一种直线运动平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种直线运动平台，涉及输送设备技术领域，包括

【技术实现步骤摘要】
一种直线运动平台


[0001]本技术涉及输送设备
，特别是一种直线运动平台
。

技术介绍

[0002]气浮运动平台作为一种直线运动平台，具有运动精度高
、
清洁无污染等特点
。
因此，在晶圆检测过程中广泛使用气浮运动平台
。
现有的气浮运动平台中常使用气浮导轨实现无摩擦和无振动的平滑移动
。
[0003]现有的气浮导轨的导轨通常包括导轨和安装在导轨上与导轨适配的溜板，气浮导轨基于气体动静压效应，溜板在导轨上实现无摩擦和无振动的平滑移动
。
[0004]然而现有的气浮导轨的导轨通常为矩形结构，使用前还需要对气浮导轨进行调节，如申请号为
01811020124.0
的专利公开了基于方箱的超精密
X
‑
Y
气浮平面定位平台，使用前首先需调试
X
向运动气浮导轨部件，在通气状况下，分别调整
X
向上花岗石气浮运动平板
、X
向下花岗石气浮支承滑块
、X
向左花岗石气浮支承滑块
、X
向右花岗石气浮支承滑块四部件与超精密花岗石基准方箱的位置间隙，直至达到
X
向运动系统的位置检测
、
驱动和定位精度的设计要求
。
[0005]上述装置的气浮导轨部件存在调整难度大
、
耗时长，间隙控制误差大的弊端
。
因此，有必要进行改进
>。

技术实现思路

[0006]基于此，有必要针对现有矩形结构的气浮导轨部件调整不便的技术问题，提供一种直线运动平台
。
[0007]为了实现上述目的，本技术提供了一种直线运动平台，包括
X
轴运动机构和
Y
轴运动机构，所述
Y
轴运动机构包括
Y
轴气浮导轨
、Y
轴直线电机和
Y
轴滑座，
Y
轴气浮导轨至少设置为两个，
Y
轴气浮导轨包括
Y
轴固定圆柱和
Y
轴气浮滑块，
Y
轴固定圆柱与
Y
轴直线电机的位置相对固定，
Y
轴气浮滑块滑动套装在
Y
轴固定圆柱上，
Y
轴滑座与
Y
轴直线电机输出端
、
各
Y
轴气浮滑块固定连接；所述
X
轴运动机构包括
X
轴气浮导轨
、X
轴直线电机和
X
轴滑座，
X
轴气浮导轨至少设置为两个，
X
轴气浮导轨包括
X
轴固定圆柱和
X
轴气浮滑块，
X
轴固定圆柱和
X
轴直线电机均固定安装在
Y
轴滑座上，
X
轴气浮滑块滑动套装在
X
轴固定圆柱上，
X
轴滑座与
X
轴直线电机输出端
、
各
X
轴气浮滑块固定连接
。
[0008]优选的，所述
Y
轴气浮滑块包括
Y
轴密封外壳和具有多孔结构的
Y
轴透气内筒，
Y
轴透气内筒固定安装在
Y
轴密封外壳内侧且与
Y
轴密封外壳密封连接，
Y
轴透气内筒滑动套装在
Y
轴固定圆柱上，
Y
轴密封外壳上开设有
Y
轴进气口，
Y
轴进气口通过
Y
轴透气内筒的多孔结构与
Y
轴透气内筒的内腔连通
。
[0009]优选的，所述
Y
轴透气内筒为石墨内筒
。
[0010]优选的，所述
X
轴气浮滑块包括
X
轴密封外壳和具有多孔结构的
X
轴透气内筒，
X
轴透气内筒固定安装在
X
轴密封外壳内侧且与
X
轴密封外壳密封连接，
X
轴透气内筒滑动套装
在
X
轴固定圆柱上，
X
轴密封外壳上开设有
X
轴进气口，
X
轴进气口通过
X
轴透气内筒的多孔结构与
X
轴透气内筒的内腔连通
。
[0011]优选的，所述
X
轴透气内筒为石墨内筒
。
[0012]优选的，所述
X
轴气浮导轨设置为两个，两个
X
轴气浮导轨设置在
X
轴直线电机一侧
。
[0013]优选的，所述
X
轴固定圆柱两端通过
X
轴固定座固定安装在
Y
轴滑座上
。
[0014]优选的，所述
Y
轴气浮导轨设置为两个，两个
Y
轴气浮导轨对称设置在
Y
轴直线电机两侧
。
[0015]优选的，还包括基座，所述
Y
轴直线电机固定安装在基座上
。
[0016]优选的，所述
Y
轴固定圆柱两端通过
Y
轴固定座固定安装在基座上
。
[0017]与现有技术相比，本技术方案至少具有以下有益效果：
[0018]1.
通过设置截面为圆形的
Y
轴固定圆柱，使得
Y
轴气浮滑块与
Y
轴固定圆柱间形成环形间隙，在向
Y
轴气浮滑块通气时，
Y
轴气浮滑块与
Y
轴固定圆柱间的环形间隙内的气流会均匀分布，可直接使用，使用前无需对
Y
轴气浮滑块进行位置调整
、
公差调整，从而节省调节耗时，使用更加方便，并可提高
Y
轴方向运动的精度；
[0019]2.
通过设置截面为圆形的
X
轴固定圆柱，使得
X
轴气浮滑块与
X
轴固定圆柱间形成环形间隙，在向
X
轴气浮滑块通气时，
X
轴气浮滑块与
X
轴固定圆柱间的环形间隙内的气流会均匀分布，可直接使用，使用前无需对
X
轴气浮滑块进行位置调整
、
公差调整，从而节省调节耗时，使用更加方便，并可提高
X
轴方向运动的精度；
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种直线运动平台，包括
X
轴运动机构和
Y
轴运动机构，其特征在于，所述
Y
轴运动机构包括
Y
轴气浮导轨（1）
、Y
轴直线电机（2）和
Y
轴滑座（3），
Y
轴气浮导轨（1）至少设置为两个，
Y
轴气浮导轨（1）包括
Y
轴固定圆柱（
11
）和
Y
轴气浮滑块（
12
），
Y
轴固定圆柱（
11
）与
Y
轴直线电机（2）的位置相对固定，
Y
轴气浮滑块（
12
）滑动套装在
Y
轴固定圆柱（
11
）上，
Y
轴滑座（3）与
Y
轴直线电机（2）输出端
、
各
Y
轴气浮滑块（
12
）固定连接；所述
X
轴运动机构包括
X
轴气浮导轨（4）
、X
轴直线电机（5）和
X
轴滑座（6），
X
轴气浮导轨（4）至少设置为两个，
X
轴气浮导轨（4）包括
X
轴固定圆柱（
41
）和
X
轴气浮滑块（
42
），
X
轴固定圆柱（
41
）和
X
轴直线电机（5）均固定安装在
Y
轴滑座（3）上，
X
轴气浮滑块（
42
）滑动套装在
X
轴固定圆柱（
41
）上，
X
轴滑座（6）与
X
轴直线电机（5）输出端
、
各
X
轴气浮滑块（
42
）固定连接
。2.
根据权利要求1所述的直线运动平台，其特征在于，所述
Y
轴气浮滑块（
12
）包括
Y
轴密封外壳（
121
）和具有多孔结构的
Y
轴透气内筒（
122
），
Y
轴透气内筒（
122
）固定安装在
Y
轴密封外壳（
121
）内侧且与
Y
轴密封外壳（
121
）密封连接，
Y
轴透气内筒（
122
）滑动套装在
Y
轴固定圆柱（
11
）上，
Y
轴密封外壳（
121
）上开设有
Y
轴进气口（
123
），...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵东林，
申请(专利权)人：苏州策林精密技术有限公司，
类型：新型
国别省市：