大功率半导体芯片电路结构通过超声波焊接的方式连接，能够实现原子级别的紧密电接触。
[0003]在半导体功率模块等元器件的加工制造中，由于元器件为金属材质，其表面因附带静电常常吸附粉尘杂质，在元器件的加工工序中必须去除其表面粉尘。在实际应用中专利技术人发现现有技术中至少存在以下技术问题：
[0004]一方面由于功率模块的元器件等工件的结构微小且构型复杂，粉尘常常附着在工件表面或隐藏在工件结构的连接处，清除不方便并且难以清除彻底；另一方面由于元器件的造型结构复杂，元器件往往呈现不规则的结构形状，现有除尘装置在除尘过程中相对于元器件的位置相对固定，只能针对元器件表面同一视角的固定方位进行除尘，导致元器件上其它方位处附着的粉尘不能清除，容易导致元器件连接不牢靠，影响元器件加工质量。
[0005]基于此，有必要对现有技术中存在的缺陷进行改进，以克服在实际应用中的不足。
技术实现思路
[0006]基于现有技术中存在的上述缺点和不足，本专利技术的目的之一是至少解决现有技术中存在的上述问题之一或多个，换言之，本专利技术的目的之一是提供满足前述需求之一或多个的一种基于振荡摆风的除尘装置。
[0007]为了达到上述专利技术目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0008]本专利技术提供一种基于振荡摆风的除尘装置，包括箱体，还包括：
[0009]用于安装工件的翻转机构，所述翻转机构转动连接于所述箱体，并被配置为联动所述工件旋转运动；以及
[0010]风刀模组，所述风刀模组包括离子风刀、直线模组和摆动机构，所述直线模组被配置为驱动所述离子风刀相对于所述工件沿直线往复运动；所述摆动机构正对所述翻转机构设置，被配置为联动所述离子风刀相对于所述工件在一定角度内循环摆动，以使所述离子风刀以振荡波形的方式连续向所述工件表面吹送离子风，通过去除所述工件表面的静电，以实现对所述工件进行除尘。
[0011]作为优选方案，所述摆动机构包括摆臂、驱动部以及旋转轴，所述旋转轴套设于所述离子风刀之内，所述摆臂的一端与所述离子风刀连接，所述摆臂的另一端与所述驱动部连接，所述驱动部用于驱动所述摆臂绕所述旋转轴摆动，用以联动所述离子风刀相对于所述旋转轴循环往复转动。
[0012]作为优选方案，所述驱动部包括气缸和拉簧，所述气缸的输出端与所述摆臂接触配合，所述拉簧与所述摆臂连接；所述气缸驱动所述摆臂运动，以联动所述离子风刀摆动，所述拉簧用于使所述摆臂复位，以实现所述离子风刀相对于所述旋转轴转动。
[0013]作为优选方案，所述驱动部包括伺服电机，所述伺服电机的输出端与所述摆臂传动连接，所述摆臂联动所述离子风刀摆动，以使所述离子风刀相对于所述旋转轴转动。
[0014]作为优选方案，所述摆臂具有过渡圆弧面，所述驱动部的输出端与所述过渡圆弧面滚动连接。
[0015]作为优选方案，所述翻转机构包括第一驱动电机、传送组件和翻转板，所述箱体的两侧壁对应安装轴承座，所述轴承座与所述翻转板固定连接，所述箱体的一侧壁安装所述第一驱动电机，所述第一驱动电机通过所述传动组件与所述轴承座传动连接，以联动所述翻转板旋转运动。
[0016]作为优选方案，所述翻转机构还包括夹持机构，所述夹紧机构用于在由所述离子风刀进行吹风时将所述工件夹持到所述翻转板。
[0017]作为优选方案，所述直线模组包括第二驱动电机、丝杆组件和滑块，所述滑块位于所述丝杆组件之上并沿所述丝杆组件滑动，所述第一驱动电机与所述丝杆组件传动连接；通过所述第二驱动电机驱动所述丝杆组件运动，以联动所述滑块沿所述丝杆组件作直线往复运动。
[0018]作为优选方案，所述离子风刀的出风口排出的离子风呈波形状振荡作用于所述工件表面。
[0019]作为优选方案，所述箱体安装风琴罩，所述风琴罩设于所述直线模组与所述离子风刀之间，所述直线模组设于所述箱体之外，所述直线模组与所述离子风刀垂直布设。
[0020]本专利技术与现有技术相比，有益效果是：
[0021]本专利技术提供一种基于振荡摆风的除尘装置，通过翻转机构将待除尘工件进行任一角度翻转，在除尘过程中能够实时进行翻转，同时通过离子风刀一边摆动一边直线往复运动，以对工件表面进行吹送等离子风，使得工件表面的各个角度更充分地与离子风接触，以使粉尘去除更彻底。
[0022]本专利技术提供一种基于振荡摆风的除尘装置，通过对工件表面的不同视角方位进行除尘，能够清除工件边角连接处附着的粉尘，提高了除尘效率以及产品洁净度。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他实施例的附图。
[0024]图1是根据本申请一些实施例的风刀模组结构示意图；
[0025]图2是根据本申请一些实施例的除尘装置的结构示意图；
[0026]图3是根据本申请一些实施例的除尘装置的另一视角结构示意图；
[0027]图4是根据本申请一些实施例的除尘装置的又一视角结构示意图；
[0028]图5是根据本申请一些实施例的摆动机构的结构示意图；
[0029]图中标记：1箱体、11滑槽、12风琴罩、2风刀模组、21离子风刀、211风刀口、22直线模组、221第二驱动电机、222丝杆组件、223滑块、224连接块、23摆动机构、231摆臂、232驱动部、232a气缸、232b拉簧、233旋转轴、24固定座、25离子风刀固定块、26连接座、27轴承、3翻转机构、31第一驱动电机、311减速机、312第一同步带轮、313同步带、314第二同步带轮、315轴承座、32翻转板、321连接块、322转轴、33夹持机构、331夹紧气缸、332夹爪、4工件。
具体实施方式
[0030]为了更清楚地说明本专利技术实施例，下面将对照附图说明本专利技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
[0031]在本专利技术实施例的描述中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于振荡摆风的除尘装置，包括箱体，其特征在于，包括：用于安装工件的翻转机构，所述翻转机构转动连接于所述箱体，并被配置为联动所述工件旋转运动；以及风刀模组，所述风刀模组包括离子风刀、直线模组和摆动机构，所述直线模组被配置为驱动所述离子风刀相对于所述工件沿直线往复运动；所述摆动机构正对所述翻转机构设置，被配置为联动所述离子风刀相对于所述工件在一定角度内循环摆动，以使所述离子风刀以振荡波形的方式连续向所述工件表面吹送离子风，通过去除所述工件表面的静电，以实现对所述工件进行除尘。2.根据权利要求1所述的一种基于振荡摆风的除尘装置，其特征在于，所述摆动机构包括摆臂、驱动部以及旋转轴，所述旋转轴套设于所述离子风刀之内，所述摆臂的一端与所述离子风刀连接，所述摆臂的另一端与所述驱动部连接，所述驱动部用于驱动所述摆臂绕所述旋转轴摆动，用以联动所述离子风刀相对于所述旋转轴循环往复转动。3.根据权利要求2所述的一种基于振荡摆风的除尘装置，其特征在于，所述驱动部包括气缸和拉簧，所述气缸的输出端与所述摆臂接触配合，所述拉簧与所述摆臂连接；所述气缸驱动所述摆臂运动，以联动所述离子风刀摆动，所述拉簧用于使所述摆臂复位，以实现所述离子风刀相对于所述旋转轴转动。4.根据权利要求2所述的一种基于振荡摆风的除尘装置，其特征在于，所述驱动部包括伺服电机，所述伺服电机的输出端与所述摆臂传动连接，所述摆臂联动所述离子风刀摆动，以使所述离子风刀相对于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：段忠福，孔令营，
申请(专利权)人：上海骄成超声波技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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