一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其工作方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体加工技术领域，公开了一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其工作方法

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其工作方法


[0001]本专利技术涉及半导体加工
，具体为一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其工作方法
。

技术介绍

[0002]目前在半导体加工领域，晶圆的生产需要在不同的工站进行加工，在各工站的转运过程中，需要将晶圆放置在晶圆盒内，晶圆盒运输车是一种常见的晶圆盒转运设备
。
晶圆盒通常放置在晶圆装载机上，将晶圆盒运输车移动至在晶圆装载机正前方，通过标准接口进行对接，晶圆盒运输车需要在前后工位处分别动作，将晶圆盒从晶圆装载机上取下进行转运；此动作需要晶圆盒运输车存在上
、
下两个极限位置，当取晶圆盒时，晶圆盒运输车需要从下限位转换为上限位，当晶圆盒运输车取出晶圆盒进行转运时，需要从上限位转换为下限位，减少转运时的颠簸，保证晶圆盒处于相对稳定的状态
。
当前设备方案限位装置安装在转轴附近，调整限位极限时需将转盘拆下，同时当前设备方案无止回装置，转盘结构在取晶圆盒时有发生反转导致晶圆盒震动跌落的风险
。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其工作方法
。
[0004]具体技术方案如下：本专利技术提供了一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置，包括：立板，所述立板右端设置有偏心轮，所述立板左端设置有带座轴承，所述带座轴承与立板之间设置有垫板，所述偏心轮与带座轴承之间通过螺钉连接，所述带座轴承左端插入连接有主轴，所述带座轴承与主轴前端设置有限位转接板二，所述限位转接板二内部插入连接有限位块二，所述限位块二为一端直径较大一端直径较小的纺锤型，所述带座轴承与主轴后端设置有与限位转接板二
、
限位块二形状相同的限位转接板一与限位块一，所述限位转接板一
、
限位块一限位转接板二与限位块二通过螺钉固定在立板左表面，所述立板左表面且位于带座轴承上端设置有止回块，所述止回块内部开设有通孔，所述止回块内部通孔左右两端分别安装有套衬一与套衬二，所述止回块右端设置有与立板插入连接的圆柱销，所述止回块左端插入连接有等高螺丝，所述等高螺丝右端与圆柱销插入连接，所述立板左表面上端连接有导向块，所述导向块上端设置有直线轴承，所述直线轴承上端设置有按钮，所述按钮下端连接有压杆，所述压杆穿过直线轴承延伸至导向块下端，所述压杆下端且位于止回块的上表面设置有卡簧，所述止回块上表面设置有弹簧支柱一，所述立板左表面上端且位于导向块后端设置有弹簧支柱二，所述弹簧支柱一与弹簧支柱二之间连接有拉伸弹簧，所述主轴上端设置有挡块，所述主轴左端插入连接有转盘，所述转盘左端设置有盖板，所述盖板与转盘
、
主轴通过螺栓连接
。
[0005]优选的，所述转盘外侧固定连接有把手
。
[0006]优选的，所述带座轴承与偏心轮之间设置有隔套
。
[0007]优选的，所述限位块一与限位块二直径较大的一端与限位转接板一
、
限位转接板二外侧之间设置有弹簧
。
[0008]优选的，所述限位块一与限位块二上表面皆设置有橡胶保护垫
。
[0009]优选的，所述限位块一与限位块二直径较小的一端为金属材质
。
[0010]与现有技术相比，本专利技术具有如下有益技术效果：本专利技术用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置，结构简单，使用方便，通过螺钉可以调整转盘上
、
下极限位位置，通过拉伸弹簧及止回块结构避免转盘反转，提高晶圆盒运输车在取放晶圆盒时的稳定性
。
本专利技术解决了当前设备方案限位装置安装在转轴附近，调整限位极限时需将转盘拆下，同时当前设备方案无止回装置，转盘结构在取晶圆盒时有发生反转导致晶圆盒震动跌落风险的问题
。
附图说明
[0011]图1为本专利技术的总体结构示意图；图2为本专利技术的上限位止回工位示意图；图3为本专利技术的上限位解锁工位示意图；图4为本专利技术的下限位工位示意图
。
[0012]图中：
1、
立板；
2、
隔套；
3、
偏心轮；
4、
垫板；
5、
带座轴承；
6、
限位转接板一；
7、
限位块一；
8、
限位块二；
9、
限位转接板二 ；
10、
主轴；
11、
按钮；
12、
直线轴承；
13、
导向块；
14、
压杆；
15、
卡簧；
16、
拉簧支柱一；
17、
拉伸弹簧；
18、
圆柱销；
19、
拉簧支柱二；
20、
止回块；
21、
衬套一；
22、
衬套二；
23、
等高螺丝；
24、
挡块；
25、
转盘；
26、
盖板
。
具体实施方式
[0013]下面结合具体实施例和附图对本专利技术进行详细说明，但本专利技术的保护范围不受具体实施例和附图所限
。
[0014]如图1‑4所示，本专利技术用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置包括：立板1，所述立板1右端设置有偏心轮3，所述立板1左端设置有带座轴承5，所述带座轴承5与立板之间设置有垫板4，所述偏心轮3与带座轴承5之间通过螺钉连接，所述带座轴承5左端插入连接有主轴
10
，所述带座轴承5与主轴
10
前端设置有限位转接板二9，所述限位转接板二9内部插入连接有限位块二8，所述限位块二8为一端直径较大一端直径较小的纺锤型，所述带座轴承5与主轴
10
后端设置有与限位转接板二
9、
限位块二8形状相同的限位转接板一6与限位块一7，所述限位转接板一
6、
限位块一7限位转接板二9与限位块二8通过螺钉固定在立板1左表面，所述立板1左表面且位于带座轴承5上端设置有止回块
20
，所述止回块
20
内部开设有通孔，所述止回块
20
内部通孔左右两端分别安装有套衬一
21
与套衬二
22
，所述止回块
20
右端设置有与立板1插入连接的圆柱销
18
，所述止回块
20
左端插入连接有等高螺丝
23
，所述等高螺丝
23
右端与圆柱销
18
插入连接，所述立板1左表面上端连接有导向块
13
，所述导向块
13
上端设置有直线轴承
12
，所述直线轴承
12
上端设置有按钮
11
，所述按钮
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置，其特征在于，包括：立板（1），所述立板（1）右端设置有偏心轮（3），所述立板（1）左端设置有带座轴承（5），所述带座轴承（5）与立板之间设置有垫板（4），所述偏心轮（3）与带座轴承（5）之间通过螺钉连接，所述带座轴承（5）左端插入连接有主轴（
10
），所述带座轴承（5）与主轴（
10
）前端设置有限位转接板二（9），所述限位转接板二（9）内部插入连接有限位块二（8），所述限位块二（8）为一端直径较大一端直径较小的纺锤型，所述带座轴承（5）与主轴（
10
）后端设置有与限位转接板二（9）
、
限位块二（8）形状相同的限位转接板一（6）与限位块一（7），所述限位转接板一（6）
、
限位块一（7）限位转接板二（9）与限位块二（8）通过螺钉固定在立板（1）左表面，所述立板（1）左表面且位于带座轴承（5）上端设置有止回块（
20
），所述止回块（
20
）内部开设有通孔，所述止回块（
20
）内部通孔左右两端分别安装有套衬一（
21
）与套衬二（
22
），所述止回块（
20
）右端设置有与立板（1）插入连接的圆柱销（
18
），所述止回块（
20
）左端插入连接有等高螺丝（
23
），所述等高螺丝（
23
）右端与圆柱销（
18
）插入连接，所述立板（1）左表面上端连接有导向块（
13
），所述导向块（
13
）上端设置有直线轴承（
12
），所述直线轴承（
12
）上端设置有按钮（
11
），所述按钮（
11
）下端连接有压杆（
14
），所述压杆（
14
）穿过直线轴承（
12
）延伸至导向块（
13
）下端，所述压杆（
14
）下端且位于止回块（
20
）的上表面设置有卡簧（
15
），所述止回块（
20
）上表面设置有弹簧支柱一（
16
），所述立板（1）左表面上端且位于导向块（
13
）后端设置有弹簧支柱二（
19
），所述弹簧支柱一（
16
）与弹簧支柱二（
19
）之间连接有拉伸弹簧（
17
），所述主轴（
10
）上端设置有挡块（
24
），所述主轴（
10
）左端插入连接有转盘（
25
），所述转盘（
25
）左端设置有盖板（
26
...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡连旭，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：