一种晶圆探针测试机制造技术

本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是涉及一种晶圆探针测试机

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆探针测试机


[0001]本申请涉及晶圆检测的
，尤其是涉及一种晶圆探针测试机
。

技术介绍

[0002]晶圆探针测试是集成电路生产中的重要一环
,
是工艺控制
、
成平率管理
、
产品质量以及降低测试成本和废芯片封装成本的关键步骤
。
精元探针测试是利用探针测试机与探针测试卡来测试晶圆上每个晶粒，以确保晶粒的电气特征与效能是依照设计规格制造出来的
。
[0003]晶圆探针测试机逐渐朝向满足各种温度
、
压强环境的方向发展，如适用于高低温
、
高低压测试条件的测试设备具有更广泛的适用性
。
现有的技术手段中，高低温测试机在高温测试环境中内部容易产生较多的水汽，且切换至低温测试时需要机体内部快速与外界空气流通降温并干燥，低温测试时需要维持腔体内部真空，测试机在具有较强的排气能力同时密封性较差且无法在两种模式间灵活切换
。
[0004]因此基于上述问题，现有技术有待改进
。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是使测试机在高低温环境条件下灵活切换排气和密封模式，使高温条件下增强测试机排气能力，低温条件下增强测试机密封性
。
[0006]本申请的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆探针测试机，包括机体，所述机体内设有可容物的容纳腔，所述机体上设有和容纳腔导通的进气口和出气口，所述容纳腔腔壁上设有吹气组件，所述吹气组件包括通气管和吹气嘴，所述通气管两端开口设置，一端和所述进气口连通，另一端和所述出气口连通，所述通气管上设有孔洞，所述孔洞处设有吹气嘴，所述吹气嘴和所述孔洞连通，所述机体上还设有排汽口，所述机体上设有滑动组件，所述滑动组件上设有遮挡组件，所述遮挡组件能通过所述滑动组件相对机体滑动遮挡或避让排汽口，使容纳腔和排汽口之间封堵或导通
。
[0007]通过采用上述技术方案，通过吹气组件包括的吹气嘴和通风管配合，将外界干燥气体吹入容纳腔内，增加机体内部的空气流动，使机体内部能快速和外界的空气进行交换，且干燥容纳腔内部空气，避免在低温环境条件下进行测试时晶圆结霜难以检测
。
通过滑动组件控制遮挡组件遮挡封堵排汽口，使容纳腔内部保持密闭的真空环境，适用于低温检测，通过滑动组件控制遮挡组件避让排汽口，使排汽口和容纳腔导通，容纳腔内部的热空气能快速从排汽口排出避免膨胀造成危险，适用于高温检测，能在满足容纳腔密封的同时，灵活切换模式增加排汽口，使容纳腔内部的气体能快速排出
。
[0008]可选的，所述容纳腔内壁在所述排汽口处设有第一挡板，所述第一挡板上设有一个以上的第一通风口，所述遮挡组件包括有第二挡板，所述第二挡板上对应所述第一通风口设有第二通风口，所述第一通风口能和所述第二通风口导通
。
[0009]通过采用上述技术方案，当测试环境为高温条件时，移动第二挡板使第二挡板上
的第二通风口对齐导通，容纳腔内的空气能从排汽口处排出，当测试环境为低温条件时，移动第二挡板使第二挡板遮挡封堵遮挡第一通风口，从而使得容纳腔保持密封
。
[0010]可选的，第一挡板上设有所述滑动组件，所述滑动组件包括驱动件
、
滑动轨道和滑动块，所述驱动件连接所述第二挡板，所述第一挡板上设有滑动轨道，所述滑动轨道上设有所述滑动块，所述滑动块能在所述滑动轨道上滑动，所述滑动块上连接所述第二挡板
。
[0011]通过采用上述技术方案，通过驱动件驱动第二挡板相对第一挡板滑动，使第二挡板上的第二通风口对齐第一通风口或第二挡板封挡第一通风口，避免增加排汽孔增加排汽效率的同时无法有效封挡，导致在低温测试时不能维持容纳腔内的密封性
。
通过滑动轨道和滑块使第二挡板能稳定精确地相对第一挡板滑动，通过灵活滑动方便控制第一通风口的开启或关闭
。
[0012]可选的，第一挡板上设有第一限位导向块，所述第一限位导向块上中空设有导气通道，所述导气通道和所述第一通风口导通，所述第二挡板上设有第二限位导向块，所述第二限位导向块和所述第二通风口错位设置，所述第二限位导向块封堵所述导气通道或所述第二通风口和所述导气通道导通
。
[0013]通过采用上述技术方案，通过第一限位导向块抵接第二限位导向块，使第二限位导向块紧密封挡导气通道，避免内部空气和外界流通形成密闭的真空环境，且当第二通风口和导气通道导通时，容纳腔内部空气能沿相邻的第一限位导气块和第二限位导气块组合形成的通道排出
。
当第二挡板在抵接后继续移动，通过第一限位导向块和第二限位导向块的倾斜导向面作用，避免与第一挡板或第二挡板之间的连接位置容易发生较严重的损坏
。
[0014]可选的，多个第一通风口均匀间隔设置，且呈若干排线性排列，所述若干排第二通风口和所述第二限位导向块交替间隔分布
。
[0015]通过采用上述技术方案，减小第二挡板的滑动距离，控制第二挡板遮挡封堵或避让第一挡板上的导气通道，减少第二挡板在滑动过程中可能产生的倾斜导致导气通道不能完全导通，且通过较短距离的控制增加第二挡板滑动的稳定性和精准性
。
[0016]可选的，第二限位导向块上设有缓冲件
。
[0017]通过采用上述技术方案，避免在第一限位导向块和第二限位导向块抵接时，容易相互摩擦产生磨损，增加使用寿命，且通过挤压缓冲件使缓冲件能紧密封堵导气通道，增加第二挡板遮挡导气通道时的密封性
。
[0018]可选的，滑动轨道为滑轨
。
[0019]通过采用上述技术方案，使第二挡板能稳定精确的在第一挡板上滑动，方便精准控制使第二挡板上的第二通风口和导气通道导通或第二挡板完全封挡导气通道
。
[0020]可选的，第一挡板远离所述第二挡板的一侧设有抽风件
。
[0021]通过采用上述技术方案，通过抽风件加快容纳腔内部的空气流动，使容纳腔内部的空气快速和外界交换，降低容纳腔内部的高温空气或是内部的湿润空气快速被排出，使机体能适用于高温或低温环境下的检测作业
。
[0022]综上所述，本申请至少包含以下一点有益效果：
[0023]1.
通过吹气组件包括的吹气嘴和通风管配合，将外界干燥气体吹入容纳腔内，增加机体内部的空气流动，使机体内部能快速和外界的空气进行交换，且干燥容纳腔内部空气，避免在低温环境条件下进行测试时晶圆结霜难以检测
。
通过滑动组件控制遮挡组件遮
挡封堵排汽口，使容纳腔内部保持密闭的真空环境，适用于低温检测，通过滑动组件控制遮挡组件避让排汽口，使排汽口和容纳腔导通，容纳腔内部的热空气能快速从排汽口排出避免膨胀造成危险，适用于高温检测，能在满足容纳腔密封的同时，灵活切换模式增加排汽口，使容纳腔内部的气体能快速排出
。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆探针测试机，其特征在于，包括机体
(1)
，所述机体
(1)
内设有可容物的容纳腔
(2)
，所述机体
(1)
上设有和容纳腔
(2)
导通的进气口
(3)
和出气口
(4)
，所述容纳腔
(2)
腔壁上设有吹气组件
(5)
，所述吹气组件
(5)
包括通气管
(51)
和吹气嘴
(52)
，所述通气管
(51)
两端开口设置，一端和所述进气口
(3)
连通，另一端和所述出气口
(4)
连通，所述通气管
(51)
上设有孔洞
(6)
，所述孔洞
(6)
处设有吹气嘴
(52)
，所述吹气嘴
(52)
和所述孔洞
(6)
连通，所述机体
(1)
上还设有排汽口
(7)
，所述机体
(1)
上设有滑动组件
(8)
，所述滑动组件
(8)
上设有遮挡组件
(9)
，所述遮挡组件
(9)
能通过所述滑动组件
(8)
相对机体
(1)
滑动遮挡或避让排汽口
(7)
，使容纳腔
(2)
和排汽口
(7)
之间封堵或导通
。2.
根据权利要求1所述的一种晶圆探针测试机，其特征在于，所述容纳腔
(2)
内壁在所述排汽口
(7)
处设有第一挡板
(10)
，所述第一挡板
(10)
上设有一个以上的第一通风口
(11)
，所述遮挡组件
(9)
包括有第二挡板
(91)
，所述第二挡板
(91)
上对应所述第一通风口
(11)
设有第二通风口
(12)
，所述第一通风口
(11)
能和所述第二通风口
(12)
导通
。3.
根据权利要求2所述的一种晶圆探针测试机，其特征在于，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，瞿高峰，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：